Статьи по ключевому слову lithography
А.С. Ситников - аспирант кафедры физики, Волгоградский государственный технический университет (ВолгГТУ). E-mail: mavrikk@bk.ru
В.А. Смоляр - д. ф.-м. н., проф., кафедра физики ВолгГТУ. E-mail: vsmolar@gmail.com
А.С. Ситников, В.А. Смоляр
В.В. Перинский - д.т.н., профессор, кафедра «Физическое материаловедение и технологии новых материалов», Саратовский государственный технический университет
В.Н. Лясников - д.т.н., профессор, зав. кафедрой «Физическое материаловедение и технологии новых материалов», Саратовский государственный технический университет
Г.В. Рыбина - д.т.н., профессор, кафедра «Кибернетика», Национальный исследовательский ядерный университет «МИФИ». E-mail: galina@ailab.mephi.ru
Ю.М. Блохин - аспирант, кафедра «Кибернетика», Национальный исследовательский ядерный университет «МИФИ». E-mail: galina@ailab.mephi.ru
Г.С. Гохберг - к.т.н., доцент, кафедра прикладной математики и вычислительной техники, Ярославский государственный технический университет. E-mail: gohkberggs@ystu.ru
А.С. Рудый - д.ф.м.н., профессор, кафедра микроэлектроники, Ярославский государственный университет им. П.Г. Демидова, директор Ярославского филиала физико-технологического института РАН. E-mail: rudy@uniyar.ac.ru
Н.Н. Балан - к. т. н., Московский государственный институт электроники и математики (технический университет)
В.А. Васин - к. т. н., Московский государственный институт электроники и математики (технический университет). E-mail: vacuumwa@list.ru
Е.Н. Ивашов - д. т. н., Московский государственный институт электроники и математики (технический университет)
П.С. Костомаров - аспирант, Московский государственный институт электроники и математики (технический университет). E-mail: pavel.kostomarov@gmail.com
С.В. Степанчиков - к. т. н., Московский государственный институт электроники и математики (технический университет)
А.В. Корнюхин - вед. специалист, ЗАО «СКАН». E-mail: a.kornuhin@scanru.ru
С.А. Курдюков - зам. генерального директора, ЗАО «СКАН». E-mail: sergey@scanru.ru
А.Н. Ланцев - генеральный директор, ЗАО «СКАН». E-mail: lan@scanru.ru
М.В. Старилов - начальник отдела, ЗАО «СКАН». E-mail: mikhail@scanru.ru
Н.Н. Балан - к.т.н., Московский государственный институт электроники и математики (технический университет)
В.А. Васин - к.т.н., Московский государственный институт электроники и математики (технический университет). E-mail: vacuumwa@list.ru
Е.Н. Ивашов - д.т.н., Московский государственный институт электроники и математики (технический университет)
П.С. Костомаров - аспирант, Московский государственный институт электроники и математики (технический университет). E-mail: pavel.kostomarov@gmail.com
С.В. Степанчиков - к.т.н., Московский государственный институт электроники и математики (технический университет)
Е.А. Степанцов – к.ф.-м.н., вед. науч. сотрудник, Институт кристаллографии им. А.В. Шубникова, ФНИЦ «Кристаллография и фотоника» РАН (Москва)
E-mail: stepantsov@ns.crys.ras.ru
В.Г. Шадров – к.ф.-м.н., вед. науч. сотрудник, ГНПО «НПЦ НАН Беларуси по материаловедению»
А.Э. Дмитриева – мл. науч. сотрудник, ГНПО «НПЦ НАН Беларуси по материаловедению»
А.В. Болтушкин – к.ф.-м.н., вед. науч. сотрудник, ГНПО «НПЦ НАН Беларуси по материаловедению»
E-mail: nemtsevich@ifttp.bas-net.by
В.Г. Шадров – к.ф.-м.н., вед. науч. сотрудник, ГНПО «НПЦ НАН Беларуси по материаловедению»
А.Э. Дмитриева – мл. науч. сотрудник, ГНПО «НПЦ НАН Беларуси по материаловедению»
А.В. Болтушкин – к.ф.-м.н., вед. науч. сотрудник, ГНПО «НПЦ НАН Беларуси по материаловедению» E-mail: nemtsevich@ifttp.bas-net.by
Е.А. Степанцов – к.ф.-м.н., вед. науч. сотрудник, Институт кристаллографии им. А.В. Шубникова, ФНИЦ «Кристаллография и фотоника» РАН (Москва, Россия)