Д.С. Манегин1, В.Д. Соколов2, О.П. Плотникова3, Е.В. Воробьев4, С.Г. Ивахненко5

1–5 НОЦ «Ионно-плазменные-технологии», МГТУ им. Н.Э. Баумана (Москва, Россия)

1 manegin@bmstu.ru; 2 sokolovvd@bmstu.ru; 3 plotnikova@bmstu.ru; 4 evv@bmstu.ru; 5 ivakhnenko@bmstu.ru