2013
2012
- Проектирование механических устройств на основе волнового движения для систем управления антеннами и автономными объектами С. 28-36
- Моделирование процессов иммерсионной ультрафиолетовой литографии на этапе аванпроектирования С. 6-11
- Технологические особенности формирования катодных узлов автоэмиссионных и туннельных нано- и микроприборов С. 35-43
- Моделирование процессов иммерсионной ультрафиолетовой литографии на этапе аванпроектирования С. 454-460
- Проектирование механических устройств сканирования антенн с электроприводами малой мощности (часть I) С. 61-67
- Расчеты приводов и функциональных устройств современных вакуумно-технологических модульных комплексов в статическом и динамическом режимах работы С. 36-49