Журналы
Разделы книг
Статьи по ключевому слову resistivity
Способы измерения удельного сопротивления подложек полуизолирующего карбида кремния
В. В. Попов - к.т.н., ген. директор, ОАО «Светлана», Санкт-Петербург
Исследование влияния температуры на удельное сопротивление подложек карбида кремния
В. В. Попов - к.т.н., ген. директор, ОАО «Светлана», Санкт-Петербург
Способы измерения удельного сопротивления подложек полуизолирующего карбида кремния
В. В. Попов - к.т.н., ген. директор, ОАО «Светлана», Санкт-Петербург
Измерение удельного сопротивления четырехзондовым методом и электрического сопротивления четырехконтактным устройством

А.Ю. Кожевников – ст. науч. сотрудник, ФГУП ВНИИА им. Н.Л. Духова

Е-mail: com andre980@list.ru

Е.В. Егорова – к.т.н., доцент, кафедра «Телекоммуникационные системы», РТУ МИРЭА Е-mail: calipso575@gmail.com

Технологические аспекты изготовления МИС СВЧ

А.Г. Гудков1, В.Н. Вьюгинов2, В.В. Попов3, Ю.В. Соловьев4, Н.К. Травин5, С.В. Чижиков6,
Р.В. Агандеев7, В.Д. Шашурин8

1,6–8 Московский государственный технический университет им. Н.Э. Баумана (Москва, Россия)

2 СПбГЭТУ «ЛЭТИ» им. В.И. Ульянова (Ленина) (Санкт-Петербург, Россия)

3 ПАО «Светлана» (Санкт-Петербург, Россия)

4,5 АО «Светлана-Электронприбор» (Санкт-Петербург, Россия)