И.И. Данилов1, Н.Г. Назаров2, Д.Д. Дмитриев3, С.Н. Синавчиан4, В.С. Синавчиан5

1–5 Московский государственный технический университет им. Н.Э. Баумана (Москва, Россия)

Постановка проблемы. Производство современных твердотельных интегральных схем использует в качестве заготовки кремниевые полупроводниковые пластины. Требуемая для этого точность геометрической формы пластин обеспечивается на операциях финишного полирования. Наиболее производительное – двустороннее полирование. Расчет эволюции геометрической формы пластины при полировании требует разработку математической модели распределения давления на кремниевые пластины, которая учитывает основные факторы.

Цель работы – разработка математической модели распределения давления на кремниевые пластины при двустороннем полировании.

Результаты. Разработана математическая модель упругодеформированного состояния кремниевой пластины осесимметричной геометрической формы при двустороннем полировании, позволяющая рассчитать эпюры давления на пластины.

Практическая значимость. Использование результатов исследования позволяет разработать математическую модель процесса полирования кремниевых пластин и рассчитать оптимальные технологические режимы этой операции.

Данилов И.И., Назаров Н.Г., Дмитриев Д.Д., Синавчиан С.Н., Синавчиан В.С. Математическая модель распределения давления на кремниевые пластины при двустороннем полировании // Нанотехнологии: разработка, применение – XXI век. 2021. Т. 13. № 4. С. 60–67. DOI: https://doi.org/10.18127/j22250980-202104-06

1. Орлов П.Н. Алмазно-абразивная доводка деталей: Обзор. Сер. С-Х-4. М.: НИИМАШ. 1972. 200 с.
2. Орлов П.Н., Савелова А.А., Полухин В.А., Нестеров Ю.И. Доводка прецизионных деталей машин / Под ред. Г.М. Ипполитова. М.: Машиностроение. 1978. 256 с.
3. Тимошенко С.П., Гудьер Д. Теория упругости. Изд. 2-е. М.: Наука. 1979. 560 с.
4. Данилов И.И. Расчет давления в зоне контакта поверхностей детали и инструмента при двустороннем полировании. В сб.: Повышение стойкости металлорежущего инструмента: Матер. Межотраслевых научно-техн. конф., совещ., семин. и выставок / Под ред. Л.С. Кербикова. М.: ВИМИ. 1981. С. 94–98.
5. Орлов П.Н., Данилов И.И. Особенности математического моделирования двустороннего абразивного полирования // Вопросы судостроения. Сер. Технология морского приборостроения. 1984. Вып. 5. С. 21–29.
6. Снитко Н.К. Строительная механика: Учебник для вузов. Изд. 3-е, перераб. М.: Высшая школа. 1980. 431 с.
7. Бидерман В.Л. Механика тонкостенных конструкций. Статика. М.: Машиностроение. 1977. 488 с.
8. Верлань А.Ф., Сизиков В.С. Методы решений интегральных уравнений с программами для ЭВМ. Киев: Наукова думка. 1978. 292 с.
9. Камке Э. Справочник по обыкновенным дифференциальным уравнениям. М.: Наука. 1976. 576 с.
10. Коренев Б.Г. Введение в теорию бесселевых функций. М.: Наука. 1971. 287 с.
11. Янке Е., Эмде Ф., Леш Ф. Специальные функции. Формулы, графики, таблицы. Изд. 3-е. стереотипное / Под ред. Л.И. Седова. М.: Наука. 1977. 342 с.
12. Тихонов А.Н., Васильева А.Б., Свешников А.Г. Дифференциальные уравнения. М.: Наука. 1979. 232 с.
13. Коренев Б.Г. Задачи теории теплопроводности и термоупругости. М.: Наука. 1980. 400 с.