Проектирование внутрикамерных устройств вакуумного оборудования для экологически чистых и энергосберегающих технологий

В.А. Васин; Е.Н. Ивашов; П.С. Кузнецов; С.В. Степанчиков

Проектирование внутрикамерных устройств вакуумного оборудования для экологически чистых и энергосберегающих технологий

В.А. Васин¹, Е.Н. Ивашов², П.С. Кузнецов³, С.В. Степанчиков⁴

научная статья Страницы: 49-55

^1,4 к.т.н., доцент, МИЭМ
² д.т.н., проф., МИЭМ
³ аспирант, МИЭМ

Ключевые слова: экологически чистые технологии вакуумное оборудование внутрикамерные устройства микрочастицы износа привносимая дефектность интенсивность изнашивания коэффициент трения

Аннотация

Рассмотрены особенности проектирования элементов и устройств вакуумного оборудования, предназначенных для реализации экологически чистых и энергосберегающих технологий в электронном производстве; выполнены расчёты коэффициентов трения материалов, работающих в вакууме, в зависимости от разрежения окружающей среды, для различных случаев контактного взаимодействия, а также интенсивности изнашивания пар трения в зависимости от нагрузки, микрогеометрии контакта, скорости скольжения, остаточного давления в вакуумной камере и механических характеристик материалов, позволяющие снизить уровень загрязнений, привносимых в проектируемом оборудовании, и повысить выход годных изделий электронной аппаратуры.

Для цитирования

Васин В.А., Ивашов Е.Н., Кузнецов П.С., Степанчиков С.В. Проектирование внутрикамерных устройств вакуумного оборудования для экологически чистых и энергосберегающих технологий // Электромагнитные волны и электронные системы. 2011. № 4. С. 49–55.

Список источников

Степанчиков С.В. Исследование работоспособности узлов трения автоматических вакуумных манипуляторов // Автоматические манипуляторы и металлообрабатывающее оборудование с программным управлением. Тула: ТПИ. 1986. С. 106-110.
Курманалиев Т.И., Некрасов М.И., Ивашов Е.Н., Степанчиков С.В. Определение коэффициентов трения материалов НКА, работающей в вакууме // Конструирование научных космических приборов. М.: Наука. 1985. С. 106-110.
Боуден Ф., Тейбор Д. Трение и смазка твёрдых тел. М.: Машиностроение. 1968.
Карапетян С.С. Адгезионная Модель трения // ДАН СССР. М.: Машиностроение. 1968.
Трение изнашивание и смазка: Справочник в 2-х книгах. Кн. 1. М.: Машиностроение. 1978.
Тимошенко С.П. Справочник материалов. Ч.2. Л.-М.: ГТИИ. 1938.
Гельман А.С. Основы сварки давлением. М.: Машиностроение. 1970.
Ивашов Е.Н., Некрасов М.И., Степанчиков С.В.Коэффициенты трения металлов, твёрдых смазочных покрытий и антифрикционных материалов в атмосфере и вакууме: Стандарт СТП МИЭМ 24-85. М.: МИЭМ. 1986.
Крагельский И.В. и др. Трение и износ в вакууме. М.: Машиностроение. 1973.
Решетов Д.Н. Детали машин. М.: Машиностроение. 1989.

[1] Степанчиков С.В. Исследование работоспособности узлов трения автоматических вакуумных манипуляторов // Автоматические манипуляторы и металлообрабатывающее оборудование с программным управлением. Тула: ТПИ. 1986. С. 106-110.

[2] Курманалиев Т.И., Некрасов М.И., Ивашов Е.Н., Степанчиков С.В. Определение коэффициентов трения материалов НКА, работающей в вакууме // Конструирование научных космических приборов. М.: Наука. 1985. С. 106-110.

[3] Боуден Ф., Тейбор Д. Трение и смазка твёрдых тел. М.: Машиностроение. 1968.

[4] Карапетян С.С. Адгезионная Модель трения // ДАН СССР. М.: Машиностроение. 1968.

[5] Трение изнашивание и смазка: Справочник в 2-х книгах. Кн. 1. М.: Машиностроение. 1978.

[6] Тимошенко С.П. Справочник материалов. Ч.2. Л.-М.: ГТИИ. 1938.

[7] Гельман А.С. Основы сварки давлением. М.: Машиностроение. 1970.

[8] Ивашов Е.Н., Некрасов М.И., Степанчиков С.В.Коэффициенты трения металлов, твёрдых смазочных покрытий и антифрикционных материалов в атмосфере и вакууме: Стандарт СТП МИЭМ 24-85. М.: МИЭМ. 1986.

[9] Крагельский И.В. и др. Трение и износ в вакууме. М.: Машиностроение. 1973.

[10] Решетов Д.Н. Детали машин. М.: Машиностроение. 1989.