В. М. Ачильдиев - к. т. н., ген. конструктор ОАО НПО Геофизика-НВ М. А. Басараб - д. ф.-м. н., проф. кафедры «Теоретическая информатика и компьютерные технологии» МГТУ им. Н. Э. Баумана Ю. К. Грузевич - к. т. н., доцент, зам. ген. директора по науке ОАО НПО Геофизика-НВ Б. С. Лунин - д. т. н., вед. научн. сотр. кафедры физической химии Химического факультета МГУ им. М. В. Ломоносова В. А. Матвеев - д. т. н., профессор, руководитель научно-учебного комплекса «Информатика и системы управления» МГТУ им. Н. Э. Баумана, лауреат Государственной премии РФ В. А. Солдатенков - д. т. н., проф., ген. директор ОАО НПО Геофизика-НВ

С.М. Карабанов - д.т.н., доцент, зав. кафедрой ЭТТ, Рязанский ГРТУ, ген. директор ОАО «Рязанский завод металлокерамических приборов». E-mail: rzmkp@rmcip.ru В.А. Коротченко - д.т.н., профессор, кафедра ЭТТ, Рязанский ГРТУ. E-mail: bazylev.v.k@rsreu.ru В.И. Соловьев - к.т.н., доцент, кафедра ЭТТ, Рязанский ГРТУ. E-mail: bazylev.v.k@rsreu.ru Э.И. Соколовский - к.т.н., доцент, кафедра ЭТТ, Рязанский ГРТУ. E-mail: bazylev.v.k@rsreu.ru Ж.В. Солотенкова - аспирант, кафедра ЭТТ, Рязанский ГРТУ. E-mail: bazylev.v.k@rsreu.ru

В.Я. Шаныгин - ст. инженер, Саратовский филиал ИРЭ им. В. А. Котельникова РАН. E-mail: vitairerun@mail.ru Р.К. Яфаров - д. т. н., зав. лабораторий, Саратовский филиал ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН С.Ю. Суздальцев - ст. науч. сотрудник, Саратовский филиал ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН

Э.И. Соколовский - к.т.н., доцент, кафедра «Электронная техника и технологии», Рязанский государственный радиотехнический университет. E-mail: ett@rsreu.ru В.А. Коротченко - д.т.н., профессор, кафедра «Электронная техника и технологии», Рязанский государственный радиотехнический университет. E-mail: ett@rsreu.ru Ж.В. Путилина - аспирант, кафедра «Электронная техника и технологии», Рязанский государственный радиотехнический университет. E-mail: ett@rsreu.ru

Е.П. Шешин - д.ф.-м.н., профессор, Московский физико-технический институт (государственный университет). E-mail: sheshin@mail.mipt.ru А.Ю. Колодяжный - студент, Московский физико-технический институт (государственный университет). E-mail: kolodyazhnyj@gmail.com Г.М. Болейко - к.б.н., доцент, Московский физико-технический институт (государственный университет). E-mail: bolhel@mail.ru

Е.П. Шешин - д.ф.-м.н., профессор, Московский физико-технический институт (государственный университет). E-mail: sheshin@mail.mipt.ru А.Ю. Колодяжный - студент, Московский физико-технический институт (государственный университет). E-mail: kolodyazhnyj@gmail.com А.Л. Шорникова - аспирант, Московский физико-технический институт (государственный университет). E-mail: kolodyazhnyj@gmail.com

Ю.В. Черкасова - ст. преподаватель, кафедра «Общая и экспериментальная физика», Рязанский государственный радиотехнический университет. E-mail: yulka-8282@mail.ru А.С. Иваников - к.т.н., доцент, кафедра «Общая и экспериментальная физика», Рязанский государственный радиотехнический университет

Е.П. Шешин - д.ф.-м.н., профессор, Московский физико-технический институт (государственный университет). E-mail: sheshin@mail.mipt.ru А.Ю. Колодяжный - студент, Московский физико-технический институт (государственный университет). E-mail: kolodyazhnyj@gmail.com А.Л. Шорникова - аспирант, Московский физико-технический институт (государственный университет). E-mail: kolodyazhnyj@gmail.com

Д.В. Нефедов - к.т.н., науч. сотрудник, Саратовский филиал ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН. Е-mail: nefedov_dv@rambler.ru С.Ю. Суздальцев - к.т.н., ст. науч. сотрудник, Саратовский филиал ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН В.Я. Шаныгин - ст. инженер, Саратовский филиал ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН Р.К. Яфаров - д.т.н., зав. лабораторией, Саратовский филиал ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН

Д.В. Нефедов - к.т.н., науч. сотрудник, Саратовский филиал ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН E-mail: nefedov_dv@rambler.ru С.Ю. Суздальцев - к.т.н., ст. науч. сотрудник, Саратовский филиал ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН В.Я. Шаныгин - ст. инженер, Саратовский филиал ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН Р.К. Яфаров - д.т.н., зав. лабораторией, Саратовский филиал ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН

В.Я. Шаныгин - к.т.н., вед. инженер, лаборатория СФ-5, Саратовский филиал ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН E-mail: vitairerun@mail.ru Р.К. Яфаров - д.т.н., зав. лабораторией СФ-5, Саратовский филиал ИРЭ им. В.А.Котельникова РАН С.Ю. Суздальцев - к.т.н., ст. науч. сотрудник, лаборатория СФ-5, Саратовский филиал ИРЭ им. В.А.Котельникова РАН Д.В. Нефедов - к.т.н., науч. сотрудник, лаборатория СФ-5, Саратовский филиал ИРЭ им. В.А.Котельникова РАН

Р.К. Яфаров – д.т.н., профессор, Саратовский филиал ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН

E-mail: pirpc@yandex.ru

С.Ю. Суздальцев – к.т.н., Саратовский филиал ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН

E-mail: suzdaltsevsy@rambler.ru

В.Я. Шаныгин – Саратовский филиал ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН E-mail: vitairerun@mail.ru

Р.К. Яфаров – д.т.н., профессор, зав. лабораторией субмикронной электронно-ионной технологии,  Саратовский филиал ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН

E-mail: pirpc@yandex.ru

Д.В. Нефедов – к.т.н., науч. сотрудник,  лаборатория субмикронной электронно-ионной технологии, Саратовский филиал ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН E-mail: nefedov_dv@rambler.ru

С.С. Шапошников1, А.Ю. Таикин2, Е.П. Шешин3, А.С. Бугаев4

1-4 МФТИ (национальный исследовательский университет) (г. Долгопрудный, Россия)

С.С. Шапошников1, А.Ю. Таикин2, Е.П. Шешин3, А.С. Бугаев4

1−4 Московский физико-технический институт (г. Долгопрудный, Россия)