Журналы
Разделы книг
Статьи по ключевому слову polishing
Оптимизация технологии механической обработки поверхности подложек карбида кремния
В. В. Попов - к.т.н., ген. директор, ОАО «Светлана», Санкт-Петербург В. Н. Вьюгинов - к. т. н., директор, ЗАО «Светлана-Электронприбор», Санкт-Петербург. E-mail: mail@svetlana-ep.ru Н. К. Травин - вед. инженер-технолог, ЗАО «Светлана-Электронприбор», Санкт-Петербург. E-mail: travin@svetlana-ep.ru
Разработка технологии финишной подготовки поверхности подложек карбида кремния epi-ready для эпитаксии
В. В. Попов - к.т.н., ген. директор, ОАО «Светлана», Санкт-Петербург
Оптимизация технологии механической обработки поверхности подложек карбида кремния
В. В. Попов - к.т.н., ген. директор, ОАО «Светлана», Санкт-Петербург В. Н. Вьюгинов - к. ф.-м. н., директор, ЗАО «Светлана-Электронприбор», Санкт-Петербург. E-mail: mail@svetlana-ep.ru Н. К. Травин - вед. инженер-технолог, ЗАО «Светлана-Электронприбор», Санкт-Петербург. E-mail: travin@svetlana-ep.ru
Разработка технологии финишной подготовки поверхности подложек карбида кремния epi-ready для эпитаксии
В. В. Попов - к.т.н., ген. директор, ОАО «Светлана», Санкт-Петербург
Моделирование процесса полирования токонесущих поверхностей секционно-изогнутых волноводов
В.В. Зверинцев - аспирант, Сибирский государственный аэрокосмический университет имени академика М.Ф. Решетнева (г. Красноярск). E-mail: hopmxod007@mail.ru Л.В. Зверинцева - к.т.н., доцент, Сибирский государственный аэрокосмический университет имени академика М.Ф. Решетнева (г. Красноярск). E-mail: zverintsevalv@mail.ru Г.В. Кочкина - ст. преподаватель, Сибирский государственный аэрокосмический университет имени академика М.Ф. Решетнева (г. Красноярск). E-mail: kochkina@gmail.com
Математическая модель распределения давления на кремниевые пластины при двустороннем полировании

И.И. Данилов1, Н.Г. Назаров2, Д.Д. Дмитриев3, С.Н. Синавчиан4, В.С. Синавчиан5

1–5 Московский государственный технический университет им. Н.Э. Баумана (Москва, Россия)

Математическая модель двустороннего полирования группы одновременно обрабатываемых кремниевых пластин

И.И. Данилов1, Н.Г. Назаров2, Д.Д. Дмитриев3, С.Н. Синавчиан4, В.С. Синавчиан5

1–5 Московский государственный технический университет им. Н.Э. Баумана (Москва, Россия)

Исследование кинематики нового станка для двухстороннего полирования оптических плоскопараллельных пластин

Г.Р. Сагателян1, Е.Р. Пискунова2, Н.Н. Дубовик3, А.С. Кузнецов4

1–4 ФГБОУ ВО «Московский государственный технический университет имени Н.Э. Баумана 

(национальный исследовательский университет) (Москва, Россия)