Инновационные технологии в производстве СВЧ-электронных твердотельных компонентов
- 1 к.т.н., генеральный директор, ОАО «ГЗ «Пульсар»
- 2 зам. директора НТЦ ТЭ, ОАО «ГЗ «Пульсар»
Аннотация
Показаны новые виды высокоэффективных промышленных процессов и технологий и созданные на их основе конструкции СВЧ-электронных твердотельных компонентов (ЭТК). Рассмотрены вопросы практической реализации требований к разработкам и производству конкурентоспособных на отечественном и мировом рынках СВЧ ЭТК, проблемы и перспективы развития их производства.
Для цитирования
Буробин В.А., Пазинич Л.М. Инновационные технологии в производстве СВЧ-электронных твердотельных компонентов // Наукоемкие технологии. 2013. № 11. С. 37–44.
Список источников
- Кремниевые планарные транзисторы / Под ред. Я.А. Федотова. М.: Сов. радио. 1973.
- Завражнов Ю.В., Каганова И.И., Мазель Е.З. и др. Мощные высокочастотные транзисторы. М.: Радио и связь. 1985.
- Зи С. Физика полупроводниковых приборов: В 2-х т. / Пер. с англ. Изд. 2-е. М.: Мир. 1984.
- Блихер А.Физика силовых биполярных и полевых транзисторов / Пер. с англ. Л.: Энергоатомиздат. 1986.
- Спиридонов Н.С.Основы теории транзисторов. Киев: Техника. 1975.
- Бачурин В.В., Либерман B.C., Сопов О.В. Новый класс полупроводниковых приборов мощные высокочастотные МДП-транзисторы // В сб. ст. «Микроэлектроника и полупроводниковые приборы». М. 1976. Вып.1. С. 291.
- Никишин В.И. и др. Проектирование и технология производства мощных СВЧ транзисторов. М.: Радио и связь. 1989. 145 с.
- Майская В.Высокочастотные полупроводниковые приборы // Электроника: Наука, технология, бизнес. 2004. №8. С. 16-21.
- Фармикоун Г. и др. Технология мощных СВЧ LDMOS-транзисторов для радарных передатчиков L-диапазона и авиационных применений / Пер. С. Дидилев // Компоненты и технологии. 2007. №Ю. С. 14-16.
- Майская В.СВЧ-полупроводниковые технологии статус равен. Но у кого он равнее - // Электроника: Наука, Технология, Бизнес. 2006. № 5.С. 20-27.
- Sun S.C., Plummer J.D. Modeling of the On-resistance of LDMOS and VMOS Power Transistors // IEEE Trans. 1980. V. ED-27. № 2. P. 356-367.
- Асессоров В.В. Мощные ВЧ- и СВЧ-кремниевые транзисторы для систем радиосвязи и телевещания // Электронная промышленность. Наука. Технология. Изделие. 2001. № 5. С. 6-14.