350 руб
Журнал «Наноматериалы и наноструктуры - XXI век» №4 за 2011 г.
Статья в номере:
Возможности метода электронно-зондового рентгеновского микроанализа для определения состава наноразмерных пленок цирконата-титаната свинца
Ключевые слова: электронно-зондовый рентгеновский микроанализ тонкие пленки цирконата-титаната свинца Pt/SiO2/Si подложка размерные эффекты
Авторы:
И.П. Пронин - к.ф-м.н., ст. науч. сотрудник, Физико-технический институт им. А.Ф.Иоффе РАН (Санкт-Петербург). Е-mail: Petrovich@mail.ioffe.ru Е.Ю. Каптелов - к.ф-м.н., ст. науч. сотрудник, Физико-технический институт им. А.Ф.Иоффе РАН (Санкт-Петербург) С.В. Сенкевич - к.ф-м.н., науч. сотрудник, Физико-технический институт им. А.Ф.Иоффе РАН (Санкт-Петербург) Е.Ю. Флегонтова - к.ф-м.н., науч. сотрудник, Физико-технический институт им. А.Ф.Иоффе РАН (Санкт-Петербург). Е-mail: fl.xiees@mail.ioffe.ru В.П. Пронин - к.ф-м.н., доцент, Российский государственный педагогический университет им. А.И. Герцена (Санкт-Петербург). Е-mail: Thphys@herzen.spb.ru Д.М. Долгинцев - аспирант, Российский государственный педагогический университет им. А.И. Герцена (Санкт-Петербург)
Аннотация:
Методом электронно-зондового рентгеновского микроанализа изучены возможности определения состава оксидных пленок цирконата-титаната свинца субмикронных и наноразмерных толщин, сформированных на подложке Pt/SiO2/Si по двухстадийной технологии. Показано, что при высокотемпературном отжиге происходят аномально высокие потери свинца в пленках на межфазных границах в процессе кристаллизации (рекристаллизации) фазы перовскита
Страницы: 48-55
Список источников
  1. Scott J.F. The physics of ferroelectric ceramic thin films for memory applications // Ferroelectric Review. 1998. V. 1. № 1. P. 1-129.
  2. Афанасьев В.П., Богачев С.В., Зайцева Н.В., Каптелов Е.Ю., Крамар Г.П., Петров А.А., Пронин И.П. Влияние условий формирования тонкопленочной системы диэлектрическая подложка-платина-титанат-цирконат свинца на структуру, состав и свойства пленок цирконата-титаната свинца // ЖТФ. 1996. Т. 66. Вып. 6. С. 160-169.
  3. Афонин О.Ф., Викторов Б.В.,Забродин Б.В., Моторный А.В., Ольхова М.Б., Ярмаркин В.К. Исследование тонких пленок на основе титаната-цирконата свинца методом обратного резерфордовского рассеяния. // Тезисы докл. Всесоюзной конференции «Актуальные проблемы получения  и применения сегнето- пьезо- и пироэлектриков и родственных им материалов». М.: НИИТЭХИМ/ 1991. С. 49.
  4. Тумаркин А.В., Серенков И.Т., Сахаров В.И. Исследование начальных стадий роста сегнетоэлектрических пленок титаната бария-стронция методом рассеяния средних энергий // ФТТ. 2010. Т. 52, Вып. 12. С. 2397-2400.
  5. Пронин В.П., Хинич И.И., Чистотин И.А. Спектроскопия упругого отражения электронов для количественного элементного анализа поверхности твердого тела // ПЖТФ. 2008. Т. 34. Вып. 19. С. 21-26.
  6. Рид С.Дж.Б. Электронно-зондовый микроанализ и растровая электронная микроскопия в геологии. М.: Техносфера. 2008..
  7. Попова Т.Б., Бакалейников Л.А., Заморянская М.В., Флегонтова Е.Ю. Рентгеноспектральный микроанализ полупроводниковых эпитаксиальных гетероструктур наоснове моделирования транспорта электронов методом Монте-Карло // ФТП. 2008. Т. 42. Вып. 6. С. 686-691.
  8. Whatmore R.W. Ferroelectrics, microsystems and nanotechnology // Ferroelectrics. 1999. V. 225. P. 179-192.
  9. Izyumskaya N., Alivov Y.-I., Cho S.-J., Morkoç H., Lee H., Kang Y.-S. Processing, structure, properties, and applications of PZT thin films // Critical Reviews in Solid State and Materials Sciences. 2007. V. 32. P. 111-202.
  10. Scott J.F. Application of modern ferroelectrics // Science. 2007. V.315. Р. 954-961.
  11. Афанасьев В.П., Мосина Г.Н., Петров А.А., Пронин И.П., Сорокин Л.М., Тараканов Е.А. Особенности поведения конденсаторных структур на основе пленок цирконата-титаната свинца с избытком оксида свинца // Письма в ЖТФ. 2001. Т. 27. Вып. 11. C. 56-63.
  12. Wang Z-J., Maeda R., Kikuchi K. Effect of Pb content on electric properties of sol-gel derived lead zirconate titanate thin films prepared by three-step heat-treatment process // Jpn.J.Appl. Phys. 1999. V. 38. P. 5342-5345.
  13. Тентилова И.Ю., Кукушкин С.А., Каптелов Е.Ю., Пронин И.П, Уголков В.Л. Особенности процесса кристаллизации тонких сегнетоэлектрических пленок цирконата-титаната свинца // Письма в ЖТФ. 2011. Т. 37. Вып. 4. С. 37-43.
  14. Пронин И.П., Каптелов Е.Ю., Сенкевич С.В., Пронин В.П., Сергеева О.Н., Богомолов А.А. Природа диэлектрической неоднородности в тонких пленках PZT, сформированных на подложке Si/SiO2/Pt // Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения / под ред. чл.-корр. РАН А.С. Сигова. М.: Энергоатомиздат, 2010. Ч. 2. С. 13-24.