350 руб
Журнал «Наноматериалы и наноструктуры - XXI век» №3 за 2010 г.
Статья в номере:
Определение радиусов нанопор в кремнии методом позитронной аннигиляционной спектроскопии
Ключевые слова: нанопоры аннигиляционный фотон пористый кремний концентрация нанопор монокристаллические пластины облучение протонами
Авторы:
Ю. А. ЧАПЛЫГИН - чл.-корр. РАН, ректор, Московский государственный институт электронной техники (Москва, Зеленоград). Е-mail: r@miee.ru В. И. ГРАФУТИН - к.ф-м.н, ст.н.с, зав. лабораторией, Институт теоретической и экспериментальной физики им. А.И. Алиханова (Москва). Е-mail: Grafutin@itep.ru С. П. ТИМОШЕНКОВ - д.т.н., профессор, зав. кафедрой, Московский государственный институт электронной техники (Москва, Зеленоград). Е-mail: spep@miee.ru Е. П. ПРОКОПЬЕВ - к.ф-м.н., ст.н.с., Институт теоретической и экспериментальной физики им. А.И. Алиханова (Москва). Е-mail: epprokopiev@mail.ru
Аннотация:
По методу углового распределения аннигиляционных фотонов (УРАФ) определены химический состав среды в месте аннигиляции (на внешних валентных электронах атомов кремния «стенки» поры), размеры и концентрации нанодефектов в пористом кремнии, в монокристаллических пластинах кремния, облученных протонами.
Страницы: 56-63
Список источников
  1. Гаврилов С.А., Графутин В.И., Павлов Л.М., Прокопьев Е.П., Тимошенков С.П.Возможность определения нанообъектов пустоты в наноматериалах позитронным методом // тезисы докл. VI конф. по физике высоких энергий, ядерной физике и ускорителям. 25-29 февраля 2008. г. Харьков. Харьков: ХФТИ. 2008. С.70.
  2. Николис Г., Пригожин И. Познание сложного. Введение. М.: Мир. 1990. Гл. 6. 342 с.
  3. Прокопьев Е.П. Возможные химические реакции для случая неравновесных фазовых переходов в атмосфере дефектов кремния // Физика и химия обработки материалов. 1992. № 4. С. 107.
  4. Прокопьев Е.П.О возможности синергетического подхода к эволюции свойств технически важных материалов // Письма в ЖТФ. 1992. Т. 18. Вып.21. С. 80-84.
  5. Пригожин И. От существующего к возникающему. М.: Мир. 1985. 342 с.
  6. Гольданский В.И.Физическая химия позитрона и позитрония. М.: Наука. 1968.
  7. Графутин В.И., Прокопьев Е.П. Применение позитронной аннигиляционной спектроскопии для изучения строения вещества. Успехи физических наук. 2002. Т. 172. № 1. С. 67-83.
  8. Прокопьев Е.П., Тимошенков С.П., Графутин В.И., Мясищева Г.Г., Фунтиков Ю.В. Позитроника ионных кристаллов, полупроводников и металлов. М.: МИЭТ. 1999.
  9. Гусев А.И.Наноматериалы, наноструктуры, нанотехнологии. М.: Физматлит. 2005.
  10. Бритков О.М., Гаврилов С.А., Графутин В.И., Дягилев В.В., Калугин В.В., Илюхина О.В., Мясищев Г.Г., Светлов-Про-копьев Е.П., Тимошенков С.П., Фунтиков Ю.В. Применение метода позитронной аннигиляционной спектроскопии для исследования дефектов структурытвердого тела. Вопросы атомной науки и техники (Вант) (Саров) // Серия теоретическая и прикладная физика. 2004. Вып. 3. С. 40-50.
  11. Графутин В.И., Илюхин О.В., Калугин В.В., Мясищева Г.Г., Прокопьев Е.П., Фунтиков Ю.В., Тимошенков А.С., Григорьев Д.К., Тимошенков С.П. Исследование позитронных состояний и дефектов в кремнии, облученном протонами // Физика и химия обработки материалов. 2006. № 5. С. 5-12.
  12. Гаврилов С.А., Графутин В.И., Илюхина О.В., Мясищева Г.Г., Прокопьев Е.П., Тимошенков С.П., Фунтиков Ю.В.Прямое экспериментальное наблюдение атома позитрония в пористом кремнии методом позитронной аннигиляционной спектроскопии // Письма в ЖЭТФ. 2005. Т. 81. Вып. 11-12. С. 680-682.
  13. Jean Y.C.positron annihilation spectroscopy for chemical analysis: a novel probe for microstructural analysis of polymers // Microchem. J. 1990. V.42 (1). P. 72-102.
  14. Бритков О.М., Гаврилов С.А., Графутин В.И., Калугин В.В., Тимошенков Ал.С., Илюхина О.В., Мясищева Г.Г., Тимошенков Ан.С., Светлов-Прокопьев Е.П., Тимошенков С.П., Григорьев Д.К., Фунтиков Ю.В. Позитронная аннигиляционная спектроскопия и свойства пористого кремния // Петербургский журнал электроники. 2007. № 3. C. 15-28.
  15. Бабичев А.П., Бабушкина Н.А., Братковский А.М. и др. Физические величины: справочник / под ред. И.С. Григорьева и Е.З. Мейлихова. М.: Энергоатомиздат. 1991.
  16. Графутин В.И., Залужный А.Г., Тимошенков С.П., Бритков О.М., Илюхина О.В., Мясищева Г.Г., Прокопьев Е.П., Фунтиков Ю.В. Исследование позитронных состояний и нанообъектов в монокристаллах кварца, облученных протонами. Атом позитрония в кварце // ЖЭТФ. 2008. V. 133 (3). P. 723-734.
  17. Прокопьев Е.П.Диффузионно-аннигиляционная модель распада позитронных состояний на сферических дефектах в металлах // Письма в ЖТФ. 1990. Т. 16. Вып. 24. С. 6-10.
  18. Dannefaer s.Defect and oxygen in silicon studied by positrons // phys. Stat. Sol. (a). 1987. V. 102 (2). P. 481-491.
  19. Chaplygin Yu.A., Grafutin V.I., Svetlov-Prokopiev E.P., Timoshenkov S.P. Positronics and nanotechnologies: possibilities of studying nano-objects in technically important materials and nanomaterials // In book: advances in nanotechnology. 2010. V. 1. Editors: E. J. Chen and N. Peng. Nova science publishers. New York. 2010. P. 191-208. https://www.novapublishers.com/catalog/product_info.php-cpath=23_96&products_id=10207&oscsid=9c7f4bdf96ee0b265245e976a7c8d2fc
  20. Графутин В.И., Илюхина О.В., Мясищева Г.Г., Прокопьев Е.П., Тимошенков С.П., Фунтиков Ю.В., Чаплыгин Ю.А.Применение и развитие методов позитронной аннигиляционной спектроскопии для определения размеров нанообъектов в пористых системах, дефектных материалах и наноматериалах // Наноструктуры. Математическая физика и моделирование. 2010. T. 2. № 2. C. 15-42.
  21. Графутин В.И., Илюхина О.В., Мясищева Г.Г., Прокопьев Е.П., Тимошенков С.П., Фунтиков Ю.В., Бурцл Р. Позитроника и нанотехнологии: возможности изучения нанообъектов в материалах и наноматериалах методом позитронной аннигиляционной спектроскопии // Ядерная физика.2009. V. 72 (10). Р. 1730-1739.
  22. Chaplygin Y.A., Gavrilov S.A., Grafutin V.I., Svetlov-Prokopiev E.P., And Timoshenkov S.P. Positronics and nanotechnologies: possibilities of studying nano-objects in technically important materials and nanomaterials // Proc. Imeche. Part N: J. Nanoengineering and nanosystems. 2007. V. 221 (4). P. 125-132.
  23. Прокопьев Е.П., Графутин В.И., Тимошенков С.П., Евстафьев С.С., Фунтиков Ю.В. Позитроника и нанотехнологии: возможности изучения нанообъектов в технически важных материалах методом позитронной аннигиляционной спектроскопии // Микроэлектроника. 2009. V. 38 (6). P. 464-475.
  24. Графутин В.И., Илюхина О.В., Мясищева Г.Г., Прокопьев Е.П.,Тимошенков С.П., Фунтиков Ю.В. Позитроника нанообъектов в пористых и дефектных системах на основе кремния и кварца // Украинский физический журнал. 2009. V. 54 (5). Р. 443-453.
  25. Графутин В.И., Прокопьев Е.П., Тимошенков С.П., Фунтиков Ю.В. Позитроника и нанотехнологии: определение
    размеров нанообъектов в пористых системах, наноматериалах и некоторых дефектных материалах методом позитронной аннигиляционной спектроскопии (обзор) // Заводская лаборатория. 2009. V. 75 (6). P. 27-36.
  26. Чаплыгин Ю.А., Графутин В.И., Тимошенков С.П., Прокопьев Е.П.Определение размеров нанообъектов в пористых системах и дефектных материалах по методу УРАФ. // Материалы VII Международной НТК «Intermatic - 2009» ( 7-11 декабря 2009, г. Москва). М.: Энергоатомиздат. 2009. Ч. 2. С. 17-19.
  27. Графутин В.И., Прокопьев Е.П., Тимошенков С.П., Фунтиков Ю.В. Определение радиусов нанообъектов в пористых системах и некоторых дефектных материалах методом позитронной аннигиляционной спектроскопии // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные изучения. 2009. № 12. С. 24-32.
  28. Бурцл Р., Графутин В.И., Илюхина О.В., Мясищева Г.Г., Прокопьев Е.П., Тимошенков С.П., Фунтиков Ю.В. Возможности изучения нанообъектов в пористом кремнии и подложках кремния, облученных протонами, методом позитронной аннигиляционной спектроскопии // Физика твердого тела. 2010.V. 52(4). P. 651-654.
  29. Бабичев А.П., Бабушкина Н.А., Братковский А.М. и др. Физические величины: справочник / под редакцией И.С. Григорьева, Е.З. Мейлихова. М.: Энергоатомиздат. 1991. 1232 с.
  30. Бургуэн Ж., Ланно М. Точечные дефекты в полупроводниках. Экспериментальные аспекты. М.: Мир. 1985.
  31. Urban Knut W. Studying atomic structures by aberration-corrected transmission electron microscopy. Review // Science. 2008. V. 321 (5888). P. 506-510 (look also: http://www.membrana.ru/lenta/?7664#).