№3 за 2014 г.

7 статей

Управление качеством идентификации морфологии наноструктур С.С. Анцыферов, К.Е. Русанов С. 4-8
Дисперсионное упрочнение пиролитических хромовых покрытий наночастицами карбидов при кристаллизации аморфной фазы И.С. Белашова, Л.Г. Петрова С. 9-14
Современное состояние нанотехнологий и методологический подход к оценке характеристик нанотехнологической продукции С.А. Дубянский С. 15-21
Эмиттирующие наноструктуры в технологиях изготовления электродов изделий квантовой электроники П.Г. Третьяков, Т.С. Николаева, С.М. Жданов, В.В. Прасицкий, К.А. Амеличева С. 23-26
Способы измерения удельного сопротивления подложек полуизолирующего карбида кремния В. В. Попов С. 27-32
Разработка технологии финишной подготовки поверхности подложек карбида кремния epi-ready для эпитаксии В. В. Попов С. 33-36
Монолитные интегральные устройства СВЧ В. В. Попов, Е. Г. Бирюлева, О. С. Вартанов, В. В. Волков, В. Н. Вьюгинов, М. И. Грозина, А. Г. Гудков, В. А. Добров, И. К. Евлампиев, А. А. Зыбин, В. П. Иванова, П. А. Петров, А. М. Савин, П. А. Шаганов С. 37-55