350 руб
Журнал «Нанотехнологии: разработка, применение - XXI век» №2 за 2012 г.
Статья в номере:
Оценка эффекта близости при инжектировании заряда в тонкие пленки полиметилметакрилата для создания наноразмерных биологически активных структур
Ключевые слова: электронная литография биологически активные структуры полиметилметакрилат эффект близости кинетическое уравнение Больцмана диффузионное и малоугловое приближения
Авторы:
А.С. Ситников, В.А. Смоляр
Аннотация:
Рассматривается возможность применения методов электронной литографии для создания наноразмерных биологически активных структур посредством облучения тонких пленок полиметилметакрилата, находящихся на хорошо проводящих подложках. Для оценки разрешающей способности таких структур проводится расчет эффекта близости с помощью аналитической модели кинетического уравнения, объединяющей малоугловое и диффузионное приближения. Важно отметить, что полученная модель не содержит подгоночных экспериментальных параметров.
Страницы: 39-45
Список источников
  1. Maglevanny I., Smolar V. The constructive procedure for solving the problems of electron transport in the multi-layers specimens for the normally incident electron beam. 1. Solution of the model transport equations for a point beam: energy and charge deposition // Vacuum. 1995. V. 46. № 11. P. 1261 - 1269.
  2. Смоляр, В.А. Транспортно-малоугловое приближение в теории переноса электронов средних энергий // Украинский физический журнал. 1988. Т. 33. № 7. С. 1072-1077.
  3. Михеев Н.П., Смоляр В.А. Транспортно-диффузионное приближение в теории переноса электронов // Украинский физический журнал. 1985. Т. 30. №1. С. 140-143.
  4. Bethe H., Rose M.E., Smith L.P. Multiple scattering of fast charged particles // Proc. Amer. Phil. Soc. 1938. V. 78. J. 64. P. 573-583.
  5. Смоляр В.А. Диффузионные модели в теории переноса быстрых электронов: учеб. пособие. Волгоград: ВолгГТУ. 2001. 80 с.
  6. Spencer L.V. // Phys. Rev. 1955. V. 98. № 6. P. 1597-1616