А.А. Рогачев - к.т.н., ст. научн. сотрудник, Белорусский государственный университет транспорта (г. Гомель). E-mail: rogachevav@mail.ru П.А. Лучников - зав. лабораторией, Московский государственный институт радиотехники, электроники и автоматики (технический университет). E-mail: xdeltax@mail.ru А.В. Рогачев - д.х.н., профессор, чл.-корр. НАН Беларуси, ректор, Гомельский государственный университет им. Ф. Скорины

С.В. Дайнеко - мл. научный сотрудник, Институт физической химии и электрохимии РАН (Москва). Е-mail: s.daineko@gmail.com К.В. Захарченко - научный сотрудник, Московский инженерно-физический институт (государственный университет) В.И. Золотаревский - научный сотрудник, Институт физической химии и электрохимии РАН (Москва) К.Е. Мочалов - научный сотрудник, Институт биоорганической химии РАН (Москва) В.А. Олейников - научный сотрудник, Институт биоорганической химии РАН (Москва) М.Г. Тедорадзе - к.х.н., Институт физической химии и электрохимии РАН (Москва). Е-mail: vanlab@glas.apc.org А.Р. Тамеев - научный сотрудник, Институт физической химии и электрохимии РАН (Москва) А.В. Чистолинов - Московский инженерно-физический институт (государственный университет) А.А. Чистяков - д.ф.-м.н., ст. научн. сотрудник, Московский инженерно-физический институт (государственный университет). Е-mail: chistaa@mail.ru

О.М. Жигалина - к.ф.-м.н., в.н.с. доцент, Институт кристаллографии им. А.В. Шубникова РАН (Москва). Е-mail: zhigal@ns.crys.ras.ru В.М. Мухортов - д.ф.-м.н., профессор, Южный научный центр РАН (г. Ростов-на-Дону) Ю.И. Головко - д.т.н., начальник отдела, Южный научный центр РАН (г. Ростов-на-Дону) A.Л. Чувилин - к.ф.-м.н., CIC nanoGUNE, San-Sebastian. Е-mail: a.chuvilin@nanogune.eu А.Н. Кускова - м.н.с., Институт кристаллографии им. А.В. Шубникова РАН (Москва). Е-mail: skaldy@rambler.ru

А.Ф. АЛЕКСАНДРОВ Физический факультет МГУ им. М.В.Ломоносова E-mail: n.f.savchenko@gmail.com

О.М. ЖИГАЛИНА к.ф.-м.н., в.н.с. доцент, Институт кристаллографии им. А.В. Шубникова РАН (Москва). Е-mail: zhigal@ns.crys.ras.ru В.М. МУХОРТОВ д.ф.-м.н., профессор, Южный научный центр РАН (г. Ростов-на-Дону) Ю.И. ГОЛОВКО д.т.н., начальник отдела, Южный научный центр РАН (г. Ростов-на-Дону) A.Л. ЧУВИЛИН к.ф.-м.н., CIC nanoGUNE, San-Sebastian. Е-mail: a.chuvilin@nanogune.eu А.Н. КУСКОВА м.н.с., Институт кристаллографии им. А.В. Шубникова РАН (Москва). Е-mail: skaldy@rambler.ru

О.М. Жигалина - к.ф.-м.н., в.н.с. доцент, Институт кристаллографии им. А.В. Шубникова РАН (Москва). Е-mail: zhigal@ns.crys.ras.ru В.М. Мухортов - д.ф.-м.н., профессор, Южный научный центр РАН (г. Ростов-на-Дону) Ю.И. Головко - д.т.н., начальник отдела, Южный научный центр РАН (г. Ростов-на-Дону) A.Л. Чувилин - к.ф.-м.н., CIC nanoGUNE, San-Sebastian. Е-mail: a.chuvilin@nanogune.eu А.Н. Кускова - м.н.с., Институт кристаллографии им. А.В. Шубникова РАН (Москва). Е-mail: skaldy@rambler.ru

И.П. Пронин - к.ф-м.н., ст. науч. сотрудник, Физико-технический институт им. А.Ф.Иоффе РАН (Санкт-Петербург). Е-mail: Petrovich@mail.ioffe.ru Е.Ю. Каптелов - к.ф-м.н., ст. науч. сотрудник, Физико-технический институт им. А.Ф.Иоффе РАН (Санкт-Петербург) С.В. Сенкевич - к.ф-м.н., науч. сотрудник, Физико-технический институт им. А.Ф.Иоффе РАН (Санкт-Петербург) Е.Ю. Флегонтова - к.ф-м.н., науч. сотрудник, Физико-технический институт им. А.Ф.Иоффе РАН (Санкт-Петербург). Е-mail: fl.xiees@mail.ioffe.ru В.П. Пронин - к.ф-м.н., доцент, Российский государственный педагогический университет им. А.И. Герцена (Санкт-Петербург). Е-mail: Thphys@herzen.spb.ru Д.М. Долгинцев - аспирант, Российский государственный педагогический университет им. А.И. Герцена (Санкт-Петербург)

И.Г. Мироненко - д.т.н., профессор, Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ» им. В.И. Ульянова (Ленина) А.А. Иванов - к.т.н., доцент, Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ» им. В.И. Ульянова (Ленина) А.А. Семенов - к.т.н., доцент, Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ» им. В.И. Ульянова (Ленина) Д.В. Велькин - инженер, Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ» им. В.И. Ульянова (Ленина)

В.В. Сорочан - к.ф.-м.н., Калужский филиал МГТУ им. Н.Э. Баумана. E-mail: vsorochan@mail.ru, vitsorochan@yandex.ru

А.В. Кособуцкий - к.ф.-м.н., доцент, Кемеровский государственный университет. Е-mail: kosobutsky@kemsu.ru С.Д. Шандаков - к.ф.-м.н., зав. кафедрой, Кемеровский государственный университет. Е-mail: sergey.shandakov@gmail.com О.Г. Севостьянов - к.ф.-м.н., доцент, Кемеровский государственный университет. Е-mail: olsevos@yahoo.com Н.С. Звиденцова - к.х.н., доцент, Кемеровский государственный университет. Е-mail: pluskova@kemsu.ru М.С. Рыбаков - аспирант, Кемеровский государственный университет. Е-mail: m.rybakov@inbox.ru А.А. Владимиров - ст. лаборант, Кемеровский государственный университет. Е-mail: fizickemsu@mail.ru

М.А. Карпов - студент 5-го курса, МФТИ; инженер, ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН. E-mail: mkarpov@hitech.cplire.ru И.В. Борисенко - к.ф.-м.н., науч. сотрудник, ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН. E-mail: iboris@hitech.cplire.ru Г.А. Овсянников - д.ф.-м.н., зав. лабораторией, ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН. E-mail: gena@hitech.cplire.ru

А.С. Елшин - стажер-исследователь, Московский государственный технический университет радиотехники, электроники и автоматики. E-mail: elshin_andrew@mail.ru Н.Ю. Фирсова - стажер-исследователь, Московский государственный технический университет радиотехники, электроники и автоматики. E-mail: natfirsova@gmail.com Е.Д. Мишина - д.ф.-м.н., профессор, Московский государственный технический университет радиотехники, электроники и автоматики. E-mail: mishina_elena57@mail.ru О.М. Жигалина - стажер-исследователь, Институт кристаллографии РАН им. А.В. Шубникова. E-mail: zhigal@ns.crys.ras.ru Д.А. Абдуллаев - стажер-исследователь, Московский государственный технический университет радиотехники, электроники и автоматики Д.А. Киселёв - к.ф.-м.н., ст. науч. сотрудник, НИТУ «МИСиС» (Москва)

А.С. Елшин - стажер-исследователь, Московский государственный технический университет радиотехники, электроники и автоматики. E-mail: elshin_andrew@mail.ru Н.Ю. Фирсова - стажер-исследователь, Московский государственный технический университет радиотехники, электроники и автоматики. E-mail: natfirsova@gmail.com О.М. Жигалина - стажер-исследователь, Институт кристаллографии РАН им. А.В. Шубникова. E-mail: zhigal@ns.crys.ras.ru Е.Д. Мишина - д.ф.-м.н., профессор, Московский государственный технический университет радиотехники, электроники и автоматики. E-mail: mishina_elena57@mail.ru

Р.Н. Ненашев - аспирант, Московский технологический университет (МИРЭА). E-mail: nenashev@mirea.ru Н.М. Котова - вед. инженер, Московский технологический университет (МИРЭА). Е-mail: kotova1953@yandex.ru

Р.И. Баталов - к.ф-м.н., ст. науч. сотрудник, Казанский физико-технический институт им. Е.К. Завойского КазНЦ РАН E-mail: batalov@kfti.knc.ru Р.М. Баязитов - д.ф-м.н., вед. науч. сотрудник, Казанский физико-технический институт им. Е.К. Завойского КазНЦ РАН, Казанский государственный энергетический университет E-mail: batalov@kfti.knc.ru И.А. Файзрахманов - д.ф-м.н., гл. науч. сотрудник, Казанский физико-технический институт им. Е.К. Завойского КазНЦ РАН E-mail: batalov@kfti.knc.ru Г.Д. Ивлев - к.ф-м.н., ст. науч. сотрудник, Белорусский государственный университет (г. Минск, Республика Беларусь)

Т.А. Шайхулов - студент, МГТУ им. Н.Э. Баумана; инженер, ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН (Москва) E-mail: shcaihulov@hitech.cplire.ru В.А. Шахунов - к.т.н., ст. науч. cотрудник, ИРЭ им. В.А. Котельникова (Москва) В.В. Демидов - д.ф.-м.н., вед. науч. cотрудник, ИРЭ им. В.А. Котельникова (Москва) Г.А. Овсянников - д.ф.-м.н., зав. лабораторией, ИРЭ им. В.А. Котельникова (Москва)

А.В. Фролов1, А.П. Орлов2, А.Г. Темирязев3

1,2 ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН (Москва, Россия)

3 ФИРЭ им. В.А. Котельникова РАН (г. Фрязино, Россия)

 

А.В. Фролов1, А.П. Орлов2, А.Г. Темирязев3

1,2 ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН (Москва, Россия)

3 ФИРЭ им. В.А. Котельникова РАН (г. Фрязино, Россия)

Ф.А. Барон – д.т.н., зам. гл. технолога по микроэлектронике,

АО «НПП «Радиосвязь» (г. Красноярск)

E-mail: filippbaron@mail.ru

С.О. Коновалов – инженер-технолог,

АО «НПП «Радиосвязь» (г. Красноярск)

Ф.В. Зеленов – инженер-технолог,

АО «НПП «Радиосвязь» (г. Красноярск)

А.Н. Масюгин – инженер-технолог,

АО «НПП «Радиосвязь» (г. Красноярск)

А.Б. Иванов – инженер-технолог,

АО «НПП «Радиосвязь» (г. Красноярск)

А.В. Стреж – гл. технолог,

АО «НПП «Радиосвязь» (г. Красноярск)

Д.С. Манегин1, В.Д. Соколов2, С.О. Шилов3, Е.В. Воробьев4, О.П. Плотникова5, С.Г. Ивахненко6

1-6 НОЦ «Ионно-плазменные-технологии», МГТУ им. Н.Э. Баумана (Москва, Россия)

1 manegin@bmstu.ru; 2 sokolovvd@bmstu.ru; 3 s.shilov@bmstu.ru; 4 evv@bmstu.ru; 5 plotnikova@bmstu.ru; 6 ivakhnenko@bmstu.ru