350 руб
Журнал «Успехи современной радиоэлектроники» №12 за 2019 г.
Статья в номере:
Тонкопленочные СВЧ-конденсаторы для гибридных сборок
Тип статьи: научная статья
DOI: 10.18127/j20700784-201912-12
УДК: 621.319.4; 621.3.049.772.1; 621.3.049.779
Авторы:

Ф.А. Барон – д.т.н., зам. гл. технолога по микроэлектронике,

АО «НПП «Радиосвязь» (г. Красноярск)

E-mail: filippbaron@mail.ru

С.О. Коновалов – инженер-технолог,

АО «НПП «Радиосвязь» (г. Красноярск)

Ф.В. Зеленов – инженер-технолог,

АО «НПП «Радиосвязь» (г. Красноярск)

А.Н. Масюгин – инженер-технолог,

АО «НПП «Радиосвязь» (г. Красноярск)

А.Б. Иванов – инженер-технолог,

АО «НПП «Радиосвязь» (г. Красноярск)

А.В. Стреж – гл. технолог,

АО «НПП «Радиосвязь» (г. Красноярск)

Аннотация:

Постановка проблемы. Конденсаторы являются одними из наиболее востребованных компонентов в электронных схемах.  Для гибридных схем, работающих в СВЧ-диапазоне, важно обеспечить малый габарит элемента, высокую удельную емкость,  резонансную частоту и напряжение пробоя. Также требуется высокая добротность (низкий тангенс угла потерь), улучшенная  температурная стабильность и минимизация отклонений от номинального значения емкости. 

Цель. Рассмотреть создание дискретного тонкопленочного конденсатора функционального аналога элементов на титанате  бария.

Результаты. Представлена конструкция и технология изготовления дискретных тонкопленочных конденсаторов, изготов ленных с использованием технологий атомно-слоевого осаждения оксида алюминия (Al2O3). Исследована деградация тонкоп леночного диэлектрика различных толщин при длительной эксплуатации. Приведено сравнение изготовленных тонкопленоч ных конденсаторов с керамическими по нескольким ключевым параметрам.

Практическая значимость. Конструкция и технология тонкопленочных конденсаторов позволяет существенно расширить  температурный и частотный диапазоны работы элементов, что позволит заменить аналогичные решения на основе керамик в  гибридных схемах.

Страницы: 76-83
Список источников
  1. Масюгин A.Н., Зеленов Ф.В., Иванов A.Б., Коновалов С.O., Тютюнник M.O., Барон Ф.A. Молодежь. Общество. Современная наука, техника и инновации. 2017. № 16. С. 345–347.
Дата поступления: 25 ноября 2019 г.