Монолитные интегральные устройства СВЧ

В. В. Попов; Е. Г. Бирюлева; О. С. Вартанов; В. В. Волков; В. Н. Вьюгинов; М. И. Грозина; А. Г. Гудков; В. А. Добров; И. К. Евлампиев; А. А. Зыбин; В. П. Иванова; П. А. Петров; А. М. Савин; П. А. Шаганов

Монолитные интегральные устройства СВЧ

В. В. Попов¹, Е. Г. Бирюлева², О. С. Вартанов³, В. В. Волков⁴, В. Н. Вьюгинов⁵, М. И. Грозина⁶, А. Г. Гудков⁷, В. А. Добров⁸, И. К. Евлампиев⁹, А. А. Зыбин¹⁰, В. П. Иванова¹¹, П. А. Петров¹², А. М. Савин¹³, П. А. Шаганов¹⁴

научная статья Страницы: 37-55

¹ к.т.н., ген. директор, ОАО «Светлана», Санкт-Петербург
² инженер 3-й кат., ОАО «Светлана», Санкт-Петербург
³ начальник лаборатории, ЗАО «Светлана-Полупроводники», Санкт-Петербург
^4,8 начальник отдела, ЗАО «Светлана-Электронприбор», Санкт-Петербург
⁵ к.ф.-м.н., директор, ЗАО «Светлана-Электронприбор», Санкт-Петербург
⁶ инженер-конструктор 2-й кат., ЗАО «Светлана-Электронприбор», Санкт-Петербург
⁷ д.т.н., профессор, кафедра «Технологии приборостроения», МГТУ им. Н.Э. Баумана
⁹ начальник отделения, ЗАО «Светлана-Полупроводники», Санкт-Петербург
¹⁰ начальник лаборатории, ЗАО «Светлана-Электронприбор», Санкт-Петербург
¹¹ вед. инженер, ЗАО «Светлана-Электронприбор», Санкт-Петербург
¹² к.т.н., ОАО «Светлана», Санкт-Петербург
¹³ начальник лаборатории, ОАО «Светлана», Санкт-Петербург
¹⁴ инженер-конструктор, ЗАО «Светлана-Электронприбор», Санкт-Петербург

Ключевые слова: монолитная интегральная схема СВЧ (МИС СВЧ)качество технологии изготовления аттенюатор защитное устройство переключатель

Аннотация

Представлены результаты исследования монолитных интегральных схем СВЧ (МИС СВЧ). Рассмотрены основные электрические параметры их элементов, а также конструкции и технологии изготовления.

Для цитирования

Попов В.В., Бирюлева Е.Г., Вартанов О.С., Волков В.В., Вьюгинов В.Н., Грозина М.И., Гудков А.Г., Добров В.А., Евлампиев И.К., Зыбин А.А., Иванова В.П., Петров П.А., Савин А.М., Шаганов П.А. Монолитные интегральные устройства СВЧ // Нанотехнологии: разработка, применение - XXI век. 2014. № 3. С. 37–55.

Список источников

Pucel, R. A., Design considerations for monolithic microwave circuits // IEEE Trans. 1981. V. MTT-29. № 6. P. 513-534.
Данилин В. Н., Кушниренко А. И., Морозов А. А. и др. Монолитные аналоговые интегральные схемы СВЧ-диапазона // Обзоры по электронной технике. Сер. 2. Полупроводниковые приборы. 1981. Вып. 4. С. 3-44.
Крутов А. В., Ребров А. С. Монолитная интегральная схема защитного устройства. Новые функциональные возможности // Материалы 17-й Междунар. Крымской конф. (Севастополь, 2007). С. 79-80.
Бирюлева Е. Г., Вьюгинов В. Н., Зыбин А. А. Широкополосное защитное устройство в монолитном интегральном исполнении // Материалы 20-й Междунар. Крымской конф. «СВЧ-техника и телекоммуникационные технологии» (КрыМиКо'2010) (Севастополь, 2010). Т. 1. С. 151-152.
Бирюлева Е. Г., Вьюгинов В. Н., Савин А. М. и др. Защитное устройство на основе полосно-пропускающего фильтра // Материалы 20-й Междунар. Крымской конфер. «СВЧ-техника и телекоммуникационные технологии» (КрыМиКо'2010) (Севастополь, 2010). Т.1. С. 157-158.
Гудков А. Г. Радиоаппаратура в условиях рынка. М.: САЙНС-ПРЕСС. 2008.
Повышение надежности и качества ГИС и МИС СВЧ. Книга 1 / под ред. А. Г. Гудкова и В.В.Попова. М.: ООО «Автотест». 2012.

[1] Pucel, R. A., Design considerations for monolithic microwave circuits // IEEE Trans. 1981. V. MTT-29. № 6. P. 513-534.

[2] Данилин В. Н., Кушниренко А. И., Морозов А. А. и др. Монолитные аналоговые интегральные схемы СВЧ-диапазона // Обзоры по электронной технике. Сер. 2. Полупроводниковые приборы. 1981. Вып. 4. С. 3-44.

[3] Крутов А. В., Ребров А. С. Монолитная интегральная схема защитного устройства. Новые функциональные возможности // Материалы 17-й Междунар. Крымской конф. (Севастополь, 2007). С. 79-80.

[4] Бирюлева Е. Г., Вьюгинов В. Н., Зыбин А. А. Широкополосное защитное устройство в монолитном интегральном исполнении // Материалы 20-й Междунар. Крымской конф. «СВЧ-техника и телекоммуникационные технологии» (КрыМиКо'2010) (Севастополь, 2010). Т. 1. С. 151-152.

[5] Бирюлева Е. Г., Вьюгинов В. Н., Савин А. М. и др. Защитное устройство на основе полосно-пропускающего фильтра // Материалы 20-й Междунар. Крымской конфер. «СВЧ-техника и телекоммуникационные технологии» (КрыМиКо'2010) (Севастополь, 2010). Т.1. С. 157-158.

[6] Гудков А. Г. Радиоаппаратура в условиях рынка. М.: САЙНС-ПРЕСС. 2008.

[7] Повышение надежности и качества ГИС и МИС СВЧ. Книга 1 / под ред. А. Г. Гудкова и В.В.Попова. М.: ООО «Автотест». 2012.

Аннотация

Для цитирования

Похожие статьи