И.И. Данилов1, Н.Г. Назаров2, Д.Д. Дмитриев3, С.Н. Синавчиан4, В.С. Синавчиан5
1–5 Московский государственный технический университет им. Н.Э. Баумана (Москва, Россия)
Постановка проблемы. Производство современных твердотельных интегральных схем использует в качестве заготовки кремниевые полупроводниковые пластины. Требуемая для этого точность геометрической формы пластин обеспечивается на операциях финишного полирования. Наиболее производительное – двустороннее полирование группы заготовок на станке. Расчет эволюции геометрической формы пластины при такой обработке требует разработку математической модели распределения давления, которое зависит от распределения рабочей нагрузки между заготовками одной группы при их совместной обработке на станке.
Цель работы – разработка математической модели двустороннего полирования группы одновременно обрабатываемых кремниевых пластин.
Результаты. Разработана математическая модель двустороннего полирования группы одновременно обрабатываемых кремниевых пластин, позволяющая рассчитать рабочую нагрузку на каждую пластину.
Практическая значимость. Использование результатов исследования позволяет разработать математическую модель процесса двустороннего полирования на станке группы кремниевых пластин и рассчитать оптимальные технологические режимы этой операции.
Данилов И.И., Назаров Н.Г., Дмитриев Д.Д., Синавчиан С.Н., Синавчиан В.С. Математическая модель двустороннего полирования группы одновременно обрабатываемых кремниевых пластин // Нанотехнологии: разработка, применение – XXI век. 2022. T. 14. № 3. С. 22−30. DOI: https://doi.org/10.18127/j22250980-202203-03
- Данилов И.И., Назаров Н.Г., Дмитриев Д.Д., Синавчиан С.Н., Синавчиан В.С. Математическая модель распределения давления на кремниевые пластины при двустороннем полировании // Нанотехнологии: разработка, применение – XXI век. 2021. Т. 13. № 4. С. 60–67.
- Дюжиков В.И. Выбор оптимальных условий полирования плоских поверхностей кварцевых пластин // Электронная техника. Сер. 10. 1972. Вып. 3. С. 100–107.
- Корн Г., Корн Т. Справочник по математике для научных работников и инженеров. М.: Наука. 1977. 832 с.