Журналы
Разделы книг
Статьи по ключевому слову silicon
Полевой транзистор на основе кремниевого нанопровода
В.А. Крупенин, Д.Е. Преснов, В.С. Власенко, С.В. Амитонов
Исследование структурно-фазовых трансформаций и оптических свойств композитов на основе нанокластеров кремния в матрице оксида кремния
В.Н. СЕМИНОГОВ, В.И. СОКОЛОВ, В.Н. ГЛЕБОВ, А.М. МАЛЮТИН, Е.В. ТРОИЦКАЯ, С.И. МОЛЧАНОВА, А.С. АХМАНОВ, В.Я. ПАНЧЕНКО, В.Ю. ТИМОШЕНКО, Д.М. ЖИГУНОВ, П.А. ФОРШ, О.А. ШАЛЫГИНА, Н.Е. МАСЛОВА, С.С. АБРАМЧУК, П.К. КАШКАРОВ Институт проблем лазерных и информационных технологий РАН, МГУ им. М.В. Ломоносова, Физический факультет, E-mail: timoshen@phys.msu.ru; zhigunov@ofme.phys.msu.ru
Управление спектральной чувствительностью и разрешающей способностью кремниевых многоэлементных фотоприемников
Ю. И. Тишин - МФТИ, ООО НПК «Сенсорис» И. В. Ванюшин - МФТИ, ООО НПК «Сенсорис» В. А. Гергель - МФТИ, ООО НПК «Сенсорис», ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН В. А. Зимогляд - ООО НПК «Сенсорис», ФГУП НИИ физических проблем им. Ф.В. Лукина
Об образовании макроскопических выступов на поверхности призматических нитевидных кристаллов кремния
Небольсин В.А. - д.т.н., Воронежский государственный технический университет. E-mail: vcm@vmail.ru Дунаев А.И. - к.ф.-м.н., Воронежский государственный технический университет. E-mail: hidden_111@mail.ru Долгачев А.А. - к.ф.-м.н., Воронежский государственный технический университет. E-mail: dekan@fddo.vorstu.ru Завалишин М.А. - Воронежский государственный технический университет. E-mail: hidden_111@mail.ru
Отражающие свойства многослойных систем Фибоначчи на основе наноструктурированного кремния
Н.В. Грушина, А.М. Зотов, П.В. Короленко, А.Ю. Мишин - Физический факультет МГУ им. М.В. Ломоносова. E-mail: pvkorolenko@rambler.ru
Определение радиусов нанопор в кремнии методом позитронной аннигиляционной спектроскопии
Ю. А. ЧАПЛЫГИН - чл.-корр. РАН, ректор, Московский государственный институт электронной техники (Москва, Зеленоград). Е-mail: r@miee.ru В. И. ГРАФУТИН - к.ф-м.н, ст.н.с, зав. лабораторией, Институт теоретической и экспериментальной физики им. А.И. Алиханова (Москва). Е-mail: Grafutin@itep.ru С. П. ТИМОШЕНКОВ - д.т.н., профессор, зав. кафедрой, Московский государственный институт электронной техники (Москва, Зеленоград). Е-mail: spep@miee.ru Е. П. ПРОКОПЬЕВ - к.ф-м.н., ст.н.с., Институт теоретической и экспериментальной физики им. А.И. Алиханова (Москва). Е-mail: epprokopiev@mail.ru
Физические особенности графеновых соединений для нанотранзистоных СБИС
В.А. Горячев - к.ф.-м.н., вед. науч. сотрудник НИИСИ РАН, Москва. E-mail: vag@niisi.ras.ru, vag@rivera.ru
Влияние внешнего электрического поля на эффективность ионизации и энергетические распределения ионов органических соединений в методе САЛДИ
А.В. Пенто - мл. науч. сотрудник, Институт общей физики РАН им. А.М. Прохорова E-mail: pentan@mail.ru С.М. Никифоров - к.ф.-м.н., ст. науч. сотрудник, ООО «Новые Энергетические Технологии» Email: 15925@mail.ru
НАНОТЕХНОЛОГИЯ ФОРМИРОВАНИЯ ЭЛЕКТРОДОВ ИСТОЧНИКОВ ТОКА ДЛЯ РАДИОЭЛЕКТРОНИКИ
Н.А. Яштулов - к.х.н., доцент, вед.науч.сотрудник, кафедра физической химии, Московский институт тонкой химической технологии (ТУ) им. М.В. Ломоносова. E-mail: YashtulovNA@rambler.ru
Формирование нанокристаллов в аморфных кремнии и алмазе при лазерном отжиге
А.А. Хомич - ст. инженер, ФИРЭ им. В.А. Котельникова РАН Е-mail: antares-610@yandex.ru
Определение параметров сферических и цилиндрических нанообъектов в кремнии методом позитронной аннигиляционной спектроскопии
Ю.А. Чаплыгин - чл.-корр. РАН, ректор, Национальный исследовательский университет МИЭТ. Е-mail: r@miee.ru Ю.Ф. Козлов - д.т.н., профессор, директор, Институт теоретической и экспериментальной физики им. А.И. Алиханова (Москва). Е-mail: YF.Kozlov@mail.ru С.П. Тимошенков - д.т.н., профессор, зав. кафедрой, Национальный исследовательский университет МИЭТ. Е-mail: spep@miee.ru В.И. Графутин - к.ф-м.н, ст. научн. сотрудник, зав. лабораторией, Институт теоретической и экспериментальной физики им. А.И. Алиханова (Москва). Е-mail: Grafutin@itep.ru Е.П. Прокопьев - к.ф-м.н., ст. научн. сотрудник, Институт теоретической и экспериментальной физики им. А.И. Алиханова (Москва). Е-mail: epprokopiev@mail.ru Ю.В. Фунтиков - ст. научн. сотрудник, Институт теоретической и экспериментальной физики им. А.И. Алиханова (Москва). Е-mail: Grafutin@itep.ru
Фотоэлектрические характеристики многослойных наноразмерных структур кремний-фталоцианин
Г.Л. Пахомов - к.х.н., Институт физики микроструктур РАН (г. Нижний Новгород). Е-mail: pakhomov@ipm.sci-nnov.ru Д.А. Пряхин - Науч. сотрудник, Институт физики микроструктур РАН (г. Нижний Новгород). Е-mail: pakhomov@ipm.sci-nnov.ru В.В. Травкин - мл. науч. сотрудник, Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского. Е-mail: vladtt@mail.ru П.А. Лучников - зав. лабораторией, Московский государственный технический университет МИРЭА. Е-mail: xamdex@gmail.com
Молекулярная структура и морфология вакуумных кремнийорганических покрытий, полученных плазмохимическим синтезом
М.А. Ярмоленко - к.т.н., ст. науч. сотрудник, Гомельский государственный университет им. Ф. Скорины, Беларусь. Е-mail: simmak79@mail.ru А.А. Рогачев - к.т.н., ст. науч. сотрудник, Белорусский государственный университет транспорта, г. Гомель, Беларусь. Е-mail: rogachevfv@mail.ru П.А. Лучников - зав. лабораторией, НИИ «Информатика» при МГТУ МИРЭА. Е-mail: xamdex@gmail.com А.В. Рогачев - чл.-корр. НАНБ, д.х.н., профессор, ректор, Гомельский государственный университет им. Ф. Скорины, Беларусь. Е-mail: rogachevav@mail.ru Д.Л. Горбачев - аспирант, Гомельский государственный университет им. Ф. Скорины, Беларусь. Е-mail: dgorbachev@list.ru
Влияние технологических параметров на свойства наноразмерных пленок нитрида кремния, осажденных в индуктивно-связанной плазме
А.Е. Ануров - аспирант, Московский авиационный институт (национальный исследовательский университет). Е-mail: anurov_aleksey@mail.ru. А.А. Данилов - инженер-исследователь, ОАО «Российские космические системы» (Москва) А.А. Жуков - д.т.н., профессор, зам. начальника центра по науке, ОАО «Российские космические системы» (Москва). Е-mail: contact@rniikp.ru
Разработка новой технологии создания полевых катодных матриц
В.Я. Шаныгин - ст. инженер, Саратовский филиал ИРЭ им. В. А. Котельникова РАН. E-mail: vitairerun@mail.ru Р.К. Яфаров - д. т. н., зав. лабораторий, Саратовский филиал ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН С.Ю. Суздальцев - ст. науч. сотрудник, Саратовский филиал ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН
Генерация излучения среднего инфракрасного диапазона в двухчастотном лазере с вертикальным внешним резонатором в импульсном режиме
М.Ю. Морозов - науч. сотрудник, лаборатория фотоники, Саратовский филиал ИРЭ им. В. А. Котельникова РАН. Е-mail: mikmyus@rambler.ru Ю.А. Морозов - вед. науч. сотрудник, лаборатория фотоники, Саратовский филиал ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН И.В. Красникова - ассистент, кафедра ПВС, Саратовский государственный технический университет Л.А. Кочкуров - студент, физический факультет, Саратовский государственный технический университет
Полевой транзистор с каналом-нанопроводом - основа молекулярного биосенсора
Д.Е. Преснов - к.ф.-м.н., ст. науч. сотрудник, отдел микроэлектроники, НИИЯФ, Московский Государственный Университет. E-mail: denis.presnov@phys.msu.ru С.В. Амитонов - аспирант, физический факультет, МГУ им. М.В. Ломоносова. E-mail: Sam-MSU@yandex.ru В.А. Крупенин - к.ф.-м.н., ст. науч. сотрудник, лаборатория криоэлектроники, физический факультет, МГУ им. М.В. Ломоносова. E-mail: vladimir.krupenin@phys.msu.ru
Структура наноразмерных пленок углерода и карбида кремния на кремнии, полученных магнетронным и ионно-лучевым распылением мишени
И.К. Бейсембетов - д.э.н., профессор, ректор, Казахстанско-Британский технический университет (Алматы). Е-mail: rector@kbtu.kz К.Х. Нусупов - д.ф-м.н., профессор, Казахстанско-Британский технический университет (Алматы). Е-mail: rich-famouskair@mail.ru Н.Б. Бейсенханов - к.ф-м.н., вед. науч. сотрудник, Казахстанско-Британский технический университет (Алматы). Е-mail: beisen@mail.ru С.К. Жариков - к.ф-м.н., вед. науч. сотрудник, Казахстанско-Британский технический университет (Алматы). Е-mail: zharikov55@mail.ru Б.К. Кенжалиев - д.т.н., профессор, Казахстанско-Британский технический университет (Алматы). Е-mail: bagdaulet_k@mail.ru Т.К. Ахметов - аспирант, Казахстанско-Британский технический университет (Алматы). Е-mail: timurah@mail.ru Р. Ивлев - аспирант, Казахстанско-Британский технический университет (Алматы). Е-mail: timurah@mail.ru
Исследование влияния СВЧ плазменной микрообработки на аноструктурирование углерода на кристаллах кремния (100)
В.Я. Шаныгин - ст. инженер, Саратовский филиал ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН. E-mail: vitairerun@mail.ru Р.К. Яфаров - д.т.н., зав. лабораторией, Саратовский филиал ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН. E-mail: ustimchikv@gmail.com
Особенности технологии выращивания эпитаксиальных структур для производства pin-диодов СВЧ- и ВЧ-диапазонов в ОАО «Оптрон» и перспективы ее развития
О.Р. Абдуллаев - к.т.н., директор по науке и производству, ОАО «Оптрон». E-mail: abd@optron.ru Т.П. Колмакова - к.т.н., начальник цеха, ОАО «Оптрон» М.В. Меженный - заместитель начальника цеха, ОАО «Оптрон» М.Ю. Филатов - к.т.н., зам. директора СКБ, ОАО «Оптрон». E-mail: skb-optron@mail.ru
Влияние радиационной обработки быстрыми электронами на кремниевые высокочастотные p-i-n-диоды с барьером Шоттки
О.Р. Абдуллаев - к.т.н., директор по науке и производству, ОАО «Оптрон». E-mail: abd@optron.ru А.С. Дренин - вед. инженер СКБ, ОАО «Оптрон». E-mail: dasnew@mail.ru П.Б. Лагов - к.т.н., доцент, кафедра «Полупроводниковая электроника и физика полупроводников», НИТУ «МИСиС». E-mail: lagov2000@mail.ru М.Ю. Филатов - к.т.н., зам. директора СКБ, ОАО «Оптрон». E-mail: skb-optron@mail.ru
Формирование и структура наноразмерного слоя карбида кремния на кремнии при имплантации ионов углерода высоких доз
И.К. Бейсембетов - д.э.н., профессор, ректор, Казахстанско-Британский технический университет (г. Алматы, Казахстан). Е-mail: rector@kbtu.kz К.Х. Нусупов - д.ф-м.н., профессор, Казахстанско-Британский технический университет (г. Алматы, Казахстан). Е-mail: rich-famouskair@mail.ru Н.Б. Бейсенханов - к.ф-м.н., вед. науч. сотрудник, Казахстанско-Британский технический университет (г. Алматы, Казахстан). Е-mail: beisen@mail.ru С.К. Жариков - к.ф-м.н., вед. науч. сотрудник, Казахстанско-Британский технический университет (г. Алматы, Казахстан). Е-mail: zharikov55@mail.ru Б.К. Кенжалиев - д.т.н., профессор, Казахстанско-Британский технический университет (г. Алматы, Казахстан). Е-mail: bagdaulet_k@mail.ru Т.К. Ахметов - аспирант, Казахстанско-Британский технический университет (г. Алматы, Казахстан). Е-mail: timurah@mail.ru
Связь между ИК-спектрами валентных колебаний Si-H и строением (SiH)X групп, Х = 1 - 3, в полостях гидрированного микрокристаллического кремния
А. В. Ларин - вед. науч. сотрудник, химический факультет, МГУ им. М.В. Ломоносова; науч. сотрудник, ООО «Плазмоника» (Сколково, Московская обл.). E-mail: nasgo@yandex.ru, 916-486-4660 А. А. Рыбаков - мл. науч. сотрудник, химический факультет, МГУ им. М.В. Ломоносова. E-mail: rybakovy@gmail.com
Наноструктурированные газопоглощающие геттерные пленки на основе TiV
С.П. Тимошенков - д.т.н., профессор, зав. кафедрой, Национальный исследовательский университет «МИЭТ» (Москва). Е-mail: spt@miee.ru Д.С. Гаев - к.т.н., доцент, Кабардино-Балкарский государственный университет им. Х.М. Бербекова (Нальчик, Россия). Е-mail: dahir@mail.ru А.Н. Бойко - к.т.н., доцент, Национальный исследовательский университет «МИЭТ» (Москва). Е-mail: ant_nico@mail.ru Р.Р. Галиуллин - к.т.н., доцент, Кабардино-Балкарский государственный университет им. Х.М. Бербекова (Нальчик, Россия). Е-mail: dahir@mail.ru
Композиционные полимер-полимерные наноструктуры на основе полианилина для сорбционных сенсоров
М.А. Ярмоленко - к.т.н., ст. науч. сотрудник, Гомельский государственный университет им. Ф. Скорины (Беларусь). Е-mail: simmak79@mail.ru А.И. Егоров - к.т.н., доцент, Гомельский государственный университет им. Ф. Скорины (Беларусь) П.А. Лучников - зав. лабораторией, НИИ «Информатика» при МГТУ МИРЭА (Москва). Е-mail: xamdex@gmail.com А.В. Рогачев - чл.-корр. НАНБ, д.х.н., профессор, Гомельский государственный университет им. Ф. Скорины (Беларусь). Е-mail: rogachevav@mail.ru Лю Чжубо - аспирант, Гомельский государственный университет им. Ф. Скорины (Беларусь). Е-mail: simmak79@mail.ru
Зависимость электропроводности структур a-Si:H/c-Si от предварительной плазменной обработки монокристаллического кремния
Д.В. Нефедов - к.т.н., науч. сотрудник, Саратовский филиал ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН. Е-mail: nefedov_dv@rambler.ru С.Ю. Суздальцев - к.т.н., ст. науч. сотрудник, Саратовский филиал ИРЭ им. В. А. Котельникова РАН
Современное состояние и перспективы развития СВЧ-приборов и устройств в ОАО «Светлана»
В. В. Попов - к.т.н., ген. директор, ОАО «Светлана», Санкт-Петербург
Полуизолирующие 6Н-SiC подложки для применения в современной электронике
А. А. Лебедев - д. ф.-м. н., профессор, зам. руководителя отделения твердотельной электроники, Физико-технический институт им. А. Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург. E-mail: Shura.lebe@mail.ioffe.ru С. В. Белов - ст. инженер, Физико-технический институт им. А. Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург. E-mail: Sergey@mail.ioffe.ru С. П. Лебедев - мл. науч. сотрудник, Физико-технический институт им. А. Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург; Санкт-Петербургский национальный исследовательский университет информационных технологий, механики и оптики Д. П. Литвин - науч. сотрудник, Физико-технический институт им. А.Ф.Иоффе РАН, Санкт-Петербург И. П. Никитина - ст. инженер, Физико-технический институт им. А. Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург. E-mail: irina.nikitina45@gmail.com А. В. Васильев - зам. ген. директора по производству, ООО «Группа компаний «Нитридные кристаллы», Санкт-Петербург Ю. Н. Макаров - к. ф.-м. н., ген. директор, ООО «Группа компаний «Нитридные кристаллы», Санкт-Петербург С. С. Нагалюк - вед. инженер-технолог, ООО «Группа компаний «Нитридные кристаллы», Санкт-Петербург А. Н. Смирнов - к. ф.-м. н., ст. науч. сотрудник, Физико-технический институт им. А. Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург. E-mail: Alex.Smirnov@mail.ioffe.ru В. В. Попов - к.т.н., ген. директор, ОАО «Светлана», Санкт-Петербург В. Н. Вьюгинов - к. т. н., директор, ЗАО «Светлана-Электронприбор», Санкт-Петербург. E-mail: mail@svetlana-ep.ru Р. Г. Шифман - зам. директора по науке - начальник ОКБ, ЗАО «Светлана-Электронприбор», Санкт-Петербург. E-mail: okb@svetlana-ep.ru Ю. С. Кузьмичев - начальник лаборатории, ЗАО «Светлана-Электронприбор», Санкт-Петербург. E-mail: okb@svetlana-ep.ru Н. К. Травин - вед. инженер-технолог, ЗАО «Светлана-Электронприбор», Санкт-Петербург. E-mail: travin@svetlana-ep.ru О. В. Венедиктов - инженер-технолог, ЗАО «Светлана-Электронприбор», Санкт-Петербург. E-mail: venoleg@gmail.com
Результаты разработки технологии резки монокристаллов карбида кремния
В. В. Попов - к.т.н., ген. директор, ОАО «Светлана», Санкт-Петербург В. Н. Вьюгинов - к. т. н., директор, ЗАО «Светлана-Электронприбор», Санкт-Петербург. E-mail: mail@svetlana-ep.ru Н. К. Травин - вед. инженер-технолог, ЗАО «Светлана-Электронприбор», Санкт-Петербург. E-mail: travin@svetlana-ep.ru
Оптимизация технологии механической обработки поверхности подложек карбида кремния
В. В. Попов - к.т.н., ген. директор, ОАО «Светлана», Санкт-Петербург В. Н. Вьюгинов - к. т. н., директор, ЗАО «Светлана-Электронприбор», Санкт-Петербург. E-mail: mail@svetlana-ep.ru Н. К. Травин - вед. инженер-технолог, ЗАО «Светлана-Электронприбор», Санкт-Петербург. E-mail: travin@svetlana-ep.ru
Разработка технологии финишной подготовки поверхности подложек карбида кремния epi-ready для эпитаксии
В. В. Попов - к.т.н., ген. директор, ОАО «Светлана», Санкт-Петербург
Способы измерения удельного сопротивления подложек полуизолирующего карбида кремния
В. В. Попов - к.т.н., ген. директор, ОАО «Светлана», Санкт-Петербург
Исследование влияния температуры на удельное сопротивление подложек карбида кремния
В. В. Попов - к.т.н., ген. директор, ОАО «Светлана», Санкт-Петербург
Компактный автономный генератор субнаносекундных импульсов для сверхширокополосных систем
А.В. Афанасьев - к.т.н., доцент, кафедра микро- и наноэлектроники, Электротехнический университет «ЛЭТИ» (Санкт-Петербург) Б.В. Иванов - к.т.н., доцент, кафедра радиотехнической электроники, Электротехнический университет «ЛЭТИ» (Санкт-Петербург). E-mail: bvivanov@yandex.ru В.А. Ильин - к.т.н., доцент, кафедра микро- и наноэлектроники, Электротехнический университет «ЛЭТИ» (Санкт-Петербург). E-mail: ilyicmid@gmail.ru А.Ф. Кардо-Сысоев - д.ф. м.н., гл. науч. сотрудник, Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе (Санкт-Петербург). E-mail: alx@helen.ioffe.ru В.И. Тихомиров - инженер, Электротехнический университет «ЛЭТИ» (Санкт-Петербург). E-mail: cmid@inbox.ru А.А. Смирнов - инженер 3-кат., ОАО «НИИ «Вектор» (Санкт-Петербург). E-mail: gr4211@mail.ru
Полуизолирующие 6Н-SiC подложки для применения в современной электронике
А. А. Лебедев - д. ф.-м. н., профессор, зам. руководителя отделения твердотельной электроники, Физико-технический институт им. А. Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург. E-mail: Shura.lebe@mail.ioffe.ru С. В. Белов - ст. инженер, Физико-технический институт им. А. Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург. E-mail: Sergey@mail.ioffe.ru С. П. Лебедев - мл. науч. сотрудник, Физико-технический институт им. А. Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург; Санкт-Петербургский национальный исследовательский университет информационных технологий, механики и оптики Д. П. Литвин - науч. сотрудник, Физико-технический институт им. А.Ф.Иоффе РАН, Санкт-Петербург И. П. Никитина - ст. инженер, Физико-технический институт им. А. Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург. E-mail: irina.nikitina45@gmail.com А. В. Васильев - зам. ген. директора по производству, ООО «Группа компаний «Нитридные кристаллы», Санкт-Петербург Ю. Н. Макаров - к. ф.-м. н., ген. директор, ООО «Группа компаний «Нитридные кристаллы», Санкт-Петербург С. С. Нагалюк - вед. инженер-технолог, ООО «Группа компаний «Нитридные кристаллы», Санкт-Петербург А. Н. Смирнов - к. ф.-м. н., ст. науч. сотрудник, Физико-технический институт им. А. Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург. E-mail: Alex.Smirnov@mail.ioffe.ru В. В. Попов - к.т.н., ген. директор, ОАО «Светлана», Санкт-Петербург В. Н. Вьюгинов - к. ф.-м. н., директор, ЗАО «Светлана-Электронприбор», Санкт-Петербург. E-mail: mail@svetlana-ep.ru Р. Г. Шифман - зам. директора по науке - начальник ОКБ, ЗАО «Светлана-Электронприбор», Санкт-Петербург. E-mail: okb@svetlana-ep.ru Ю. С. Кузьмичев - начальник лаборатории, ЗАО «Светлана-Электронприбор», Санкт-Петербург. E-mail: okb@svetlana-ep.ru Н. К. Травин - вед. инженер-технолог, ЗАО «Светлана-Электронприбор», Санкт-Петербург. E-mail: travin@svetlana-ep.ru О. В. Венедиктов - инженер-технолог, ЗАО «Светлана-Электронприбор», Санкт-Петербург. E-mail: venoleg@gmail.com
Оптимизация технологии механической обработки поверхности подложек карбида кремния
В. В. Попов - к.т.н., ген. директор, ОАО «Светлана», Санкт-Петербург В. Н. Вьюгинов - к. ф.-м. н., директор, ЗАО «Светлана-Электронприбор», Санкт-Петербург. E-mail: mail@svetlana-ep.ru Н. К. Травин - вед. инженер-технолог, ЗАО «Светлана-Электронприбор», Санкт-Петербург. E-mail: travin@svetlana-ep.ru
Результаты разработки технологии резки монокристаллов карбида кремния
В. В. Попов - к.т.н., ген. директор, ОАО «Светлана», Санкт-Петербург В. Н. Вьюгинов - к. ф.-м. н., директор, ЗАО «Светлана-Электронприбор», Санкт-Петербург. E-mail: mail@svetlana-ep.ru Н. К. Травин - вед. инженер-технолог, ЗАО «Светлана-Электронприбор», Санкт-Петербург. E-mail: travin@svetlana-ep.ru
Способы измерения удельного сопротивления подложек полуизолирующего карбида кремния
В. В. Попов - к.т.н., ген. директор, ОАО «Светлана», Санкт-Петербург
Разработка технологии финишной подготовки поверхности подложек карбида кремния epi-ready для эпитаксии
В. В. Попов - к.т.н., ген. директор, ОАО «Светлана», Санкт-Петербург
Количественное определение кремния и цинка в новом фармакологически активном кремнийцинксодержащем глицерогидрогеле
И.Н. Штанько - мл. науч. сотрудник, лаборатория органических материалов, Институт органического синтеза им. И.Я. Постовского УрО РАН (г. Екатеринбург). E-mail: intosova@gmail.com А.Н. Бондарев - аспирант, лаборатория органических материалов, Институт органического синтеза им. И.Я. Постовского УрО РАН (г. Екатеринбург). E-mail: alex.ural@mail.ru Т.Г. Хонина - д.х.н., вед. науч. сотрудник, лаборатория органических материалов, Институт органического синтеза им. И.Я. Постовского УрО РАН (г. Екатеринбург). E-mail: khonina@ios.uran.ru Н.И. Москаленко - к.х.н., ст. науч. сотрудник, лаборатория электрохимического материаловедения, Институт высокотемпературной электрохимии УрО РАН (г. Екатеринбург). E-mail: n.moskalenko@ihte.uran.ru
Результаты разработки технологии резки монокристаллов карбида кремния
В.В. Попов - к.т.н., ген. директор, ОАО «Светлана», Санкт-Петербург В.Н. Вьюгинов - к. ф.-м. н., директор, ЗАО «Светлана-Электронприбор», Санкт-Петербург E-mail: mail@svetlana-ep.ru Н.К. Травин - вед. инженер-технолог, ЗАО «Светлана-Электронприбор», Санкт-Петербург E-mail: travin@svetlana-ep.ru
О.В. Лосев и пути развития русской микроэлектроники в XXI в
С.А. Гилёв - вед. инженер, Музей науки «Нижегородская радиолаборатория» ННГУ им. Н.И. Лобачевского (Национальный исследовательский университет) (г. Нижний Новгород). E-mail: serangil-nrl@yandex.ru М.А. Новиков - к.ф.-м.н., вед. науч. сотрудник, Институт физики микроструктур РАН (г. Нижний Новгород). E-mail: mnovik@ipm.sci-nnov.ru А.А. Потапов - д.ф.-м.н., профессор, гл. науч. сотрудник, ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН; Президент совместной китайско-российской лаборатории информационных технологий и фрактальной обработки сигналов (Китай, Гуанджоу). E-mail: potapov@cplire.ru А.Э. Рассадин - координатор объединенных научно-образовательных программ НРО НТОРЭС им. А.С. Попова (г. Нижний Новгород). E-mail: brat_ras@list.ru
Особенности межфазной совместимости наноразмерных полимерных слоев в планарной гетероструктуре Si-ПТФЭ-ПЭ+AlCl3
А.А. Рогачев - к.т.н., ст. научн. сотрудник, Белорусский государственный университет транспорта (Гомель, Беларусь). Е-mail: rogachevfv@mail.ru А.И. Егоров - к.т.н., доцент, Гомельский государственный университет им. Ф. Скорины (Беларусь) П.А. Лучников - ст. научн. сотрудник, Московский государственный университет информационных технологий, радиотехники и электроники. Е-mail: xamdex@gmail.com Лю Чжубо - ст. научн. сотрудник, Гомельский государственный университет им. Ф. Скорины (Беларусь)
МИС СВЧ-переключатель на SiC pin-диодах
В.Н. Вьюгинов - к.ф.-м.н., директор ЗАО «Светлана-Электронприбор» (Санкт-Петербург). E-mail: vyuginov@svetlana-ep.ru А.Г. Гудков - д.т.н., профессор, кафедра «Технологии приборостроения», МГТУ им. Н.Э. Баумана С.И. Видякин - аспирант, кафедра «Технологии приборостроения», МГТУ им. Н.Э. Баумана. E-mail: bmsturl@gmail.com Ю.С. Кузьмичев - начальник лаборатории, ЗАО «Светлана-Электронприбор» (Санкт-Петербург). E-mail: dobrov@svetlana-ep.ru
Формирование кремний-углеродных доменов на кристаллах кремния (100)
В.Я. Шаныгин - ст. инженер, СФИРЭ им. В.А. Котельникова РАН (г. Саратов). E-mail: vitairerun@mail.ru Р.К. Яфаров - д.т.н., зав. лабораторией, СФИРЭ им. В.А. Котельникова РАН (г. Саратов) С.Ю. Суздальцев - к.т.н., ст. науч. сотрудник, СФИРЭ им. В.А. Котельникова РАН (г. Саратов) Д.В. Нефедов - к.т.н., науч. сотрудник, СФИРЭ им. В.А. Котельникова РАН (г. Саратов)
Анализ омического контакта системы титанникель с сильно легированным кремнием N-типа
А.В. Скипер - ст. преподаватель, Калужский филиал МГТУ им. Н.Э. Баумана. E-mail: skiper60@yandex.ru Н.С. Лазарев - студент, Калужский филиал МГТУ им. Н.Э. Баумана. E-mail: lazarevnikolay05@gmail.com В.С. Зайончковский - к.ф.-м.н., доцент, Калужский филиал МГТУ им. Н.Э. Баумана. E-mail: vz48@post.ru И.А. Расторгуев - студент, Калужский филиал МГТУ им. Н.Э. Баумана. E-mail: rastorguew94@gmail.com
Оптические свойства гибридных композитов на основе наночастиц кремнезема, серебра и макроциклических пигментов
А.А. Ревина - д.х.н., профессор, вед. науч. сотрудник, Институт физической химии и электрохимии им. А.Н. Фрумкина РАН (Москва). E-mail: alex_revina@mail.ru Ю.В. Смирнов - аспирант, «Национальный исследовательский университет «МЭИ». E-mail: smirnovyurv@mail.ru А.Г. Чередниченко - к.х.н., ст. науч. сотрудник, Российский химико-технологический университет имени Д.И. Менделеева. E-mail: sorbotek@yandex.ru М.Г. Тедорадзе - к.х.н., ст. науч. сотрудник, Институт физической химии и электрохимии им. А.Н. Фрумкина РАН (Москва). E-mail: tedoradze_m@mail.ru
Плазмохимическая модификация автоэмиссионных свойств кристаллов кремния различных типов проводимости
Р.К. Яфаров - д.т.н., профессор, Саратовский филиал ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН E-mail: pirpc@yandex.ru С.Ю. Суздальцев - к.т.н., Саратовский филиал ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН E-mail: suzdaltsevsy@rambler.ru В.Я. Шаныгин - к.т.н., науч. сотрудник, Саратовский филиал ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН E-mail: vitairerun@mail.ru
Формирование напряженных и сильно легированных наноразмерных слоев германия
Р.И. Баталов - к.ф-м.н., ст. науч. сотрудник, Казанский физико-технический институт им. Е.К. Завойского КазНЦ РАН E-mail: batalov@kfti.knc.ru Р.М. Баязитов - д.ф-м.н., вед. науч. сотрудник, Казанский физико-технический институт им. Е.К. Завойского КазНЦ РАН, Казанский государственный энергетический университет E-mail: batalov@kfti.knc.ru И.А. Файзрахманов - д.ф-м.н., гл. науч. сотрудник, Казанский физико-технический институт им. Е.К. Завойского КазНЦ РАН E-mail: batalov@kfti.knc.ru Г.Д. Ивлев - к.ф-м.н., ст. науч. сотрудник, Белорусский государственный университет (г. Минск, Республика Беларусь)
Сухая нагрузка на высокий уровень мощности ДМ-диапазона длин волн
С.В. Кузиков - зав. лабораторией, Институт прикладной физики РАН (г. Нижний Новгород) E-mail: kuzikov@appl.sci-nnov.ru А.А. Вихарев - науч. сотрудник, Институт прикладной физики РАН (г. Нижний Новгород) E-mail: alvikharev@appl.sci-nnov.ru Ю.Ю. Данилов - ст. науч. сотрудник, Институт прикладной физики РАН (г. Нижний Новгород) E-mail: danilov@appl.sci-nnov.ru Ю.В. Родин - вед. инженер, Институт прикладной физики РАН (г. Нижний Новгород) E-mail: wish26@yandex.ru С.В. Щелкунов - науч. сотрудник, физический факультет, Йельский университет (г. Нью Хэйвен, США) E-mail: sergey.shchelkunov@yale.edu
Влияние потенциала смещения при СВЧ-обработке в плазме различных газов на морфологические и автоэмиссионные свойства пластин Si (100) p-типа
В.Я. Шаныгин - к.т.н., вед. инженер, лаборатория СФ-5, Саратовский филиал ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН E-mail: vitairerun@mail.ru Р.К. Яфаров - д.т.н., зав. лабораторией СФ-5, Саратовский филиал ИРЭ им. В.А.Котельникова РАН С.Ю. Суздальцев - к.т.н., ст. науч. сотрудник, лаборатория СФ-5, Саратовский филиал ИРЭ им. В.А.Котельникова РАН Д.В. Нефедов - к.т.н., науч. сотрудник, лаборатория СФ-5, Саратовский филиал ИРЭ им. В.А.Котельникова РАН
Наноразмерные кремниевые полевые транзисторы для биосенсоров

Н.В. Масальский – к.-ф.м.н., вед. науч. сотрудник, 

Федеральный научный центр «Научно-исследовательский институт системных исследований РАН» (Москва)

E-mail: volkov@niisi.ras.ru 

Повышение механических характеристик кремний-углеродных покрытий методом ионного азотирования структуры

А.С. Руденков – к.т.н., вед. науч. сотрудник, 

Гомельский государственный университет им. Ф. Скорины (г. Гомель, Республика Беларусь) 

E-mail: arudenkov05@gmail.com

А.В. Рогачев – чл.-корр. НАНБ, д.х.н., профессор, 

Гомельский государственный университет им. Ф. Скорины (г. Гомель, Республика Беларусь) 

E-mail: rogachevav@mail.ru

С.М. Завадский – к.т.н., начальник Центра 9.1, 

Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники (г. Минск, Республика Беларусь) 

E-mail: szavad@bsuir.by

Д.А. Голосов – к.т.н., вед. науч. сотрудник, Центр 9.1, 

Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники (г. Минск, Республика Беларусь)

П.А. Лучников – науч. сотрудник, МИРЭА ‒ Российский технологический университет (Москва)

Е-mail: xamdex@gmail.com

Кремниевые неравномерно легированные нанотранзисторные биосенсоры

Н.В. Масальский – к.-ф.м.н., вед. науч. сотрудник, ФГУ «Федеральный научный центр 

«Научно-исследовательский институт системных исследований РАН» (Москва)

E-mail: volkov@niisi.ras.ru

Наноэлектронные биосенсоры для диагностики онкологических заболеваний

Т.С. Романова – к.б.н., мл. науч. сотрудник, 

Научно-исследовательский институт биомедицинской химии им. В.Н. Ореховича (Москва)

E-mail: romtatyana@mail.ru

К.А. Мальсагова – к.б.н. мл. науч. сотрудник, 

Научно-исследовательский институт биомедицинской химии им. В.Н. Ореховича (Москва)

E-mail: f17-1086@yandex.ru

Т.О. Плешакова – д.б.н., зам. директора по научной работе, 

Научно-исследовательский институт биомедицинской химии им. В.Н. Ореховича (Москва)

E-mail: pleshakova@gmail.com

А.А. Валуева – мл. науч. сотрудник, Научно-исследовательский институт биомедицинской химии 

им. В.Н. Ореховича» (Москва); Российский химико-технологический университет им. Д.И. Менделеева (Москва)

E-mail: varuevavarueva@gmail.com

Р.А. Галлиулин – ведущий программист, 

Научно-исследовательский институт биомедицинской химии им. В.Н. Ореховича (Москва)

E-mail: rafael.anvarovich@gmail.com

В.С. Зиборов – вед. специалист, Научно-исследовательский институт биомедицинской химии  им. В.Н. Ореховича (Москва); Объединенный институт высоких температур РАН (Москва)

E-mail: ziborov.vs@yandex.ru

О.Ф. Петров – академик РАН, д.ф.-м.н., директор Объединенного института высоких температур РАН (Москва)

E-mail: ofpetrov@ihed.ras.ru

В.Г. Никитаев – д.т.н., профессор, зав. кафедрой компьютерных медицинских систем, 

Национальный исследовательский ядерный университет «МИФИ» (Москва)

E-mail: kaf46@mail.ru

А.Н. Проничев – к.т.н., первый зам. заведующего кафедрой компьютерных медицинских систем,  Национальный исследовательский ядерный университет «МИФИ» (Москва)

E-mail: kaf46@mail.ru

Е.А. Дружинина – аспирант, Национальный исследовательский ядерный университет «МИФИ» (Москва) E-mail: kaf46@mail.ru

Ю.Д. Иванов – д.б.н., профессор, зав. лабораторией нанобиотехнологии, 

Научно-исследовательский институт биомедицинской химии им. В.Н. Ореховича (Москва)

E-mail: yurii.ivanov.nata@gmail.com

Физико-технологические принципы построения и функционирования высокопроизводительных информационных систем

С.С. Анцыферов – д.т.н., профессор,  кафедра метрологии и стандартизации, МИРЭА – Российский технологический университет (Москва) E-mail: c_standard@fel.mirea.ru

К.Н. Фазилова – ассистент,  кафедра метрологии и стандартизации, «МИРЭА – Российский технологический университет (Москва)

E-mail: fazilova@mirea.ru

Д.С. Трофимов – генеральный директор, НПП «Торий» (Москва) 

Исследование локализованных состояний в барьерных структурах элементов электроники на основе аморфного гидрированного кремния

С.П. Вихров – д.ф.-м.н., профессор, кафедра «Микро- и наноэлектроника»,  Рязанский государственный радиотехнический университет

E-mail: vikhrovsergey@mail.ru

Н.В. Вишняков – к.т.н., доцент, кафедра «Микро- и наноэлектроника»,  Рязанский государственный радиотехнический университет

E-mail: rcpm-rgrtu@yandex.ru

В.В. Гудзев – к.ф.-м.н., доцент, кафедра «Микро- и наноэлектроника», 

Рязанский государственный радиотехнический университет

E-mail: valerygudzev@yandex.ru

В.Г. Литвинов – к.ф.-м.н., доцент, кафедра «Микро- и наноэлектроника», 

Рязанский государственный радиотехнический университет

E-mail: vglit@yandex.ru

В.Г. Мишустин – к.ф.-м.н., доцент, кафедра «Микро- и наноэлектроника»,  Рязанский государственный радиотехнический университет

E-mail: vgmish@yandex.ru

Подготовка поверхности подложки кремниевых нанопроволочных полевых транзисторов для создания биосенсора

А.А. Черемискина¹, В.М. Генералов², А.С. Сафатов³, Г.А. Буряк4, А.Л. Асеев5

1-4 ФБУН ГНЦ вирусологии и биотехнологии «Вектор» Роспотребнадзора (р.п. Кольцово, Новосиб. обл., Россия)

5 Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова СО РАН (г. Новосибирск, Россия);

Новосибирский государственный университет (г. Новосибирск, Россия)

Кремниевые неравномерно легированные нанотранзисторные биосенсоры

Н.В. Масальский – к.-ф.м.н., вед. науч. сотрудник, ФГУ «Федеральный научный центр 

«Научно-исследовательский институт системных исследований РАН» (Москва) E-mail: volkov@niisi.ras.ru

Математическая модель распределения давления на кремниевые пластины при двустороннем полировании

И.И. Данилов1, Н.Г. Назаров2, Д.Д. Дмитриев3, С.Н. Синавчиан4, В.С. Синавчиан5

1–5 Московский государственный технический университет им. Н.Э. Баумана (Москва, Россия)

Сенсорные свойства плавниковых полевых нанотранзисторов с полностью охватывающим затвором

Н.В. Масальский

ФГУ «ФНЦ «Научно-исследовательский институт системных исследований РАН» (Москва, Россия)

Анализ тенденций развития чип-резистивных СВЧ-аттенюаторов

С.В. Чижиков – магистр, Московский государственный технический университет им. Н.Э. Баумана E-mail: chigikov95@mail.ru

Исследование коаксиальных согласованных нагрузок на основе мультифизических моделей в диапазоне 0…50 ГГц

Б.М. Кац – к.т.н., ст. науч. сотрудник, начальник отдела, ООО НПП «НИКА-СВЧ» (г. Саратов)

E-mail: brs19520@yandex.ru

В.П. Мещанов – Засл. деятель науки РФ, д.т.н., профессор, директор ООО НПП «НИКА-СВЧ» (г. Саратов) E-mail: nika373@bk.ru

Н.Ф. Попова – к.т.н., ст. науч. сотрудник, начальник отдела, ООО НПП «НИКА-СВЧ» (г. Саратов)

Я.В. Туркин – ст. науч. сотрудник, ООО НПП «НИКА-СВЧ» (г. Саратов) E-mail: turkin.yaroslav@gmail.com

Влияние локализованных состояний на эффективную высоту потенциального барьера «металл – аморфный гидрогенизированный кремний»

Н.В. Вишняков – к.т.н., доцент,  кафедра «Микро- и наноэлектроника», Рязанский государственный радиотехнический университет им. В.Ф. Уткина E-mail: rcpm-rgrtu@yandex.ru; rcpm@rsreu.ru

Технологические аспекты изготовления МИС СВЧ

А.Г. Гудков1, В.Н. Вьюгинов2, В.В. Попов3, Ю.В. Соловьев4, Н.К. Травин5, С.В. Чижиков6,
Р.В. Агандеев7, В.Д. Шашурин8

1,6–8 Московский государственный технический университет им. Н.Э. Баумана (Москва, Россия)

2 СПбГЭТУ «ЛЭТИ» им. В.И. Ульянова (Ленина) (Санкт-Петербург, Россия)

3 ПАО «Светлана» (Санкт-Петербург, Россия)

4,5 АО «Светлана-Электронприбор» (Санкт-Петербург, Россия)

Математическая модель двустороннего полирования группы одновременно обрабатываемых кремниевых пластин

И.И. Данилов1, Н.Г. Назаров2, Д.Д. Дмитриев3, С.Н. Синавчиан4, В.С. Синавчиан5

1–5 Московский государственный технический университет им. Н.Э. Баумана (Москва, Россия)

Вертикальные КМОП нанотранзисторы с коническим каналом для трехмерных интегральных схем

Н.В. Масальский1

1 Федеральный научный центр «Научно-исследовательский институт системных исследований РАН» (Москва, Россия)

Сенсорные свойства комплементарной пары кремниевых полевых нанотранзисторов с цилиндрической геометрией

Н.В. Масальский1

1 ФГУ «Федеральный научный центр» Научно-исследовательский институт системных исследований РАН (Москва, Россия)

Лазерный уголковый отражатель для российских лунных посадочных станций

О.А. Ивлев1, В.К. Милюков2, И.А. Гречухин3, Д.А. Павлов4, В.В. Азаров5, Ю.А. Котлов6, И.О. Ивлев7, В.К. Сысоев8

1,3,5,6,7 АО «НПК «Системы прецизионного приборостроения» (Москва, Россия)

2 Государственный астрономический институт им. П.К. Штернберга МГУ им. М.В. Ломоносова (Москва, Россия)

4 Санкт-Петербургский государственный университет (Санкт-Петербург, Россия)

8 Научно-производственное объединение им. С.А. Лавочкина (Москва, Россия)

Интегрально-оптическая подстроечная линия задержки для применения в волоконно-оптических линиях связи

А.А. Никитин1, В.В. Витько2, А.А. Емельянов3, А.Б. Устинов4

1–4 Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ» (Санкт-Петербург, Россия)

3 АО «КНИРТИ» (г. Жуков, Калужская обл., Россия)

1aanikitin@etu.ru, 2vitaliy.vitko@gmail.com, 3eaa15@knirti.ru, 4Ustinov_rus@yahoo.com

Энерготехнологические квантовые параметры кремния в электронике

Л.В. Лысенко1, Д.М. Ахмелкин2, В.К. Шаталов3, А.К. Горбунов4

1, 2 АО «Опытно-конструкторское бюро микроэлектроники» (г. Калуга, Россия)
3, 4 Калужский филиал МГТУ им. Н.Э. Баумана
(национальный исследовательский университет) (г. Калуга, Россия)
1–4 vkshatalov@yandex.ru

Шаблонные модели карбид-кремниевых JFET и их практические приложения в задачах проектирования высокотемпературных аналоговых микросхем в среде LTspice

В.Е. Чумаков1, А.М. Пилипенко2, Д.В. Клейменкин3, В.Н. Бирюков4

1,3 Донской государственный технический университет (г. Ростов-на-Дону, Россия)

2,4 Южный федеральный университет (г. Таганрог, Россия)

1 chumakov.dssa@mail.ru; 2 pilipenko-am@mail.ru; 3 K-Dima-01@mail.ru; 4 vnbiryukov@yandex.ru