350 rub
Journal Achievements of Modern Radioelectronics №6 for 2010 г.
Article in number:
Control of Spectral Sensitivity and Resolution of Silicon Multipixel Photodetectors
Keywords: spectral sensitivity spatial resolution silicon multielement photoreceivers energy barriers
Authors:
Tishin Yu. I., Vanyushin I. V., Gergel - V. A., Zimoglyad V. A
Abstract:
Methods of the main parameters control for color multielement CMOS image sensors with buried (built-in) energy barriers in a silicon substrate, invented by LLC Unique IC's and being developed now at PRC LLC SensorIS, were considered. A possibility of spectral sensitivity control by means of energy barriers' depth and hight modification was described. Spatial resolution correction for the color components detected nearby the long-wavelength band is performed via digital processing algorithms, developed on the basis of color photocell's physical principles, particularly, subject to properties of the photocell's spectral sensitivities, which, in turn, provide the necessary colormatching functions
Pages: 39-46
References
  1. Fossum E.R. Activ pixel sensor - are CCD-s dinosaurs - // Proc. SPIE. Feb. 1993. V. 1900. P. 2-14.
  2. Хайновский В.И., Уздовский В.В., Минаев В.В., Сондаевский Р.В. Многоканальные спектрозональные приборы с зарядовой связью // Тезисы докл. 4-й Междунар. научн.-техн. конф. «Электроника и информатика-2002». М.: МИЭТ, 2002. Ч. 1.  С. 65.
  3. Richard Billings Merrill. Pat. Color separation in an active pixel cell imaging array using triple well structure// Пат. № 5965875 USA, Int. Cl G 01J 3/50.
  4. ТишинЮ.И., ГергельВ.А., ЗимоглядВ.А., ВанюшинИ.В., ЛепендинА.В.. Фотоприемнаяячейка// Пат. № 2290722 Россия, МПК  H01L 31/06.
  5. ТишинЮ.И., ГергельВ.А., ЗимоглядВ.А., ВанюшинИ.В., ЛепендинА.В.. Фотоприемнаяячейка// Пат. № 2291518 Россия, МПК  H01L 31/06.
  6. Тишин Ю.И., Гергель В.А., Зимогляд В.А., Ванюшин И.В., Лепендин А.В.. Фотоприемнаяячейкас разделением цветов// Пат. № 2297074 Россия, МПК  H01L 27/146.
  7.  Dierickx B., Meynants G., Scheffer D. Near 100% fill factor CMOS active pixels// Proceedings of IEEE CCD & AIS workshop, Brugge, Belgium.  5-7 June 1997. P. P1.
  8. Ванюшин И.В., Гергель В.А., Зимогляд В.А., Лепендин А.В., Тишин Ю.И. Фотоячейка с разделением цветов// Пат. № 2309483 Россия. МПК H01L 031/06.
  9. Ванюшин И.В., Гергель В.А., Зимогляд В.А., Лепендин А.В., Тишин Ю.И. Односекционная фотоячейка с разделением цветов// Пат. № 2309485 Россия, МПК H01L 031/06.
  10. USA Patent № 5,965,875. October 1999.
  11. Ванюшин И.В., Гергель В.А., Зимогляд В.А., Тишин Ю.И. Коррекция спектральной чувствительности кремниевых фотодиодов имплантацией дополнительной примеси в подложку// Микроэлектроника. 2005. Т. 34, № 3. С. 155-159.
  12. Зи. С. Физика полупроводниковых приборов. М.: Мир, 1984.