Разработка технологии финишной подготовки поверхности подложек карбида кремния epi-ready для эпитаксии
- 1 к.т.н., ген. директор, ОАО «Светлана», Санкт-Петербург
Ключевые слова:
подложки полуизолирующего карбид кремнияфинишная подготовка поверхностихимико-механическая полировка (ХМП)шероховатость поверхности
Аннотация
Представлена технология химико-механического полирования подложек полуизолирующего карбида кремния политипа 6Н-SiC диаметром 3 дюйма, обеспечивающая шероховатость поверхности менее 2 Å. Описаны процессы финишной отмывки и упаковки подложек.
Для цитирования
Попов В.В. Разработка технологии финишной подготовки поверхности подложек карбида кремния epi-ready для эпитаксии // Нанотехнологии: разработка, применение - XXI век. 2014. № 3. С. 33–36.
Список источников
- Гольдштейн Р. В., Осипенко М. Н. Химико-механическое полирование. Ч. 1. Основные закономерности. М.: Институт проблем механики им. А. Ю. Ишлинского РАН.
- Попов В. В., Вьюгинов В.Н., Травин Н. К. О результатах разработки технологии резки монокристаллов карбида кремния // Электромагнитные волны и электронные системы. 2014. № 4.
- Попов В. В., Вьюгинов В. Н., Травин Н. К. Оптимизация технологии механической обработки поверхности подложек карбида кремния // Электромагнитные волны и электронные системы. 2014. № 4. С. 20-22.
- http://www.speedfam.com/