350 руб
Журнал «Радиотехника» №7 за 2017 г.
Статья в номере:
Влияние нелитографического наноструктурирования и модификации поверхности на автоэмиссионные свойства многоострийных кремниевых катодов
Тип статьи: научная статья
УДК: 537.533.2
Ключевые слова: наноалмазы автоэлектронная эмиссия размерное квантование углеродные нанокомпозитные структуры.
Авторы:

Р.К. Яфаров – д.т.н., профессор, Саратовский филиал ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН

E-mail: pirpc@yandex.ru

С.Ю. Суздальцев – к.т.н., Саратовский филиал ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН

E-mail: suzdaltsevsy@rambler.ru

В.Я. Шаныгин – Саратовский филиал ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН E-mail: vitairerun@mail.ru

Аннотация:

Исследованы автоэмиссионные характеристики полевых источников электронов, полученных с использованием атомной структуры кристаллов кремния, процессов гетерофазной вакуумно-плазменной самоорганизации островковых углеродных покрытий и высокоанизотропного плазмохимического травления в условиях слабой адсорбции. Установлена взаимосвязь морфологических и автоэмиссионных характеристик автокатодных микроструктур на кристаллах кремния различных типов проводимости. Результаты экспериментальных исследований интерпретированы с использованием представлений Фаулера–Нордгейма во взаимосвязи с изменениями составов поверхностных фаз в процессах получения эмиттируюших кремниевых выступов.

Страницы: 53-59
Список источников
  1. Betsui K. // Vacuum Microelectronics Conf. Nagahama. Japan. 1991. Technical Digest. P. 26−29.
  2. Яфаров Р.К. // ФТП. 2015. Т. 49. № 3. С. 329−335.
  3. Яфаров Р.К., Шаныгин В.Я. // ФТП. 2017. Т. 51. № 4. С. 558−562.
  4. Fei Zhao, Jian-hua Deng, Dan-dan Zhao, Ke-fan Chen, Guo-an Cheng, Rui-ting Zheng. // Journal of Nanoscience and Nanotechnology. 2010. 10. P. 1−5.
Дата поступления: 28 июня 2017 г.