350 руб
Журнал «Нанотехнологии: разработка, применение - XXI век» №3 за 2014 г.
Статья в номере:
Разработка технологии финишной подготовки поверхности подложек карбида кремния epi-ready для эпитаксии
Ключевые слова: подложки полуизолирующего карбид кремния финишная подготовка поверхности химико-механическая полировка (ХМП) шероховатость поверхности
Авторы:
В. В. Попов - к.т.н., ген. директор, ОАО «Светлана», Санкт-Петербург
Аннотация:
Представлена технология химико-механического полирования подложек полуизолирующего карбида кремния политипа 6Н-SiC диаметром 3 дюйма, обеспечивающая шероховатость поверхности менее 2 Å. Описаны процессы финишной отмывки и упаковки подложек.
Страницы: 33-36
Список источников

  1. Гольдштейн Р. В., Осипенко М. Н. Химико-механическое полирование. Ч. 1. Основные закономерности. М.: Институт проблем механики им. А. Ю. Ишлинского РАН.
  2. Попов В. В., Вьюгинов В.Н., Травин Н. К. О результатах разработки технологии резки монокристаллов карбида кремния // Электромагнитные волны и электронные системы. 2014. № 4.
  3. Попов В. В., Вьюгинов В. Н., Травин Н. К. Оптимизация технологии механической обработки поверхности подложек карбида кремния // Электромагнитные волны и электронные системы. 2014. № 4. С. 20-22.
  4. http://www.speedfam.com/