Журналы
Разделы книг
Статьи по ключевому слову wafer
Полуизолирующие 6Н-SiC подложки для применения в современной электронике
А. А. Лебедев - д. ф.-м. н., профессор, зам. руководителя отделения твердотельной электроники, Физико-технический институт им. А. Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург. E-mail: Shura.lebe@mail.ioffe.ru С. В. Белов - ст. инженер, Физико-технический институт им. А. Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург. E-mail: Sergey@mail.ioffe.ru С. П. Лебедев - мл. науч. сотрудник, Физико-технический институт им. А. Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург; Санкт-Петербургский национальный исследовательский университет информационных технологий, механики и оптики Д. П. Литвин - науч. сотрудник, Физико-технический институт им. А.Ф.Иоффе РАН, Санкт-Петербург И. П. Никитина - ст. инженер, Физико-технический институт им. А. Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург. E-mail: irina.nikitina45@gmail.com А. В. Васильев - зам. ген. директора по производству, ООО «Группа компаний «Нитридные кристаллы», Санкт-Петербург Ю. Н. Макаров - к. ф.-м. н., ген. директор, ООО «Группа компаний «Нитридные кристаллы», Санкт-Петербург С. С. Нагалюк - вед. инженер-технолог, ООО «Группа компаний «Нитридные кристаллы», Санкт-Петербург А. Н. Смирнов - к. ф.-м. н., ст. науч. сотрудник, Физико-технический институт им. А. Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург. E-mail: Alex.Smirnov@mail.ioffe.ru В. В. Попов - к.т.н., ген. директор, ОАО «Светлана», Санкт-Петербург В. Н. Вьюгинов - к. т. н., директор, ЗАО «Светлана-Электронприбор», Санкт-Петербург. E-mail: mail@svetlana-ep.ru Р. Г. Шифман - зам. директора по науке - начальник ОКБ, ЗАО «Светлана-Электронприбор», Санкт-Петербург. E-mail: okb@svetlana-ep.ru Ю. С. Кузьмичев - начальник лаборатории, ЗАО «Светлана-Электронприбор», Санкт-Петербург. E-mail: okb@svetlana-ep.ru Н. К. Травин - вед. инженер-технолог, ЗАО «Светлана-Электронприбор», Санкт-Петербург. E-mail: travin@svetlana-ep.ru О. В. Венедиктов - инженер-технолог, ЗАО «Светлана-Электронприбор», Санкт-Петербург. E-mail: venoleg@gmail.com
Результаты разработки технологии резки монокристаллов карбида кремния
В. В. Попов - к.т.н., ген. директор, ОАО «Светлана», Санкт-Петербург В. Н. Вьюгинов - к. т. н., директор, ЗАО «Светлана-Электронприбор», Санкт-Петербург. E-mail: mail@svetlana-ep.ru Н. К. Травин - вед. инженер-технолог, ЗАО «Светлана-Электронприбор», Санкт-Петербург. E-mail: travin@svetlana-ep.ru
Оптимизация технологии механической обработки поверхности подложек карбида кремния
В. В. Попов - к.т.н., ген. директор, ОАО «Светлана», Санкт-Петербург В. Н. Вьюгинов - к. т. н., директор, ЗАО «Светлана-Электронприбор», Санкт-Петербург. E-mail: mail@svetlana-ep.ru Н. К. Травин - вед. инженер-технолог, ЗАО «Светлана-Электронприбор», Санкт-Петербург. E-mail: travin@svetlana-ep.ru
Разработка технологии финишной подготовки поверхности подложек карбида кремния epi-ready для эпитаксии
В. В. Попов - к.т.н., ген. директор, ОАО «Светлана», Санкт-Петербург
Способы измерения удельного сопротивления подложек полуизолирующего карбида кремния
В. В. Попов - к.т.н., ген. директор, ОАО «Светлана», Санкт-Петербург
Исследование влияния температуры на удельное сопротивление подложек карбида кремния
В. В. Попов - к.т.н., ген. директор, ОАО «Светлана», Санкт-Петербург
Полуизолирующие 6Н-SiC подложки для применения в современной электронике
А. А. Лебедев - д. ф.-м. н., профессор, зам. руководителя отделения твердотельной электроники, Физико-технический институт им. А. Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург. E-mail: Shura.lebe@mail.ioffe.ru С. В. Белов - ст. инженер, Физико-технический институт им. А. Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург. E-mail: Sergey@mail.ioffe.ru С. П. Лебедев - мл. науч. сотрудник, Физико-технический институт им. А. Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург; Санкт-Петербургский национальный исследовательский университет информационных технологий, механики и оптики Д. П. Литвин - науч. сотрудник, Физико-технический институт им. А.Ф.Иоффе РАН, Санкт-Петербург И. П. Никитина - ст. инженер, Физико-технический институт им. А. Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург. E-mail: irina.nikitina45@gmail.com А. В. Васильев - зам. ген. директора по производству, ООО «Группа компаний «Нитридные кристаллы», Санкт-Петербург Ю. Н. Макаров - к. ф.-м. н., ген. директор, ООО «Группа компаний «Нитридные кристаллы», Санкт-Петербург С. С. Нагалюк - вед. инженер-технолог, ООО «Группа компаний «Нитридные кристаллы», Санкт-Петербург А. Н. Смирнов - к. ф.-м. н., ст. науч. сотрудник, Физико-технический институт им. А. Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург. E-mail: Alex.Smirnov@mail.ioffe.ru В. В. Попов - к.т.н., ген. директор, ОАО «Светлана», Санкт-Петербург В. Н. Вьюгинов - к. ф.-м. н., директор, ЗАО «Светлана-Электронприбор», Санкт-Петербург. E-mail: mail@svetlana-ep.ru Р. Г. Шифман - зам. директора по науке - начальник ОКБ, ЗАО «Светлана-Электронприбор», Санкт-Петербург. E-mail: okb@svetlana-ep.ru Ю. С. Кузьмичев - начальник лаборатории, ЗАО «Светлана-Электронприбор», Санкт-Петербург. E-mail: okb@svetlana-ep.ru Н. К. Травин - вед. инженер-технолог, ЗАО «Светлана-Электронприбор», Санкт-Петербург. E-mail: travin@svetlana-ep.ru О. В. Венедиктов - инженер-технолог, ЗАО «Светлана-Электронприбор», Санкт-Петербург. E-mail: venoleg@gmail.com
Оптимизация технологии механической обработки поверхности подложек карбида кремния
В. В. Попов - к.т.н., ген. директор, ОАО «Светлана», Санкт-Петербург В. Н. Вьюгинов - к. ф.-м. н., директор, ЗАО «Светлана-Электронприбор», Санкт-Петербург. E-mail: mail@svetlana-ep.ru Н. К. Травин - вед. инженер-технолог, ЗАО «Светлана-Электронприбор», Санкт-Петербург. E-mail: travin@svetlana-ep.ru
Результаты разработки технологии резки монокристаллов карбида кремния
В. В. Попов - к.т.н., ген. директор, ОАО «Светлана», Санкт-Петербург В. Н. Вьюгинов - к. ф.-м. н., директор, ЗАО «Светлана-Электронприбор», Санкт-Петербург. E-mail: mail@svetlana-ep.ru Н. К. Травин - вед. инженер-технолог, ЗАО «Светлана-Электронприбор», Санкт-Петербург. E-mail: travin@svetlana-ep.ru
Способы измерения удельного сопротивления подложек полуизолирующего карбида кремния
В. В. Попов - к.т.н., ген. директор, ОАО «Светлана», Санкт-Петербург
Разработка технологии финишной подготовки поверхности подложек карбида кремния epi-ready для эпитаксии
В. В. Попов - к.т.н., ген. директор, ОАО «Светлана», Санкт-Петербург
Результаты разработки технологии резки монокристаллов карбида кремния
В.В. Попов - к.т.н., ген. директор, ОАО «Светлана», Санкт-Петербург В.Н. Вьюгинов - к. ф.-м. н., директор, ЗАО «Светлана-Электронприбор», Санкт-Петербург E-mail: mail@svetlana-ep.ru Н.К. Травин - вед. инженер-технолог, ЗАО «Светлана-Электронприбор», Санкт-Петербург E-mail: travin@svetlana-ep.ru
Математическая модель распределения давления на кремниевые пластины при двустороннем полировании

И.И. Данилов1, Н.Г. Назаров2, Д.Д. Дмитриев3, С.Н. Синавчиан4, В.С. Синавчиан5

1–5 Московский государственный технический университет им. Н.Э. Баумана (Москва, Россия)

Математическая модель двустороннего полирования группы одновременно обрабатываемых кремниевых пластин

И.И. Данилов1, Н.Г. Назаров2, Д.Д. Дмитриев3, С.Н. Синавчиан4, В.С. Синавчиан5

1–5 Московский государственный технический университет им. Н.Э. Баумана (Москва, Россия)

Снижение радиационных дефектов в МДП-структурах применением многослойного резиста на основе тугоплавкого металла

Н.В. Черкесова1, Г.А. Мустафаев2, А.Г. Мустафаев3

1,2 ФГБОУ ВО «Кабардино-Балкарский государственный университет им. Х.М. Бербекова» (г. Нальчик, Россия)
3 ГАОУ ВО «Дагестанский государственный университет народного хозяйства» (г. Махачкала, Россия)
1 natasha07_2002@mail.ru, 2 zoone@mail.ru, 3 arslan_mustafaev@mail.ru