Журналы
Разделы книг
Статьи по ключевому слову травление
Исследование взаимодействия плазмы с непроводящей поверхностью в пучково-плазменном разряде при слабом магнитном поле
В. В. Песков - аспирант ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН. E-mail: vadim_p@plasta.mephi.ru Е. Г. Шустин - д.ф.-м.н., ст. научн. сотр., вед. научн. сотр. ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН (Фрязинский филиал)
Исследование поверхностных структур при изготовлении лангаситовых пьезоэлементов Y-среза
А. М. Ярош - вед. инженер ФГУП «Омский НИИ приборостроения». E-mail: info@oniip.ru О. В. Прохоренко - инженер-химик ФГУП «Омский НИИ приборостроения». E-mail: info@oniip.ru С. В. Ермоленко - инженер-технолог ФГУП «Омский НИИ приборостроения». E-mail: info@oniip.ru, E_S_V@list.ru
Разработка новой технологии создания полевых катодных матриц
В.Я. Шаныгин - ст. инженер, Саратовский филиал ИРЭ им. В. А. Котельникова РАН. E-mail: vitairerun@mail.ru Р.К. Яфаров - д. т. н., зав. лабораторий, Саратовский филиал ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН С.Ю. Суздальцев - ст. науч. сотрудник, Саратовский филиал ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН
Квазиоптические и волноводные компоненты на основе пленочных структур для диапазонов СВЧ, КВЧ и ТГЧ
А. П. Креницкий - к.ф.-м.н., ОАО «Центральный научно-исследовательский институт измерительной аппаратуры» (г. Саратов) С.А. Алавердян - к.т.н., ОАО «Центральный научно-исследовательский институт измерительной аппаратуры» В.П. Мещанов - д.т.н., ОАО Центральный научно-исследовательский институт измерительной аппаратуры
Ионно-лучевая литография в технологии полупроводниковой СВЧ-микроэлектроники
В.В. Перинский - д.т.н., профессор, кафедра «Физическое материаловедение и технологии новых материалов», Саратовский государственный технический университет В.Н. Лясников - д.т.н., профессор, зав. кафедрой «Физическое материаловедение и технологии новых материалов», Саратовский государственный технический университет
Сеточные структуры поляризации электромагнитных волн в терагерцевом диапазоне частот
С.А. Алавердян - к.т.н., начальник лаборатории, ОАО «Центральный научно-исследовательский институт измерительной аппаратуры» (г. Саратов). E-mail: asinok@gmail.com С.И. Боков - к.экон.н., директор ФГУП «Мытищинский научно-исследовательский институт радиоизмерительных приборов». E-mail: info@mniirip.ru Н.А. Зайцев - д.т.н., генеральный директор ОАО «НПО «Стрела» (г. Тула). E-mail: strela@tula.net В.М. Исаев - д.т.н., начальник испытательного центра, ФГУП «Мытищинский научно-исследовательский институт радиоизмерительных приборов». E-mail: info@mniirip.ru И.Н. Кабанов - к.т.н., начальник лаборатории, ФГУП «Мытищинский научно-исследовательский институт радиоизмерительных приборов». E-mail: info@mniirip.ru А.П. Креницкий - к.ф.-м.н., генеральный директор ОАО «Центральный научно-исследовательский институт измерительной аппаратуры» (г. Саратов). E-mail: cime@cime.ru В.П. Мещанов - д.т.н., директор ООО НПП «НИКА-СВЧ» (г. Саратов). E-mail: nika373@bk.ru
Исследование влияния СВЧ плазменной микрообработки на аноструктурирование углерода на кристаллах кремния (100)
В.Я. Шаныгин - ст. инженер, Саратовский филиал ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН. E-mail: vitairerun@mail.ru Р.К. Яфаров - д.т.н., зав. лабораторией, Саратовский филиал ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН. E-mail: ustimchikv@gmail.com
Использование плазмохимического травления в технологии получения pin-диодов
О.Р. Абдуллаев - к.т.н., директор по науке и производству, ОАО «Оптрон». E-mail: abd@optron.ru Е.С. Роговский - вед. инженер, ОАО «Оптрон». E-mail: skb-optron@mail.ru М.Ю. Филатов - к.т.н., зам. директора СКБ, ОАО «Оптрон». E-mail: skb-optron@mail.ru
Определение баклофена в моче при химико-токсикологическом анализе
О.А. Дукова - аспирант, кафедра аналитической и органической химии, Сибирский федеральный университет; судебный эксперт-химик, Красноярское краевое бюро судебно-медицинской экспертизы (г. Красноярск). E-mail: olya.dukova@yandex.ru Е.А. Краснов - д. фарм. н., профессор, кафедра фармацевтической химии, Сибирский государственный медицинский университет (г. Томск). E-mail: krasnov.37@mail.ru А.А. Ефремов - д.х.н., профессор, кафедра аналитической и органической химии, Сибирский федеральный университет (г. Красноярск). E-mail: aefremov@sfu-kras.ru Т.Г. Шиврина - зав. отделением острых отравлений, Городская клиническая больница скорой медицинской помощи № 6 им. Н.С. Карповича (г. Красноярск). E-mail: shivrina-tg@mail.ru Е.В. Суворова - судебный эксперт-химик, Красноярское краевое бюро судебно-медицинской экспертизы (г. Красноярск). E-mail: soovorovaelena@yandex.ru
Получение оксалата меди из отработанного раствора анодного оксидирования алюминия и отработанных медьсодержащих растворов
Е. Г. Афонин - к.х.н., ст. науч. сотрудник, ОАО «КНИИТМУ». E-mail: kniitmu@kaluga.net
Электрохимический синтез пористых мембран на основе нанострукту-рированного оксида алюминия
Д.Л. Шиманович - ст. науч. сотрудник, Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники (г. Минск, Беларусь). Е-mail: ShDL@tut.by
Формирование кремний-углеродных доменов на кристаллах кремния (100)
В.Я. Шаныгин - ст. инженер, СФИРЭ им. В.А. Котельникова РАН (г. Саратов). E-mail: vitairerun@mail.ru Р.К. Яфаров - д.т.н., зав. лабораторией, СФИРЭ им. В.А. Котельникова РАН (г. Саратов) С.Ю. Суздальцев - к.т.н., ст. науч. сотрудник, СФИРЭ им. В.А. Котельникова РАН (г. Саратов) Д.В. Нефедов - к.т.н., науч. сотрудник, СФИРЭ им. В.А. Котельникова РАН (г. Саратов)
Влияние потенциала смещения при СВЧ-обработке в плазме различных газов на морфологические и автоэмиссионные свойства пластин Si (100) p-типа
В.Я. Шаныгин - к.т.н., вед. инженер, лаборатория СФ-5, Саратовский филиал ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН E-mail: vitairerun@mail.ru Р.К. Яфаров - д.т.н., зав. лабораторией СФ-5, Саратовский филиал ИРЭ им. В.А.Котельникова РАН С.Ю. Суздальцев - к.т.н., ст. науч. сотрудник, лаборатория СФ-5, Саратовский филиал ИРЭ им. В.А.Котельникова РАН Д.В. Нефедов - к.т.н., науч. сотрудник, лаборатория СФ-5, Саратовский филиал ИРЭ им. В.А.Котельникова РАН
Планарные структуры нанопустот в объеме кристалла

Е.А. Степанцов – к.ф.-м.н., вед. науч. сотрудник, Институт кристаллографии им. А.В. Шубникова,  ФНИЦ «Кристаллография и фотоника» РАН (Москва)

E-mail: stepantsov@ns.crys.ras.ru

Планарные структуры нанопустот в объеме кристалла

Е.А. Степанцов – к.ф.-м.н., вед. науч. сотрудник, Институт кристаллографии им. А.В. Шубникова,  ФНИЦ «Кристаллография и фотоника» РАН (Москва, Россия)

Термоупругий мартенситный переход и эффект памяти формы в сплаве Ti NiCu на микро- и наномасштабе

П.В. Лега

ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН (Москва, Россия)

Термоупругий мартенситный переход и эффект памяти формы в сплаве Ti2NiCu на микро- и наномасштабе*

П.В. Лега1

1 ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН (Москва, Россия)

Плазмохимическое травление кварцевого стекла гексафторидом серы

Г.Р. Сагателян1, К.Н. Бугорков2, А.Б. Соломашенко3, А.С. Кузнецов4

1–4 МГТУ им. Н.Э. Баумана (национальный исследовательский университет) (Москва, Россия)
 

Исследование ионных пучков бессеточных ионных источников с плавающим и с анодным потенциалом задней стенки разрядной камеры

Д.С. Манегин1, В.Д. Соколов2, С.О. Шилов3, Е.В. Воробьев4, О.П. Плотникова5, С.Г. Ивахненко6

1-6 НОЦ «Ионно-плазменные-технологии», МГТУ им. Н.Э. Баумана (Москва, Россия)

1 manegin@bmstu.ru; 2 sokolovvd@bmstu.ru; 3 s.shilov@bmstu.ru; 4 evv@bmstu.ru; 5 plotnikova@bmstu.ru; 6 ivakhnenko@bmstu.ru