350 руб
Журнал «Наукоемкие технологии» №11 за 2014 г.
Статья в номере:
Пути совершенствования конструкции и технологии изготовления катодов для магнетронов коротковолновой части миллиметрового диапазона длин волн
Ключевые слова: Pd&#8722 Ba катод автоэмиссия модификация поверхности композиционные покрытия ионно-лучевое распыление микрорельеф
Авторы:
В.С. Поляков - начальник лаборатории разработки катодов, ОАО «Плутон» (Москва), аспирант, МАТИ-РГТУ им. К.Э.Циолковского (Москва). E-mail: p_vs@list.ru А.Д. Силаев - начальник измерительной лаборатории, ОАО «Плутон» (Москва), аспирант, МАТИ-РГТУ им. К.Э.Циолковского (Москва). E-mail: silaev_ad@mail.ru Н.Е. Леденцова - инженер-технолог, ОАО «Плутон» (Москва), аспирант, кафедра МТМиТ, МИЭМ НИУ ВШЭ (Москва). E-mail: nekharitonova@mail.ru И.П. Ли - к.т.н., начальник отдела разработки катодов, ОАО «Плутон» (Москва). E-mail: ork@pluton.msk.ru А.А. Лозован - д.т.н., профессор, зав. кафедрой технологии сварки, покрытий и порошковых материалов, МАТИ-РГТУ им. К.Э.Циолковского (Москва). E-mail: loz-plasma@yandex.ru
Аннотация:
Представлены пути изготовления высокоэффективных катодов с использованием атомно-молекулярных технологий. Рассмотрена возможность создания автоэмиссионных центров на поверхности Pd−Ba катода путем модификации поверхности под действием ионной бомбардировки. Также представлены результаты работ по формированию на эмитирующей поверхности плотных композиционных покрытий с использованием метода ионно-лучевого распыления.
Страницы: 51-55
Список источников

  1. Пат. 2380784 РФ. Магнетрон с безнакальным катодом / Ли И.П., Дюбуа Б.Ч., Каширина Н.В.и др.; 2010. Бюл. № 3.
  2. Дюбуа Б.Ч. // Вопросы прикладной физики. 2004. № 11. С. 102.
  3. Ли И.П. // Электроника. Наука, технология, бизнес. 2012. № 5(119). С. 84.
  4. Vorburger T.V., Dagata J.A., Wilkening G., Lizuka K. Beam Effects, Surface Topography, and Depth Profiling in Surface Analysis / Ed. by A.W. Czanderna, T.E. Madey, C.J. Powell. Kluwer Academic Publishers. New York. Boston. Dordrecht. London. Moscow. 2002. P. 275.
  5. Carter G. // J. Phys. D: Appl. Phys. 2001. V. 34. P. R1.
  6. Беграмбеков Л.Б. Процессы в твердом теле под действием ионного и плазменного облучения. М.: МИФИ. 2008. 196 с.
  7. Распыление твердых тел ионной бомбардировкой / Под ред. Р. Бериша. Изд. 2. М.: Мир. 1986. 485 с.
  8. Силаев А.Д., Лозован А.А., Поляков В.С.и др. // Сб. трудов 11‑й Всеросс. научно-технич. конф. с междунар. участием «Быстрозакаленные материалы и покрытия». МАТИ, 27−28.11.2012. М.: МАТИ. 2012. С. 270.
  9. Gvosdover R.S., Efremkova V.M., Shelyakin L.B., Yurasova V.E. // Radiat. Eff. 1976. V. 27. P. 237.
  10. Robinson R.S., Rossnagel S.M. // J. Vac. Sci. Technol. 1982. V. 21. № 3. P. 790.
  11. Wehner G.K. // J. Vac. Sci. Technol. A. 1985. V. 3. № 4. P. 1821.
  12. Begrambekov L.B., Zakharov A.M. // Nucl. Instr. Meth. B. 1994. V. 90. P. 477.
  13. Panitz G.J.K. Conical surface textures formed by ion bombarding 2% Be−Cu alloy // J. Micromech. Microeng. 1991. V. 1. P. 52.
  14. Chini T.K., Kato J., Tanemura M., Okuyama F. // Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. Sect. B. 1995. V. 95. P. 313.