350 руб
Журнал «Нелинейный мир» №2 за 2013 г.
Статья в номере:
Исследование влияния СВЧ плазменной микрообработки на аноструктурирование углерода на кристаллах кремния (100)
Ключевые слова: травление поверхность кремний углерод
Авторы:
В.Я. Шаныгин - ст. инженер, Саратовский филиал ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН. E-mail: vitairerun@mail.ru Р.К. Яфаров - д.т.н., зав. лабораторией, Саратовский филиал ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН. E-mail: ustimchikv@gmail.com
Аннотация:
Установлено, что после плазменной микрообработки в хладоне поверхностные плотности меньше, чем после обработки в аргоне, причем они увеличиваются с ростом температуры для хладона и уменьшается для аргона. Показано, что такой характер зависимостей свидетельствует о наличии прекурсорной хемосорбции и обусловлен различной энергетикой адсорбции углерода на пластинах кремния, прошедших предварительную микрообработку в различных химически активных средах.
Страницы: 124-125
Список источников
  1. Оура К., Лифшиц В.Г., Саранин А.А., Зотов А.В., Катаяма М. Введение в физику поверхности. М.: Наука. 2006.
  2. Шаныгин В.Я., Яфаров Р.К. Получение атомарно-чистых поверхностей кремния в низкоэнергетичной СВЧ-плазме низкого давления // ЖТФ. 2009. Т. 79. Вып. 12. С. 73-78.
  3. Шаныгин В.Я., Яфаров Р.К. Особенности наноструктурирования субмонослойных покрытий углерода, осажденных на поверхность монокристаллов кремния в низкотемпературной плазме СВЧ разряда // ЖТФ. 2012. Т. 82. Вып. 8. С. 76-82.