Статьи по ключевому слову etching
А. М. Ярош - вед. инженер ФГУП «Омский НИИ приборостроения». E-mail: info@oniip.ru
О. В. Прохоренко - инженер-химик ФГУП «Омский НИИ приборостроения». E-mail: info@oniip.ru
С. В. Ермоленко - инженер-технолог ФГУП «Омский НИИ приборостроения». E-mail: info@oniip.ru, E_S_V@list.ru
В.Я. Шаныгин - ст. инженер, Саратовский филиал ИРЭ им. В. А. Котельникова РАН. E-mail: vitairerun@mail.ru
Р.К. Яфаров - д. т. н., зав. лабораторий, Саратовский филиал ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН
С.Ю. Суздальцев - ст. науч. сотрудник, Саратовский филиал ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН
М.Ю. Морозов - науч. сотрудник, лаборатория фотоники, Саратовский филиал ИРЭ им. В. А. Котельникова РАН. Е-mail: mikmyus@rambler.ru
Ю.А. Морозов - вед. науч. сотрудник, лаборатория фотоники, Саратовский филиал ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН
И.В. Красникова - ассистент, кафедра ПВС, Саратовский государственный технический университет
Л.А. Кочкуров - студент, физический факультет, Саратовский государственный технический университет
В.В. Перинский - д.т.н., профессор, кафедра «Физическое материаловедение и технологии новых материалов», Саратовский государственный технический университет
В.Н. Лясников - д.т.н., профессор, зав. кафедрой «Физическое материаловедение и технологии новых материалов», Саратовский государственный технический университет
С.А. Алавердян - к.т.н., начальник лаборатории, ОАО «Центральный научно-исследовательский институт измерительной аппаратуры» (г. Саратов). E-mail: asinok@gmail.com
С.И. Боков - к.экон.н., директор ФГУП «Мытищинский научно-исследовательский институт радиоизмерительных приборов». E-mail: info@mniirip.ru
Н.А. Зайцев - д.т.н., генеральный директор ОАО «НПО «Стрела» (г. Тула). E-mail: strela@tula.net
В.М. Исаев - д.т.н., начальник испытательного центра, ФГУП «Мытищинский научно-исследовательский институт радиоизмерительных приборов». E-mail: info@mniirip.ru
И.Н. Кабанов - к.т.н., начальник лаборатории, ФГУП «Мытищинский научно-исследовательский институт радиоизмерительных приборов». E-mail: info@mniirip.ru
А.П. Креницкий - к.ф.-м.н., генеральный директор ОАО «Центральный научно-исследовательский институт измерительной аппаратуры» (г. Саратов). E-mail: cime@cime.ru
В.П. Мещанов - д.т.н., директор ООО НПП «НИКА-СВЧ» (г. Саратов). E-mail: nika373@bk.ru
В.Я. Шаныгин - ст. инженер, Саратовский филиал ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН. E-mail: vitairerun@mail.ru
Р.К. Яфаров - д.т.н., зав. лабораторией, Саратовский филиал ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН. E-mail: ustimchikv@gmail.com
О.Р. Абдуллаев - к.т.н., директор по науке и производству, ОАО «Оптрон». E-mail: abd@optron.ru
Е.С. Роговский - вед. инженер, ОАО «Оптрон». E-mail: skb-optron@mail.ru
М.Ю. Филатов - к.т.н., зам. директора СКБ, ОАО «Оптрон». E-mail: skb-optron@mail.ru
Е. Г. Афонин - к.х.н., ст. науч. сотрудник, ОАО «КНИИТМУ». E-mail: kniitmu@kaluga.net
Д.Л. Шиманович - ст. науч. сотрудник, Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники (г. Минск, Беларусь). Е-mail: ShDL@tut.by
В.Я. Шаныгин - ст. инженер, СФИРЭ им. В.А. Котельникова РАН (г. Саратов). E-mail: vitairerun@mail.ru
Р.К. Яфаров - д.т.н., зав. лабораторией, СФИРЭ им. В.А. Котельникова РАН (г. Саратов)
С.Ю. Суздальцев - к.т.н., ст. науч. сотрудник, СФИРЭ им. В.А. Котельникова РАН (г. Саратов)
Д.В. Нефедов - к.т.н., науч. сотрудник, СФИРЭ им. В.А. Котельникова РАН (г. Саратов)
В.Я. Шаныгин - к.т.н., вед. инженер, лаборатория СФ-5, Саратовский филиал ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН
E-mail: vitairerun@mail.ru
Р.К. Яфаров - д.т.н., зав. лабораторией СФ-5, Саратовский филиал ИРЭ им. В.А.Котельникова РАН
С.Ю. Суздальцев - к.т.н., ст. науч. сотрудник, лаборатория СФ-5, Саратовский филиал ИРЭ им. В.А.Котельникова РАН
Д.В. Нефедов - к.т.н., науч. сотрудник, лаборатория СФ-5, Саратовский филиал ИРЭ им. В.А.Котельникова РАН
П.В. Лега
ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН (Москва, Россия)
О.Е. Глухова – д.ф.-м.н., профессор, зав. кафедрой радиотехники и электродинамики, Саратовский государственный университет им. Н.Г. Чернышевского
E-mail: GlukhovaOE@info.sgu.ru
Г.В. Савостьянов – аспирант, ассистент, кафедра радиотехники и электродинамики, Саратовский государственный университет им. Н.Г. Чернышевского E-mail: savostyanov.gv@gmail.com
П.В. Лега1
1 ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН (Москва, Россия)
Г.Р. Сагателян1, К.Н. Бугорков2, А.Б. Соломашенко3, А.С. Кузнецов4
1–4 МГТУ им. Н.Э. Баумана (национальный исследовательский университет) (Москва, Россия)
Д.С. Манегин1, В.Д. Соколов2, С.О. Шилов3, Е.В. Воробьев4, О.П. Плотникова5, С.Г. Ивахненко6
1-6 НОЦ «Ионно-плазменные-технологии», МГТУ им. Н.Э. Баумана (Москва, Россия)
1 manegin@bmstu.ru; 2 sokolovvd@bmstu.ru; 3 s.shilov@bmstu.ru; 4 evv@bmstu.ru; 5 plotnikova@bmstu.ru; 6 ivakhnenko@bmstu.ru
Э.Р. Жданов1, А.В. Волков2, А.В. Крюков3, К.А. Цветков4
1 ФГБОУ ВО «МИРЭА – Российский технологический университет» (Москва, Россия)
2-4 АО «ЦНИРТИ имени академика А.И. Берга» (Москва, Россия)
1 zhdanov@ufanet.ru; 3 minyyc@yandex.ru