D.S. Manegin1, V.D. Sokolov2, O.P. Plotnikova3, E.V. Vorobev4, S.G. Ivakhnenko5

1-5 «SEC «Ion Plasma Technologies», BMSTU (Moscow, Russia)

1 manegin@bmstu.ru; 2 sokolovvd@bmstu.ru; 3 plotnikova@bmstu.ru; 4 evv@bmstu.ru; 5 ivakhnenko@bmstu.ru