Журналы
Разделы книг
Статьи по ключевому слову silicon carbide (sic) wafers
Оптимизация технологии механической обработки поверхности подложек карбида кремния
В. В. Попов - к.т.н., ген. директор, ОАО «Светлана», Санкт-Петербург В. Н. Вьюгинов - к. т. н., директор, ЗАО «Светлана-Электронприбор», Санкт-Петербург. E-mail: mail@svetlana-ep.ru Н. К. Травин - вед. инженер-технолог, ЗАО «Светлана-Электронприбор», Санкт-Петербург. E-mail: travin@svetlana-ep.ru
Разработка технологии финишной подготовки поверхности подложек карбида кремния epi-ready для эпитаксии
В. В. Попов - к.т.н., ген. директор, ОАО «Светлана», Санкт-Петербург
Способы измерения удельного сопротивления подложек полуизолирующего карбида кремния
В. В. Попов - к.т.н., ген. директор, ОАО «Светлана», Санкт-Петербург
Исследование влияния температуры на удельное сопротивление подложек карбида кремния
В. В. Попов - к.т.н., ген. директор, ОАО «Светлана», Санкт-Петербург
Оптимизация технологии механической обработки поверхности подложек карбида кремния
В. В. Попов - к.т.н., ген. директор, ОАО «Светлана», Санкт-Петербург В. Н. Вьюгинов - к. ф.-м. н., директор, ЗАО «Светлана-Электронприбор», Санкт-Петербург. E-mail: mail@svetlana-ep.ru Н. К. Травин - вед. инженер-технолог, ЗАО «Светлана-Электронприбор», Санкт-Петербург. E-mail: travin@svetlana-ep.ru
Способы измерения удельного сопротивления подложек полуизолирующего карбида кремния
В. В. Попов - к.т.н., ген. директор, ОАО «Светлана», Санкт-Петербург
Разработка технологии финишной подготовки поверхности подложек карбида кремния epi-ready для эпитаксии
В. В. Попов - к.т.н., ген. директор, ОАО «Светлана», Санкт-Петербург