350 руб
Журнал «Радиотехника» №3 за 2009 г.
Статья в номере:
Полевой транзистор на основе кремниевого нанопровода
Ключевые слова: полевой транзистор кремниевый нанопривод КНИ материал сверхчувствительный полевой/зарядовый сенсор фотоника спинтроника наноэлектроника
Авторы:
В.А. Крупенин, Д.Е. Преснов, В.С. Власенко, С.В. Амитонов
Аннотация:
Рассмотрен метод изготовления полевого транзистора на основе кремниевого нанопровода из кремния-на-изоляторе (КНИ). Процесс формирования транзистора упрощен и не использует этапы допирования и последующей активации. Особенности конструкции устройства связаны с барьерами Шоттки, образованными в областях контактов металлических (Ti) электродов с истоком и стоком транзистора. Измерены вольт-амперные характеристики экспериментальных структур в широком диапазоне (10 ... +10 В) значений напряжения на затворе. Анализируется возможность использования полевого транзистора на основе кремниевого нанопровода в качестве сверхчувствительного полевого/зарядового сенсора
Страницы: 104
Список источников
  1. Wagner R.S. and Ellis W.C. Vapor-liquid-solid mechanism of single crystal growth. - Appl.Phys. Lett., 1964, vol. 4, no. 5, pp. 89-90.
  2. Givargizov E.I. Fundamental aspects of VLS growth J. Cryst. Growth, 1975, vol. 31, pp. 20-30.
  3. Westwater J., Gosain D.P., Tomiya S, Usui S. and Ruda H. Growth of silicon nanowires via gold/silane vapor-liquid-solid reaction. - J. Vac. Sci. Technol. B, 1997, vol. 15, no. 3, pp. 554-557.
  4. Holmes J.D., Johnston K.P., Doty R.C., and Korgel B.A. Control of Thickness and Orientation of Solution-Grown Silicon Nanowires. - Science, 2000, vol. 287, pp. 1471-1473.
  5. Fang H., Wu Y., Zhao J. H. and Zhu J. Silver catalysis in the fabrication of silicon nanowire arrays. Nanotechnology, 2006, vol. 17, pp. 3768-3774.
  6. Mo. Koo S., Edelstein M. D., Li Q., Richter C.A. and Vogel E.M. Silicon nanowires as enhancement-mode Schottky barrier field-effect transistors. Nanotechnology, 2005, vol. 16, pp. 1482-1485.
  7. Cui Y. and Lieber C.M. Functional Nanoscale Electronic Devices Assembled Using Silicon Nanowire Building Blocks. Science 2001, vol. 291, pp. 851-853.
  8. Patolsky F. and Lieber C.M. Nanowire nanosensors. Materials Today, 2005, vol. 8, no. 4, pp. 20-28.
  9. Stern E., Klemic J.F. Label-free immunodetection with CMOS-compatible semiconducting nanowires. Nature, 2007, vol. 445, pp. 519-522.