Ф.А. Барон – д.т.н., зам. гл. технолога по микроэлектронике,
АО «НПП «Радиосвязь» (г. Красноярск)
E-mail: filippbaron@mail.ru
С.О. Коновалов – инженер-технолог,
АО «НПП «Радиосвязь» (г. Красноярск)
Ф.В. Зеленов – инженер-технолог,
АО «НПП «Радиосвязь» (г. Красноярск)
А.Н. Масюгин – инженер-технолог,
АО «НПП «Радиосвязь» (г. Красноярск)
А.Б. Иванов – инженер-технолог,
АО «НПП «Радиосвязь» (г. Красноярск)
А.В. Стреж – гл. технолог,
АО «НПП «Радиосвязь» (г. Красноярск)
Постановка проблемы. Конденсаторы являются одними из наиболее востребованных компонентов в электронных схемах. Для гибридных схем, работающих в СВЧ-диапазоне, важно обеспечить малый габарит элемента, высокую удельную емкость, резонансную частоту и напряжение пробоя. Также требуется высокая добротность (низкий тангенс угла потерь), улучшенная температурная стабильность и минимизация отклонений от номинального значения емкости.
Цель. Рассмотреть создание дискретного тонкопленочного конденсатора функционального аналога элементов на титанате бария.
Результаты. Представлена конструкция и технология изготовления дискретных тонкопленочных конденсаторов, изготов ленных с использованием технологий атомно-слоевого осаждения оксида алюминия (Al2O3). Исследована деградация тонкоп леночного диэлектрика различных толщин при длительной эксплуатации. Приведено сравнение изготовленных тонкопленоч ных конденсаторов с керамическими по нескольким ключевым параметрам.
Практическая значимость. Конструкция и технология тонкопленочных конденсаторов позволяет существенно расширить температурный и частотный диапазоны работы элементов, что позволит заменить аналогичные решения на основе керамик в гибридных схемах.
- Масюгин A.Н., Зеленов Ф.В., Иванов A.Б., Коновалов С.O., Тютюнник M.O., Барон Ф.A. Молодежь. Общество. Современная наука, техника и инновации. 2017. № 16. С. 345–347.