В.В. Перинский - д.т.н., профессор, кафедра «Физическое материаловедение и технологии новых материалов», Саратовский государственный технический университет В.Н. Лясников - д.т.н., профессор, зав. кафедрой «Физическое материаловедение и технологии новых материалов», Саратовский государственный технический университет

Изготовление интегральных схем СВЧ и разработка сложных монолитных схем требует новой технологической базы на основе совместимых между собой лучевых методов локальной обработки материалов. В наибольшей степени этим требованиям удовлетворяет ионно-лучевая обработка, которая используется в настоящее время для создания активных, изолирующих и резистивных областей в GaAs, ионного фрезерования, осаждения, локального травления, ионной литографии. Единство физико-химической природы, локальность, возможность электрофизических и химических воздействий ионно-лучевой обработки на материалы в принципе обеспечивает проведение всех основных технологических операций и их интеграцию. В силу этих причин, достижение высокого технологического уровня СВЧ ИС связано с внедрением методов ионно-лучевой обработки.