350 руб
Журнал «Наноматериалы и наноструктуры - XXI век» №4 за 2014 г.
Статья в номере:
Электрохимический синтез пористых мембран на основе нанострукту-рированного оксида алюминия
Ключевые слова: свободная матрица пора оксид алюминия технология наноструктурированный анодный пористый оксид алюминия изотропное травление фильтр
Авторы:
Д.Л. Шиманович - ст. науч. сотрудник, Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники (г. Минск, Беларусь). Е-mail: ShDL@tut.by
Аннотация:
Представлен технологический процесс изготовления свободных матриц однослойных мембран толщиной ~ 30-70 мкм на основе наноструктурированного анодного пористого оксида алюминия с диаметром немодифицированных пор ~ 40-60 нм. Разработана методика расширения сквозных каналов пор, полученных за счет изотропного травления их стенок с высокой однородностью размеров.
Страницы: 18-22
Список источников

 

  1. Сокол В.А., Яковцева В.А., Шиманович Д.Л. Особенности применения пористых оксидов алюминия // Доклады БГУИР. 2012. № 2 (64). С. 21-27.
  2. Шиманович Д.Л., Чушкова Д.И., Сокол В.А. Электрохимические приемы формирования свободных наноструктурированных матриц из анодного Al2O3 со сквозными модифицированными порами // Материалы VII Всеросс. конф. молодых ученых «Наноэлектроника, нанофотоника и нелинейная физика» (24-26 сентября 2012 г., Саратов). Саратов: Изд-во Сарат. ун-та. 2012. С. 188-189.
  3. Чушкова Д.И., Шиманович Д.Л., Сокол В.А. Электрохимические особенности формирования свободных наноструктурированных матриц из Al2O3 со сквозными модифицированными порами. // Сборник научных трудов V Междунар. научной конф. «Материалы и структуры современной электроники» (10-11 октября 2012 г., Минск). Мн.: Изд. Центр БГУ. 2012. С. 195-199.