Журналы
Разделы книг
Статьи по ключевому слову lithography
Оценка эффекта близости при инжектировании заряда в тонкие пленки полиметилметакрилата для создания наноразмерных биологически активных структур
А.С. Ситников - аспирант кафедры физики, Волгоградский государственный технический университет (ВолгГТУ). E-mail: mavrikk@bk.ru В.А. Смоляр - д. ф.-м. н., проф., кафедра физики ВолгГТУ. E-mail: vsmolar@gmail.com
Оценка эффекта близости при инжектировании заряда в тонкие пленки полиметилметакрилата для создания наноразмерных биологически активных структур
А.С. Ситников, В.А. Смоляр
Ионно-лучевая литография в технологии полупроводниковой СВЧ-микроэлектроники
В.В. Перинский - д.т.н., профессор, кафедра «Физическое материаловедение и технологии новых материалов», Саратовский государственный технический университет В.Н. Лясников - д.т.н., профессор, зав. кафедрой «Физическое материаловедение и технологии новых материалов», Саратовский государственный технический университет
Интегрированная экспертная система диагностики качества заготовок для электронно-лучевой литографии
Г.В. Рыбина - д.т.н., профессор, кафедра «Кибернетика», Национальный исследовательский ядерный университет «МИФИ». E-mail: galina@ailab.mephi.ru Ю.М. Блохин - аспирант, кафедра «Кибернетика», Национальный исследовательский ядерный университет «МИФИ». E-mail: galina@ailab.mephi.ru Г.С. Гохберг - к.т.н., доцент, кафедра прикладной математики и вычислительной техники, Ярославский государственный технический университет. E-mail: gohkberggs@ystu.ru А.С. Рудый - д.ф.м.н., профессор, кафедра микроэлектроники, Ярославский государственный университет им. П.Г. Демидова, директор Ярославского филиала физико-технологического института РАН. E-mail: rudy@uniyar.ac.ru
Моделирование процессов иммерсионной ультрафиолетовой литографии на этапе аванпроектирования
Н.Н. Балан - к. т. н., Московский государственный институт электроники и математики (технический университет) В.А. Васин - к. т. н., Московский государственный институт электроники и математики (технический университет). E-mail: vacuumwa@list.ru Е.Н. Ивашов - д. т. н., Московский государственный институт электроники и математики (технический университет) П.С. Костомаров - аспирант, Московский государственный институт электроники и математики (технический университет). E-mail: pavel.kostomarov@gmail.com С.В. Степанчиков - к. т. н., Московский государственный институт электроники и математики (технический университет)
Особенности проектирования фотошаблонов для производства наноразмерных полупроводниковых СБИС
А.В. Корнюхин - вед. специалист, ЗАО «СКАН». E-mail: a.kornuhin@scanru.ru С.А. Курдюков - зам. генерального директора, ЗАО «СКАН». E-mail: sergey@scanru.ru А.Н. Ланцев - генеральный директор, ЗАО «СКАН». E-mail: lan@scanru.ru М.В. Старилов - начальник отдела, ЗАО «СКАН». E-mail: mikhail@scanru.ru
Моделирование процессов иммерсионной ультрафиолетовой литографии на этапе аванпроектирования
Н.Н. Балан - к.т.н., Московский государственный институт электроники и математики (технический университет) В.А. Васин - к.т.н., Московский государственный институт электроники и математики (технический университет). E-mail: vacuumwa@list.ru Е.Н. Ивашов - д.т.н., Московский государственный институт электроники и математики (технический университет) П.С. Костомаров - аспирант, Московский государственный институт электроники и математики (технический университет). E-mail: pavel.kostomarov@gmail.com С.В. Степанчиков - к.т.н., Московский государственный институт электроники и математики (технический университет)
Планарные структуры нанопустот в объеме кристалла

Е.А. Степанцов – к.ф.-м.н., вед. науч. сотрудник, Институт кристаллографии им. А.В. Шубникова,  ФНИЦ «Кристаллография и фотоника» РАН (Москва)

E-mail: stepantsov@ns.crys.ras.ru

Структурированные среды магнитной записи

В.Г. Шадров – к.ф.-м.н., вед. науч. сотрудник, ГНПО «НПЦ НАН Беларуси по материаловедению»

А.Э. Дмитриева – мл. науч. сотрудник, ГНПО «НПЦ НАН Беларуси по материаловедению»

А.В. Болтушкин – к.ф.-м.н., вед. науч. сотрудник, ГНПО «НПЦ НАН Беларуси по материаловедению»

E-mail: nemtsevich@ifttp.bas-net.by

В.Г. Шадров – к.ф.-м.н., вед. науч. сотрудник, ГНПО «НПЦ НАН Беларуси по материаловедению» А.Э. Дмитриева – мл. науч. сотрудник, ГНПО «НПЦ НАН Беларуси по материаловедению» А.В. Болтушкин – к.ф.-м.н., вед. науч. сотрудник, ГНПО «НПЦ НАН Беларуси по материаловедению» E-mail: nemtsevich@ifttp.bas-net.by

В.Г. Шадров – к.ф.-м.н., вед. науч. сотрудник, ГНПО «НПЦ НАН Беларуси по материаловедению»

А.Э. Дмитриева – мл. науч. сотрудник, ГНПО «НПЦ НАН Беларуси по материаловедению»

А.В. Болтушкин – к.ф.-м.н., вед. науч. сотрудник, ГНПО «НПЦ НАН Беларуси по материаловедению» E-mail: nemtsevich@ifttp.bas-net.by

Планарные структуры нанопустот в объеме кристалла

Е.А. Степанцов – к.ф.-м.н., вед. науч. сотрудник, Институт кристаллографии им. А.В. Шубникова,  ФНИЦ «Кристаллография и фотоника» РАН (Москва, Россия)