Статьи по ключевому слову sputtering
И.К. Бейсембетов - д.э.н., профессор, ректор, Казахстанско-Британский технический университет (Алматы). Е-mail: rector@kbtu.kz
К.Х. Нусупов - д.ф-м.н., профессор, Казахстанско-Британский технический университет (Алматы). Е-mail: rich-famouskair@mail.ru
Н.Б. Бейсенханов - к.ф-м.н., вед. науч. сотрудник, Казахстанско-Британский технический университет (Алматы). Е-mail: beisen@mail.ru
С.К. Жариков - к.ф-м.н., вед. науч. сотрудник, Казахстанско-Британский технический университет (Алматы). Е-mail: zharikov55@mail.ru
Б.К. Кенжалиев - д.т.н., профессор, Казахстанско-Британский технический университет (Алматы). Е-mail: bagdaulet_k@mail.ru
Т.К. Ахметов - аспирант, Казахстанско-Британский технический университет (Алматы). Е-mail: timurah@mail.ru
Р. Ивлев - аспирант, Казахстанско-Британский технический университет (Алматы). Е-mail: timurah@mail.ru
А.С. Трифонов - к.ф.-м.н., ст. науч. сотрудник, отдел электроники, НИИЯФ, МГУ. E-mail: artemt73@gmail.com
Р.Б. Васильев - к.х.н., доцент, факультет наук о материалах, МГУ. E-mail: romvas@inorg.chem.msu.ru
И.С. Езубченко - аспирант, Национальный исследовательский центр «Курчатовский институт». E-mail: ezivan9@gmail.com
М.С. Соколикова - студент, факультет наук о материалах, МГУ. E-mail: msokolikova@gmail.com
Д.Р. Бритов - студент, физический факультет, МГУ. E-mail: britov.denis@physics.msu.ru
Д.Е. Преснов - к.ф.-м.н., ст. науч. сотрудник, отдел микроэлектроники, НИИЯФ, МГУ. E-mail: denis.presnov@phys.msu.ru
О.В. Снигирев - профессор, гл. науч. сотрудник, физический факультет, МГУ. E-mail: oleg.snigirev@phys.msu.ru
А.А. Федотов - инженер-исследователь, ЦФХТ НИЦ «Курчатовский институт» (Москва). E-mail: fedotov-a-a@yandex.ru
С.А. Григорьев - д.т.н., доцент, начальник лаборатории, ЦФХТ НИЦ «Курчатовский институт» (Москва). E-mail: grig@hepti.kiae.ru
В.Н. Фатеев - д.х.н., профессор, зам. директора, ЦФХТ НИЦ «Курчатовский институт» (Москва). E-mail: fat@hepti.kiae.ru
С.П. Тимошенков - д.т.н., профессор, зав. кафедрой, Национальный исследовательский университет «МИЭТ» (Москва). Е-mail: spt@miee.ru
Д.С. Гаев - к.т.н., доцент, Кабардино-Балкарский государственный университет им. Х.М. Бербекова (Нальчик, Россия). Е-mail: dahir@mail.ru
А.Н. Бойко - к.т.н., доцент, Национальный исследовательский университет «МИЭТ» (Москва). Е-mail: ant_nico@mail.ru
Р.Р. Галиуллин - к.т.н., доцент, Кабардино-Балкарский государственный университет им. Х.М. Бербекова (Нальчик, Россия). Е-mail: dahir@mail.ru
А. А. Федотов - инженер-исследователь, ЦФХТ НИЦ «Курчатовский институт» (Москва). E-mail: fedotov-a-a@yandex.ru
С. А. Григорьев - д.т.н., доцент, начальник лаборатории, ЦФХТ НИЦ «Курчатовский институт» (Москва). E-mail: grig@hepti.kiae.ru
В. Н. Фатеев - д.х.н., профессор, зам. директора, ЦФХТ НИЦ «Курчатовский институт» (Москва). E-mail: fat@hepti.kiae.ru
В.С. Поляков - начальник лаборатории разработки катодов, ОАО «Плутон» (Москва), аспирант, МАТИ-РГТУ им. К.Э.Циолковского (Москва). E-mail: p_vs@list.ru
А.Д. Силаев - начальник измерительной лаборатории, ОАО «Плутон» (Москва), аспирант, МАТИ-РГТУ им. К.Э.Циолковского (Москва). E-mail: silaev_ad@mail.ru
Н.Е. Леденцова - инженер-технолог, ОАО «Плутон» (Москва), аспирант, кафедра МТМиТ, МИЭМ НИУ ВШЭ (Москва). E-mail: nekharitonova@mail.ru
И.П. Ли - к.т.н., начальник отдела разработки катодов, ОАО «Плутон» (Москва). E-mail: ork@pluton.msk.ru
А.А. Лозован - д.т.н., профессор, зав. кафедрой технологии сварки, покрытий и порошковых материалов, МАТИ-РГТУ им. К.Э.Циолковского (Москва). E-mail: loz-plasma@yandex.ru
С.А. Лоскутов - к.т.н., доцент, Калужский филиал МГТУ им. Н.Э. Баумана. E-mail: loskutov@bmstu-kaluga.ru
Д.К. Никифоров - к.ф.-м.н., доцент, Калужский филиал МГТУ им. Н.Э. Баумана. E-mail: dm_nikif@rambler.ru
Н.И. Пчелинцева - к.т.н., доцент, Калужский филиал МГТУ им. Н.Э. Баумана. E-mail: pchelintseva.n@yandex.ru
М.Г. Чистяков - студент, МГТУ им. Н.Э. Баумана. E-mail: fn2kf@list.ru
Д.В. Журавский - зав. лабораторией электронной и зондовой микроскопии, НОЦ «Нанотехнологии», Тюменский государственный университет. E-mail: d.zhuravskij@gmail.com
А.Н. Бобылев - магистрант, кафедра механики многофазных систем; лаборант-исследователь, «НОЦ» Нанотехнологии», Тюменский государственный университет. E-mail: andreaubobylev@gmail.com
С.Ю. Удовиченко - д.ф.-м.н., профессор, кафедра микро- и нанотехнологий, руководитель НОЦ «Нанотехнологии», Тюменский государственный университет. E-mail: udotgu@mail.ru
В.А. Филиппов - к.социол.н., директор Федерального центра прорывных исследований в сфере информационных технологий «Искусственные когнитивные системы» (г. Тюмень). E-mail: filippov-vadim@yandex.ru
И.К. Белова - к.ф.-м.н., Калужский филиал МГТУ им. Н.Э. Баумана
Е.О. Дерюгина - к.т.н., Калужский филиал МГТУ им. Н.Э. Баумана. E-mail: bik23@yandex.ru
Р.И. Баталов - к.ф-м.н., ст. науч. сотрудник, Казанский физико-технический институт им. Е.К. Завойского КазНЦ РАН
E-mail: batalov@kfti.knc.ru
Р.М. Баязитов - д.ф-м.н., вед. науч. сотрудник, Казанский физико-технический институт им. Е.К. Завойского КазНЦ РАН,
Казанский государственный энергетический университет
E-mail: batalov@kfti.knc.ru
И.А. Файзрахманов - д.ф-м.н., гл. науч. сотрудник, Казанский физико-технический институт им. Е.К. Завойского КазНЦ РАН
E-mail: batalov@kfti.knc.ru
Г.Д. Ивлев - к.ф-м.н., ст. науч. сотрудник, Белорусский государственный университет (г. Минск, Республика Беларусь)
С.А. Багдасарян - к.т.н., ген. директор Научно-производственного предприятия «ТРИиС» (Москва)
E-mail: bagdassarian@mail.ru
С.А. Налимов - вед. инженер-технолог, ОАО ЦНИТИ «Техномаш» (Москва)
E-mail: belyanin@cnititm.ru
В.В. Борисов - вед. программист, Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына, МГУ им. М.В. Ломоносова
E-mail: borvv1947@mail.ru
Н.И. Сушенцов - к.т.н., доцент, зав. кафедры «Конструирование и производство радиоаппаратуры», Поволжский государственный технологический университет (г. Йошкар-Ола)
E-mail: sniyola@mail.ru
В.И. Гусев – ген. директор ООО «МАГНИТЭКС СПБ» (Санкт-Петербург)
E-mail: magnitex1@yandex.ru
Аунг Чжо Чжо – аспирант, Калужский филиал МГТУ им. Н.Э. Баумана
E-mail: akkyaw.bmstu.50@gmail.com
О.Ю. Егорова – студентка, Калужский филиал МГТУ им. Н.Э. Баумана
E-mail: oksana.egorova95@yandex.ru
В.С. Зайончковский – к.ф.-м.н., доцент, Калужский филиал МГТУ им. Н.Э. Баумана E-mail: vz48@post.ru
В.В. Парамонов – к.х.н., доцент, Калужский филиал МГТУ им. Н.Э. Баумана E-mail: victorparamonov@yandex.ru
А.А. Дудунов1, А.В. Лукьяненко2, С.Г. Кочура3, И.А. Максимов4, А.Б. Надирадзе5, В.А. Смирнов6, Р.Е. Тихомиров7
1,5 Московский авиационный институт (национальный исследовательский университет) (Москва, Россия)
2 Институт физики им. Л.В. Киренского СО РАН (г. Красноярск, Россия)
3,4,6,7 АО «Информационные спутниковые системы» им. акад. М.Ф. Решетнева» (г. Железногорск, Россия)
1 lexadudunov489@mail.ru, 2lav@iph.krasn.ru, 3kochura@iss-reshetnev.ru, 4mia@iss-reshetnev.ru,
5 nadiradze@mai.ru, 6smirnov@iss-reshetnev.ru, 7tikhroman@iss-reshetnev.ru
А.Р. Шахмаева1, Э. Казалиева2
1,2 Дагестанский государственный технический университет (г. Махачкала, Россия)
1 fpk12@mail.ru, 2 kazanova.em@mail.ru