Исследование влияния технологических операций на качество микросхем

научная статья Страницы: 13-14

¹ д.т.н., ст. науч. сотрудник, исполнительный директор, Федеральный фонд «Развитие электронной техники»
² д.т.н., профессор, гл. науч. сотрудник, ФГКУ «46ЦНИИ» МО РФ

Аннотация

Показано влияние основных технологических операций на качество микросхем.

Дорошевич В.К., Дорошевич К.К. Исследование влияния технологических операций на качество микросхем // Наукоемкие технологии. 2013. № 2. С. 13–14.

Список источников

Отчет о НИР «Исследование методов контроля и физико-технического анализа качества операций типовых техноло-
гических процессов изготовления схем с целью разработки мероприятий по дальнейшему повышению их качества». 22 ЦНИИИ МО РФ. 1980.
Отчет о НИР «Разработка требований к системе контроля и обеспечения качества технологических процессов изготовления микросхем с целью повышения их надежности. Разработка требований к системе контроля процессов изготовления микросхем военного назначения с повышенной надежностью». 22 ЦНИИИ МО РФ. 1980.
Дорошевич В.К. Влияние технологических операций на качество микросхем // Материалы Междунар. научно-технич. конф. «Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения». 25-28 октября 2005 г. Москва.