350 руб
Журнал «Наноматериалы и наноструктуры - XXI век» №4 за 2013 г.
Статья в номере:
Наноструктурированные газопоглощающие геттерные пленки на основе TiV
Ключевые слова: геттеры наноструктурирование магнетронное распыление электролитическое осаждение пористый кремний
Авторы:
С.П. Тимошенков - д.т.н., профессор, зав. кафедрой, Национальный исследовательский университет «МИЭТ» (Москва). Е-mail: spt@miee.ru Д.С. Гаев - к.т.н., доцент, Кабардино-Балкарский государственный университет им. Х.М. Бербекова (Нальчик, Россия). Е-mail: dahir@mail.ru А.Н. Бойко - к.т.н., доцент, Национальный исследовательский университет «МИЭТ» (Москва). Е-mail: ant_nico@mail.ru Р.Р. Галиуллин - к.т.н., доцент, Кабардино-Балкарский государственный университет им. Х.М. Бербекова (Нальчик, Россия). Е-mail: dahir@mail.ru
Аннотация:
Представлены результаты исследований методов наноструктурирования металлических слоев магнетронным распылением, а также с применением пористого кремния. Для анализа морфологических особенностей структур использовались методы атомно-силовой и растровой электронной микроскопии, порометрии, фрактальной геометрии.
Страницы: 37-41
Список источников

  1. Holtz R.R.L., Provenzano V., Imam M.A.Overview of Nanophase Metals and Alloys for Gas Sensors, Getters, and Hydrogen Storage // Nanostructured Materials. 1996. V. 7. Р. 59-264.
  2. Ramesham R., Kullberg R.C. Review of Vacuum Packaging and Maintenance of MEMS and the Use of Getters therein // Journal of Micro/Nanolithography, MEMS MOEMS. 2009. № 8(3). Р. 031307.
  3. Corazza A., Kullberg R. C. Vacuum Maintenance in Hermetically Sealed MEMS Packages // Proc. SPIE 3514, Micromachined Devices and Components IV. 1998. P. 82-90.
  4. Sparks D., Massoud-Ansari S., Najafi N. Reliable Vacuum Packaging Using NanoGetters and Glass Frit Bonding // Proc. SPIE 5343, Reliability, Testing, and Characterization of MEMS/MOEMS III, 70. January 24. 2004.
  5. Prodromides A.Non-Evaporable Getter Thin Film Coatings for Vacuum Applications // EPFL Thesis. Lausanne. 2002. 168.
  6. Enqvist E.Synthesis and Characterisation of Non-Evaporable Getter Films Based on Ti, Zr and V // Master-s thesis, LiTH-IFM-EX-12/2571-SE, Linköpings universitet. Linköping. 8 February. 2012.
  7. Benvenuti C., Chiggiato P., Costa Pinto P.,  Prodromides A.,  Ruzinov V. Influence of the Substrate Coating Temperature on the Vacuum Properties of Ti-Zr-V Non-Evaporable Getter Films,? Vacuum. 2003. V. 71. Is. 1-2. P. 307-315.
  8. Benvenuti C., Chiggiato P., Costa Pinto P., Escudeiro Santana A., Hedley T., Mongelluzzo A., Ruzinov V., Wevers I. Vacuum Properties of TiZrV Non-Evaporable Getter Films // Vacuum. 2001. V. 60. Is. 1-2. P. 57-65.
  9. Mohammad W., Wilson Ch., Kaajakari V. Introducing Porous Silicon as a Getter using the Self Aligned Maskless Process to Enhance the Quality Factor of Packaged MEMS Resonators // 2011 Joint Conference of the IEEE International. 2011. V. 2-5. P. 1-4.
  10. Ding D., Liu Z., Liu L., Li Z. A Surface Micromachining Process for Suspended RF-MEMS Applications using Porous Silicon // Microsystem Technologies. 2003. V. 9. Is. 6-7. P.  70-473.
  11. Granitzer P., Rumpf K. Porous Silicon - a Versatile Host Material // Materials. 2010. V. 3. P. 943-998.
  12. Brunauer S. The Adsorption of Gases and Vapors // Princeton, USA. 1945. V. 1.
  13. Mandelbrot B.B. The Fractal Geometry of Nature // W.H. Freeman and Company. 1982. 468 р.
  14.  Torkhov N. A.,  Bozhkova V. G.,  Ivonin I. V.,  Novikov V. A. Determination of the Fractal Dimension for the Epitaxial n-GaAs Surface in the Local Limit // Semiconductors. 2009. V. 43. Is. 1. P. 33-41.