350 руб
Журнал «Успехи современной радиоэлектроники» №12 за 2010 г.
Статья в номере:
Исследование поверхностных структур при изготовлении лангаситовых пьезоэлементов Y-среза
Ключевые слова: лангасит кристаллические элементы химическое травление поверхностная пленка
Авторы:
А. М. Ярош - вед. инженер ФГУП «Омский НИИ приборостроения». E-mail: info@oniip.ru О. В. Прохоренко - инженер-химик ФГУП «Омский НИИ приборостроения». E-mail: info@oniip.ru С. В. Ермоленко - инженер-технолог ФГУП «Омский НИИ приборостроения». E-mail: info@oniip.ru, E_S_V@list.ru
Аннотация:
Изучена динамика изменения поверхности лангаситовых пластин в технологических режимах механической обработки и химического травления. На основе пьезокварцевого производства оптимизирован процесс изготовления ЛГС кристаллических элементов для высокочастотных резонаторов. Отработана методика термовакуумного напыления защитного покрытия (медь) и электродного покрытия (серебро) с подслоем ванадия.
Страницы: 45-50
Список источников
  1. Laffey, S.,Hendrickson, M. and Vig, J. R.,Polishing and Etching Langasite and Quartz Cristals // IEEE International Frequency Control Symposium. 1994. P. 245-250.
  2. Gotalskaja, A. N.,at al. Langasite Crystal Quality Improvement Aimed at High - Q Resonators Fabrication // IEEE International Frequency Control Symposium. 1995. P. 657-666.
  3. Прохоренко О. В., Ярош А. М. Экспресс-технология обработки лангасита в производстве высокочастотных резонаторов // Тезисы доклада. Юбилейная научно-техническая конференция «Современное состояние и перспективы развития специальных систем радиосвязи и радиоуправления», 15-16 декабря 2008г., г. Омск.
  4. Патент 2301 141 РФ. Способ обработки подложек монокристаллического лантангаллиевого силиката / Фирма ОАО «Фомос Материалс». С1 от30.11.2005.
  5. Lowe, A. T.,MetallizationofQuartzOscillator// Proc. 35 AFCS. 1981. P. 45-48.
  6. Нанотехнология: физика, процессы, диагностика, приборы / под. ред. В. В. Лучинина, Ю. М. Таирова. М: Физматлит. 2006.