350 rub
Journal Nonlinear World №6 for 2009 г.
Article in number:
Investigation of plasma interaction with non-conducting surface in beam plasma discharge at low magnetic field
Keywords: plasma catching isolated surface GaAs
Authors:
Peskov V.V., Shustin E.G.
Abstract:
The studies of current from plasma to isolated surface and of potential of this surface was made by means of computer simulation and physical experiment. An optimum etching regime has been chosen based on simulation results and measurement of etching rate of GaAs has been carried out.
Pages: 495
References
  1. Исаев Н.В., Чмиль А.И., Шустин Е.Г. Ионные потоки из области пучково-плазменного разряда // Физика плазмы. 2004. Т. 30. №3. С. 257
  2. Исаев Н.В., Шустин Е.Г., Темирязева М.П., Тараканов В.П., Федоров Ю.В. Ионные потоки из пучково-плазменного разряда в слабом магнитном поле: физика и применение // Прикладная физика. 2008. №3. С.73