Технология безмасляной термовакуумной обработки в радиоэлектронике
- 1,2 вед. науч. сотрудник, ФГУП «НИИ «Полюс» им. М.Ф. Стельмаха
- 3 начальник участка, ФГУП «НИИ «Полюс» им. М.Ф. Стельмаха
- 4 аспирант, Калужский филиал МГТУ им. Н.Э. Баумана
Аннотация
Описана и обсуждена новая технология автоматизированной безмасляной термовакуумной обработки газоразрядных гелий-неоновых лазеров применительно к производству малогабаритных лазерных гироскопов - прецизионных изделий радиоэлектроники.
Для цитирования
Маш Л.Д., Пролейко Э.П., Пузанов А.Г., Смельцов М.А. Технология безмасляной термовакуумной обработки в радиоэлектронике // Наукоемкие технологии. 2012. № 4. С. 36–40.
Список источников
- Патент №2155410 (РФ). Способ вакуумной обработки малогабаритных моноблочных газоразрядных лазеров / Ю.Д. Голяев и др.
- Никифоров Д.К., Коржавый А.П., Никифоров К.Г. Эмиттирующие наноструктуры «Металл - оксид металла»: физика и применение: Монография / под ред. А.П. Коржавого. М.: Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана. 2009.
- Патент №2153657 (РФ). Способ масс-спектрометрического контроля герметичности моноблочных газовых лазеров /Ю.Д. Голяев и др.
- Сухов Е.В. и др. Оценка герметичности и внутреннего газоотделения газоразрядных приборов // Фотоника. 2011. № 5. С. 5.