350 руб
Журнал «Успехи современной радиоэлектроники» №3 за 2019 г.
Статья в номере:
Измерение удельного сопротивления четырехзондовым методом и электрического сопротивления четырехконтактным устройством
Тип статьи: научная статья
DOI: 10.18127/j20700784-201903-07
УДК: 621.396
Ключевые слова: Линейное расположение зондов контактная разность потенциалов удельное сопротивление четырех зондовый метод зонд четырехконтактное устройство.
Авторы:

А.Ю. Кожевников – ст. науч. сотрудник, ФГУП ВНИИА им. Н.Л. Духова

Е-mail: com andre980@list.ru

Е.В. Егорова – к.т.н., доцент, кафедра «Телекоммуникационные системы», РТУ МИРЭА Е-mail: calipso575@gmail.com

Аннотация:

Предложен метод автоматизированного измерения сопротивлений с помощью четырехконтактного устройства и измерения удельного сопротивления полупроводника с помощью четырех зондов.

Проанализирован метод, позволяющий контролировать целостность всех образуемых электрических цепей и исключать из результата измерений значения переходных и контактных сопротивлений, сопротивлений линий связи и ключей мультиплексора в образуемых электрических цепях.

Рассмотрена эквивалентная схема расположения зондов и иных контактных устройств при измерениях сопротивлений и удельного сопротивления полупроводника.

Страницы: 60-65
Список источников
  1. Шалимова К.В. Физика полупроводников. М. 1971.
  2. Павлов Л.П. Методы определения основных параметров полупроводниковых материалов. М. 1975.
  3. Патент № 2655470 РФ. Способ автоматизированного измерения сопротивлений / Кожевников А.Ю. 28.05.2018.
  4. Сергеев Н.П. Метрология, стандартизация и технические измерения в радиоэлектронике: Учеб. пособие. М.: МАТИ. 2008.
  5. HP34970А. Система сбора данных/коммутации. Руководство по эксплуатации. Кодовый номер инструкции 34970-ХХХХХ. Издано: Апрель 1998.
  6. Заявка на изобретение № 2018140517 от 16 ноября 2018 г. Кожевников А.Ю.
Дата поступления: 20 февраля 2019 г.