350 руб
Журнал «Наукоемкие технологии» №12 за 2010 г.
Статья в номере:
Об образовании макроскопических выступов на поверхности призматических нитевидных кристаллов кремния
Авторы:
Небольсин В.А. - д.т.н., Воронежский государственный технический университет. E-mail: vcm@vmail.ru
Дунаев А.И. - к.ф.-м.н., Воронежский государственный технический университет. E-mail: hidden_111@mail.ru
Долгачев А.А. - к.ф.-м.н., Воронежский государственный технический университет. E-mail: dekan@fddo.vorstu.ru
Завалишин М.А. - Воронежский государственный технический университет. E-mail: hidden_111@mail.ru
Аннотация:
Методами сканирующей зондовой микроскопии исследованы макроскопические несовершенства боковых граней призматических нитевидных кристаллов (НК) кремния. Показано, что на этапе охлаждения выращенных НК на их гладких боковых гранях могут образовываться холмообразные выступы. Образование макроскопических выступов объяснено капельной конденсацией паров кремния в объеме газовой фазы при достижении точки росы. Исследовано влияние технологических параметров процесса кристаллизации на поверхностную плотность и размеры выступов.
Страницы: 54-57
Список источников
- Небольсин В.А., Долгачев А.А., Дунаев А.И., Завалишин М.А. Об общих закономерностях роста микро- и наноразмерных нитевидных кристаллов кремния // Известия РАН. Сер. физическая. 2008. Т.72. №9. С.1285-1288.
- Thelander C. et al. Nanowire-based one-dimensional electronics // Mater. Today. 2006. V.9. P.28-35.
- Гиваргизов Е.И. Искусственная эпитаксия - перспективная технология элементной базы микроэлектроники. М.: Наука. 1988. 176 с.
- Бережной А.С. Кремний и его бинарные соединения. Киев: Изд-во АН УССР. 1958. 250 с.
- Хирс Д., Паунд Г. Испарение и конденсация / пер. с англ. М.: Наука. 1966. 196 с.
- Термодинамические свойства индивидуальных веществ / под ред. В.П. Глушко. М.: Наука. 1979. 340 с.
- Небольсин В.А., Щетинин А.А. Рост нитевидных кристаллов. Воронеж: ВГУ. 2003. 620 с.