Журнал «Наукоемкие технологии» №11 за 2013 г.
Силовая электроника
Перспективы развития приборов силовой электроники на основе нитрида галлия
В.А. Буробин - к.т.н., генеральный директор, ОАО «ГЗ «Пульсар». E-mail: burobin@gz-pulsar.ru, openline@gz-pulsar.ru
5-12
Транзисторы для силовой электроники в металлокерамических корпусах на основе нитрида алюминия
Л.М. Пазинич - зам. директора НТЦ ТЭ, ОАО «ГЗ «Пульсар». E-mail: pazinich@gz-pulsar.ru Ю.М. Печий - директор, филиал «ФЗМТ» ОАО «ЦНИИ «Дельфин» О.Л. Шкарапут - гл. конструктор, филиал «ФЗМТ» ОАО «ЦНИИ «Дельфин». E-mail: alzemin@yandex.ru
13-16
Новая технология создания ограничительных кремниевых диодов с интегральным теплоотводом
О.Р. Абдуллаев - к.т.н., директор по науке и производству, ОАО «Оптрон». E-mail: abd@optron.ru А.С. Дренин - вед. инженер СКБ, ОАО «Оптрон». E-mail: dasnew@mail.ru А.С. Ларюшкин - к.т.н., начальник кристального участка, ОАО «Оптрон» Е.С. Роговский - вед. инженер, ОАО «Оптрон». E-mail: skb-optron@mail.ru М.Ю. Филатов - к.т.н., зам. директора СКБ, ОАО «Оптрон». E-mail: skb-optron@mail.ru
19-21
Приборы и технологии СВЧ электроники
Особенности технологии выращивания эпитаксиальных структур для производства pin-диодов СВЧ- и ВЧ-диапазонов в ОАО «Оптрон» и перспективы ее развития
О.Р. Абдуллаев - к.т.н., директор по науке и производству, ОАО «Оптрон». E-mail: abd@optron.ru Т.П. Колмакова - к.т.н., начальник цеха, ОАО «Оптрон» М.В. Меженный - заместитель начальника цеха, ОАО «Оптрон» М.Ю. Филатов - к.т.н., зам. директора СКБ, ОАО «Оптрон». E-mail: skb-optron@mail.ru
22-29
Разработка технологии производства СВЧ-транзисторов на гетероэпитаксиальных структурах нитрида галлия в ОАО «ГЗ «Пульсар»
В.А. Буробин - к.т.н., генеральный директор, ОАО «ГЗ «Пульсар». E-mail: burobin@gz-pulsar.ru, openline@gz-pulsar.ru Н.И. Каргин - д.т.н., профессор, проректор по инновационному развитию, Национальный исследовательский ядерный университет «МИФИ». E-mail: krgn@ya.ru А.М. Коновалов - вед. специалист, ОАО «ГЗ «Пульсар». E-mail: kb-it@mail.ru А.А. Макаров - инженер-технолог, ОАО «ГЗ «Пульсар». e-mail: makarov.pulsar@gmail.com М.В. Пашков - инженер-технолог, ОАО «ГЗ «Пульсар». E-mail: michaelpashkov@yandex.ru Р.И. Тычкин - зам. гл. инженера, ОАО «ГЗ «Пульсар»
30-36
Инновационные технологии в производстве СВЧ-электронных твердотельных компонентов
В.А. Буробин - к.т.н., генеральный директор, ОАО «ГЗ «Пульсар». E-mail: burobin@gz-pulsar.ru, openline@gz-pulsar.ru Л.М. Пазинич - зам. директора НТЦ ТЭ, ОАО «ГЗ «Пульсар». E-mail: pazinich@gz-pulsar.ru
37-44
Роль послойного препарирования кристаллов в анализе отказов современных интегральных схем
В.А. Буробин - к.т.н., генеральный директор, ОАО «ГЗ «Пульсар». E-mail: burobin@gz-pulsar.ru, openline@gz-pulsar.ru Р.А. Милованов - науч. сотрудник, МГТУ МИРЭА. E-mail: Milovanov_r@inbox.ru. А.А. Щука - д.т.н., профессор, МГТУ МИРЭА. E-mail: shchuka@mail.mipt.ru
45-49
Влияние радиационной обработки быстрыми электронами на кремниевые высокочастотные p-i-n-диоды с барьером Шоттки
О.Р. Абдуллаев - к.т.н., директор по науке и производству, ОАО «Оптрон». E-mail: abd@optron.ru А.С. Дренин - вед. инженер СКБ, ОАО «Оптрон». E-mail: dasnew@mail.ru П.Б. Лагов - к.т.н., доцент, кафедра «Полупроводниковая электроника и физика полупроводников», НИТУ «МИСиС». E-mail: lagov2000@mail.ru М.Ю. Филатов - к.т.н., зам. директора СКБ, ОАО «Оптрон». E-mail: skb-optron@mail.ru
51-56
Использование плазмохимического травления в технологии получения pin-диодов
О.Р. Абдуллаев - к.т.н., директор по науке и производству, ОАО «Оптрон». E-mail: abd@optron.ru Е.С. Роговский - вед. инженер, ОАО «Оптрон». E-mail: skb-optron@mail.ru М.Ю. Филатов - к.т.н., зам. директора СКБ, ОАО «Оптрон». E-mail: skb-optron@mail.ru
57-60
Информационные технологии при комплексной автоматизации НПО «Пульсар»
Т.В. Бошняк - ст. инженер-программист, ОАО «ГЗ «Пульсар». E-mail: boshnyak.pulsar@gmail.com В.А. Буробин - к.т.н., генеральный директор, ОАО «ГЗ «Пульсар». E-mail: burobin@gz-pulsar.ru, openline@gz-pulsar.ru Р.И. Тычкин - зам. гл. инженера, ОАО «ГЗ «Пульсар». E-mail: kb-it@mail.ru
61-70
Оптоэлектроника
Полупроводниковая светодиодная электроника в мультисистемном кластере «Пульсар» ОАО «Российская электроника»
В.А. Буробин - к.т.н., генеральный директор, ОАО «ГЗ «Пульсар». E-mail: burobin@gz-pulsar.ru, openline@gz-pulsar.ru А.Ю. Волошин - аспирант, МГТУ МИРЭА; начальник СКБ «РПИ ГП», ОАО «ГЗ «Пульсар». E-mail: anvo@yandex.ru А.В. Зверев - генеральный директор, ОАО «Российская электроника» В.И. Холодилов - зам. директора, ОАО «ОКБ «МЭЛЗ». E-mail: okbmelz@rambler.ru В.Н. Щербаков - руководитель проекта, ОАО «ОКБ «МЭЛЗ». E-mail: Shherbakovn@list.ru
71-78
Полупроводниковый свет
В.А. Буробин - к.т.н., генеральный директор, ОАО «ГЗ «Пульсар». E-mail: burobin@gz-pulsar.ru, openline@gz-pulsar.ru Н.Н. Соловьев - к.ф.-м.н., доцент, МГТУ МИРЭА А.А. Щука - д.т.н.; профессор, МГТУ МИРЭА. E-mail: shchuka@mail.mipt.ru
79-83
Исследования кубического нитрида бора методами ЦКЛ и ЦКЛВСР в растровом электронном микроскопе
О.Р. Абдуллаев - к.т.н., директор по науке и производству, ОАО «Оптрон». E-mail: abd@optron.ru А.И. Габельченко - науч. сотрудник, кафедра физической электроники, физический факультет, МГУ им. М.В. Ломоносова П.В. Иванников - науч. сотрудник, кафедра физической электроники, физический факультет, МГУ им. М.В. Ломоносова А.С. Якунин - директор Департамента pадиоэлектронной промышленности, Министерство промышленности и торговли РФ
84-88
Перспективы использования кубического нитрида бора при создании электронных приборов
О.Р. Абдуллаев - к.т.н., директор по науке и производству; ОАО «Оптрон». E-mail: abd@optron.ru А.С. Якунин - директор Департамента pадиоэлектронной промышленности, Министерство промышленности и торговли РФ
89-92
Анализ влияния нейтронного облучения на размеры и параметры оптически активной области и вольт-люмен-амперные характеристики четырехкомпонентных AlGaInP и AlGaInN гетероструктур
О.Р. Абдуллаев - к.т.н., директор по науке и производству, ОАО «Оптрон». E-mail: abd@optron.ru Л.В. Гаршенин - к.т.н., зам. директора СКБ ОАО «Оптрон». E-mail: gar@optron.ru И.В. Рыжиков - к.т.н., профессор, МГУПИ
94-103