350 руб
Журнал «Нелинейный мир» №6 за 2009 г.
Статья в номере:
Исследование взаимодействия плазмы с непроводящей поверхностью в пучково-плазменном разряде при слабом магнитном поле
Ключевые слова: плазмо-химическое травление непроводящая поверхность GaAs
Авторы:
В. В. Песков - аспирант ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН. E-mail: vadim_p@plasta.mephi.ru Е. Г. Шустин - д.ф.-м.н., ст. научн. сотр., вед. научн. сотр. ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН (Фрязинский филиал)
Аннотация:
Проведен анализ взаимодействия плазмы с непроводящей поверхностью в пучково-плазменном разряде при слабом магнитном поле в камере; исследованы токи из плазмы на поверхность непроводящей пластины и потенциала этой поверхности методами компьютерного моделирования и физического эксперимента; на основе результатов моделирования выбран оптимальный режим травления и измерена скорость травления GaAs.
Страницы: 495
Список источников
  1. Исаев Н.В., Чмиль А.И., Шустин Е.Г. Ионные потоки из области пучково-плазменного разряда // Физика плазмы. 2004. Т. 30. №3. С. 257
  2. Исаев Н.В., Шустин Е.Г., Темирязева М.П., Тараканов В.П., Федоров Ю.В. Ионные потоки из пучково-плазменного разряда в слабом магнитном поле: физика и применение // Прикладная физика. 2008. №3. С.73