Journals
Books
Articles by keyword низкотемпературная плазма
ДЕТЕКТИРОВАНИЕ МИЛЛИМЕТРОВОГО ИЗЛУЧЕНИЯ НА МОДИФИЦИРОВАННЫХ ТОНКИХ ПЛЁНКАХ V, ВЫРАЩЕННЫХ В ПОТОКАХ НИЗКОТЕМПЕРАТУРНОЙ ПЛАЗМЫ
В. А. АЛЕКСАНДРОВ, А. А. СЕРДОБИНЦЕВ, А. Г. ВЕСЕЛОВ Саратовский филиал института радиотехники и электроники им. В. А. Котельникова РАН E-mail: AlexandrovVA@gmail.com, SerdobintsevAA@info.sgu.ru, VeselovaLP @info.sgu.ru
Perfection of the construction of the magnetron reactor for etching of materials in low-temperature plasma
S.B. Benevolenskiy, E.V. Zhalnova, V.I. Kubrin, E.V. Marsova
Distribution of space charge in a magnetized gas-discharge plasma bounded by plane dielectric walls

A.S. Bankovskiy – Ph.D.(Phys.-Math.), Associate Professor, Department «Electronic Instruments and Devices», Yuri Gagarin State Technical University of Saratov

A.A. Zakharov – Dr.Sc.(Eng.), Professor, Head of Department «Electronic Instruments and Devices», Yuri Gagarin State Technical University of Saratov

E-mail: zaharov@sstu.ru

A.A. Potapov – Undergraduate, Department «Electronic Instruments and Devices», Yuri Gagarin State Technical University of Saratov

E-mail: potapov_andrey13@mail.ru