Поглощение примесных газов в отпаянном атомарном лазере пленкой титана, полученной методом катодного распыления

В.Э. Бруггер; И.И. Савельев; Е.В. Сухов; Э.П. Пролейко; Л.Д. Маш; Н.И. Пчелинцева

Поглощение примесных газов в отпаянном атомарном лазере пленкой титана, полученной методом катодного распыления

В.Э. Бруггер¹, И.И. Савельев², Е.В. Сухов³, Э.П. Пролейко⁴, Л.Д. Маш⁵, Н.И. Пчелинцева⁶

научная статья Страницы: 32-36

¹ инженер, Московский государственный институт электроники и математики
² нач. лаборатории, Московский государственный институт электроники и математики
³ нач. участка, ФГУП «НИИ «Полюс» им. М. Ф. Стельмаха
^4,5 вед. науч. сотрудник, ФГУП «НИИ «Полюс» им. М. Ф. Стельмаха
⁶ аспирант, Калужский филиал МГТУ им. Н. Э. Баумана

Ключевые слова: отпаянный лазер геттер пленка титана

Аннотация

Проведено исследование возможности поглощения примесных газов в He-Ne-лазере плёнкой титана, нанесённой методом «катодного распыления», в малогабаритной моноблочной конструкции. Показано, что использование такой плёнки позволяет уменьшить остаточное давление на несколько порядков и на 1-2 порядка уменьшить скорость натекания примесных газов. Определены оптимальные режимы распыления титановых электродов.

Для цитирования

Бруггер В.Э., Савельев И.И., Сухов Е.В., Пролейко Э.П., Маш Л.Д., Пчелинцева Н.И. Поглощение примесных газов в отпаянном атомарном лазере пленкой титана, полученной методом катодного распыления // Наукоемкие технологии. 2012. № 4. С. 32–36.

Список источников

Шехмейстер Е. И. Технология производства электровакуумных приборов. М.: Высшая школа. 1992.
Петров В. С. и др. Основы материаловедения геттерных материалов. Физико-химические основы геттерирования газов металлами. М.: Изд-во МГИЭМ. 2006. Ч. I.
Theodore J. Podgorski, St. Paul Minn. Getter for a ring laser angular rate sensor. Honeywell Inc., Minneapolis, Minn. 1985. № 767. Р. 693.
DhirubhaiPatel. Ring laser gyroscope having combined electrode and getter. West Hills, CA (US). 2001. №09/916. Р. 12
Плешивцев Н. В. Катодное распыление. М.: Атомиздат. 1968. С. 347.

[1] Шехмейстер Е. И. Технология производства электровакуумных приборов. М.: Высшая школа. 1992.

[2] Петров В. С. и др. Основы материаловедения геттерных материалов. Физико-химические основы геттерирования газов металлами. М.: Изд-во МГИЭМ. 2006. Ч. I.

[3] Theodore J. Podgorski, St. Paul Minn. Getter for a ring laser angular rate sensor. Honeywell Inc., Minneapolis, Minn. 1985. № 767. Р. 693.

[4] DhirubhaiPatel. Ring laser gyroscope having combined electrode and getter. West Hills, CA (US). 2001. №09/916. Р. 12

[5] Плешивцев Н. В. Катодное распыление. М.: Атомиздат. 1968. С. 347.