350 руб
Журнал «Успехи современной радиоэлектроники» №6 за 2010 г.
Статья в номере:
Управление спектральной чувствительностью и разрешающей способностью кремниевых многоэлементных фотоприемников
Ключевые слова: спектральная чувствительность разрешающая способность кремниевые многоэлементные фотоприемники энергетические барьеры
Авторы:
Ю. И. Тишин - МФТИ, ООО НПК «Сенсорис» И. В. Ванюшин - МФТИ, ООО НПК «Сенсорис» В. А. Гергель - МФТИ, ООО НПК «Сенсорис», ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН В. А. Зимогляд - ООО НПК «Сенсорис», ФГУП НИИ физических проблем им. Ф.В. Лукина
Аннотация:
Рассмотрены способы управления основными параметрами цветных многоэлементных фотоприемников с расположенными внутри кремниевой подложки встроенными энергетическими барьерами, предложенными в компании ООО Юник Ай Сиз и развиваемыми в настоящее время в компании ООО НПК Сенсорис. Показана возможность управления спектральной чувствительностью с помощью изменения глубины и высоты энергетических барьеров. Коррекция разрешающей способности вблизи длинноволновой границы чувствительности осуществляется методом обработки, основанным на физических свойствах цветных фотоприемников, в частности, на свойствах базиса цветных фильтров, обеспечивающих необходимые колориметрические кривые сложения цветов.
Страницы: 39-46
Список источников
  1. Fossum E.R. Activ pixel sensor - are CCD-s dinosaurs - // Proc. SPIE. Feb. 1993. V. 1900. P. 2-14.
  2. Хайновский В.И., Уздовский В.В., Минаев В.В., Сондаевский Р.В. Многоканальные спектрозональные приборы с зарядовой связью // Тезисы докл. 4-й Междунар. научн.-техн. конф. «Электроника и информатика-2002». М.: МИЭТ, 2002. Ч. 1.  С. 65.
  3. Richard Billings Merrill. Pat. Color separation in an active pixel cell imaging array using triple well structure// Пат. № 5965875 USA, Int. Cl G 01J 3/50.
  4. ТишинЮ.И., ГергельВ.А., ЗимоглядВ.А., ВанюшинИ.В., ЛепендинА.В.. Фотоприемнаяячейка// Пат. № 2290722 Россия, МПК  H01L 31/06.
  5. ТишинЮ.И., ГергельВ.А., ЗимоглядВ.А., ВанюшинИ.В., ЛепендинА.В.. Фотоприемнаяячейка// Пат. № 2291518 Россия, МПК  H01L 31/06.
  6. Тишин Ю.И., Гергель В.А., Зимогляд В.А., Ванюшин И.В., Лепендин А.В.. Фотоприемнаяячейкас разделением цветов// Пат. № 2297074 Россия, МПК  H01L 27/146.
  7.  Dierickx B., Meynants G., Scheffer D. Near 100% fill factor CMOS active pixels// Proceedings of IEEE CCD & AIS workshop, Brugge, Belgium.  5-7 June 1997. P. P1.
  8. Ванюшин И.В., Гергель В.А., Зимогляд В.А., Лепендин А.В., Тишин Ю.И. Фотоячейка с разделением цветов// Пат. № 2309483 Россия. МПК H01L 031/06.
  9. Ванюшин И.В., Гергель В.А., Зимогляд В.А., Лепендин А.В., Тишин Ю.И. Односекционная фотоячейка с разделением цветов// Пат. № 2309485 Россия, МПК H01L 031/06.
  10. USA Patent № 5,965,875. October 1999.
  11. Ванюшин И.В., Гергель В.А., Зимогляд В.А., Тишин Ю.И. Коррекция спектральной чувствительности кремниевых фотодиодов имплантацией дополнительной примеси в подложку// Микроэлектроника. 2005. Т. 34, № 3. С. 155-159.
  12. Зи. С. Физика полупроводниковых приборов. М.: Мир, 1984.