Uptake of the impurity gases in отпаянном the atomic laser the film of the titan received by the method of the cathode pulverization

V.E. Brugger; I.I. Savelyev; E.V. Suhov; E.P. Prolejko; L.D. Mash; N.I. Pchelintseva

Uptake of the impurity gases in отпаянном the atomic laser the film of the titan received by the method of the cathode pulverization

V.E. Brugger¹, I.I. Savelyev², E.V. Suhov³, E.P. Prolejko⁴, L.D. Mash⁵, N.I. Pchelintseva⁶

research article Pages: 32-36

¹ инженер, Московский государственный институт электроники и математики
² нач. лаборатории, Московский государственный институт электроники и математики
³ нач. участка, ФГУП «НИИ «Полюс» им. М. Ф. Стельмаха
^4,5 вед. науч. сотрудник, ФГУП «НИИ «Полюс» им. М. Ф. Стельмаха
⁶ аспирант, Калужский филиал МГТУ им. Н. Э. Баумана

Keywords: the closed laser a getter a film of the titan

Abstract

A research on the possibility of the absorption of impurity gases by a titanium cathodic spray deposited film in a small-type single block of Helium-Neon lasers was carried out. It has revealed, that the usage of this film leads to the reduction in the residual pressure by several orders and the speed of gas inleakage by a single or a double order. The optimal titanium electrode spray mode is specified.

How to cite

Бруггер В.Э., Савельев И.И., Сухов Е.В., Пролейко Э.П., Маш Л.Д., Пчелинцева Н.И. Поглощение примесных газов в отпаянном атомарном лазере пленкой титана, полученной методом катодного распыления // Наукоемкие технологии. 2012. № 4. С. 32–36.

References

Шехмейстер Е. И. Технология производства электровакуумных приборов. М.: Высшая школа. 1992.
Петров В. С. и др. Основы материаловедения геттерных материалов. Физико-химические основы геттерирования газов металлами. М.: Изд-во МГИЭМ. 2006. Ч. I.
Theodore J. Podgorski, St. Paul Minn. Getter for a ring laser angular rate sensor. Honeywell Inc., Minneapolis, Minn. 1985. № 767. Р. 693.
DhirubhaiPatel. Ring laser gyroscope having combined electrode and getter. West Hills, CA (US). 2001. №09/916. Р. 12
Плешивцев Н. В. Катодное распыление. М.: Атомиздат. 1968. С. 347.

[1] Шехмейстер Е. И. Технология производства электровакуумных приборов. М.: Высшая школа. 1992.

[2] Петров В. С. и др. Основы материаловедения геттерных материалов. Физико-химические основы геттерирования газов металлами. М.: Изд-во МГИЭМ. 2006. Ч. I.

[3] Theodore J. Podgorski, St. Paul Minn. Getter for a ring laser angular rate sensor. Honeywell Inc., Minneapolis, Minn. 1985. № 767. Р. 693.

[4] DhirubhaiPatel. Ring laser gyroscope having combined electrode and getter. West Hills, CA (US). 2001. №09/916. Р. 12

[5] Плешивцев Н. В. Катодное распыление. М.: Атомиздат. 1968. С. 347.