350 руб
Журнал «Нанотехнологии: разработка, применение - XXI век» №3 за 2014 г.
Статья в номере:
Способы измерения удельного сопротивления подложек полуизолирующего карбида кремния
Ключевые слова: подложки полуизолирующего карбид кремния электрическое сопротивление неразрушающие методы измерений
Авторы:
В. В. Попов - к.т.н., ген. директор, ОАО «Светлана», Санкт-Петербург
Аннотация:
Проанализированы методы измерения удельного сопротивления подложек в диапазоне 105-1012 Ом-см. Обсуждены достоинства и недостатки методов измерений с разрушающим и неразрушающим контролем. Описан метод неразрушающего контроля удельного сопротивления подложек по определению времени рассасывания индуцированного заряда.
Страницы: 27-32
Список источников

  1. Лебедев А. А., Белов С. В., Лебедев С. П., Литвин Д. П., Никитина И. П., Васильев А. В., Макаров Ю. Н., Нагалюк С. С., Стрельчук А. М., Попов В. В., Вьюгинов В. Н., Шифман Р. Г., Кузмичев Ю. С., Травин Н. К., Венедиктов О. В. Начало промышленного выпуска SiC подложек и приборов на их основе // Труды 1-й российско-белорусской научно-технической конференции «Элементная база отечественной радиоэлектроники», посвященной 110-ю со дня рождения О. В. Лосева / Под ред. А. Э. Рассадина. Н. Новгород.: Нижегородская радиолаборатория. 2013. Т. 1. С. 23-24.
  2. ГОСТ 25948-83. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла.
  3. http://www.keithley.ru/
  4. ГОСТ Р8.623-2006 ГСИ. Относительная диэлектрическая проницаемость и тангенс угла диэлектрических потерь твердых диэлектриков. Методики выполнения измерений в диапазоне сверхвысоких частот.
  5. http://www.semimap.de/COREMA-WT.htm
  6. Вьюгинов В. Н., Уланова Т. А., Григорьев А. Д. Измерение параметров карбид-кремниевых подложек на СВЧ // Изв. вузов России. Радиоэлектроника. 2013. №3. С. 80.