Особенности проектирования вакуумного технологического оборудования радиоэлектронной промышленности

В.А. Васин; Е.Н. Ивашов; С.В. Степанчиков

Особенности проектирования вакуумного технологического оборудования радиоэлектронной промышленности

В.А. Васин¹, Е.Н. Ивашов², С.В. Степанчиков³

научная статья Страницы: 66-71

¹ к.т.н., доц., Московский государственный институт электроники и математики (технический университет) (МИЭМ), Российское научно-техническое вакуумное общество (РВО)
² д.т.н., проф., Московский государственный институт электроники и математики (технический университет) (МИЭМ)
³ к.т.н., доц., кафедра «Технологические системы электроники», Московский государственный институт электроники и математики (технический университет) (МИЭМ)

Ключевые слова: вакуумное технологическое оборудование

Аннотация

Рассмотрены особенности развития специального вакуумного технологического оборудования и проблемы снижения привносимых им загрязнений; приведены данные по минимальным размерам топологии микросхем и устройствам без узлов трения для современного вакуумного технологического оборудования; показано, что такой подход обес-печивает создание современной индустрии высоких вакуумных технологий в радиоэлектронной промышленности.

Для цитирования

Васин В.А., Ивашов Е.Н., Степанчиков С.В. Особенности проектирования вакуумного технологического оборудования радиоэлектронной промышленности // Успехи современной радиоэлектроники. 2011. № 2. С. 66–71.

Список источников

Фролов Е.С., Минайчев В.Е., Александрова А.Т. и др. Вакуумная техника: Справочник / под общ. ред. Е.С. Фролова и В. Е. Минайчева. М.:. Машиностроение. 1992.
Александрова А.Т. Теоретические основы расчета и конструирования функциональных устройств и систем оборудования высоких вакуумных технологий на основе приводов управляемой упругой деформации. М.: Московский государственный институт электроники и математики. 2003.
Александрова А.Т., Васин В.А., Горюнов А.А., и др. Патент № 2206913 «Устройство позиционирования и привод вращения для него». Заявка № 2001118067/28 от 03.07.2001. Опубликовано 20.06.2003. Бюлл. № 17.
Александрова А.Т., Ивашов Е.Н., Степанчиков С.В. и др. Авт. свид. № 1366389 «Механизм для перемещения и ориентации деталей». Заявка № 4090039/31 от 28.05.1986. Опубликовано 30.10.1985. Бюлл. № 40.
Александрова А.Т., Ивашов Е.Н., Степанчиков С.В. и др. Авт. свид. № 1187980 «Исполнительный орган манипулятора». Заявка №3780740/25 от 10,05,1984. Опубликовано 15.01.1988. Бюлл. № 2.

[1] Фролов Е.С., Минайчев В.Е., Александрова А.Т. и др. Вакуумная техника: Справочник / под общ. ред. Е.С. Фролова и В. Е. Минайчева. М.:. Машиностроение. 1992.

[2] Александрова А.Т. Теоретические основы расчета и конструирования функциональных устройств и систем оборудования высоких вакуумных технологий на основе приводов управляемой упругой деформации. М.: Московский государственный институт электроники и математики. 2003.

[3] Александрова А.Т., Васин В.А., Горюнов А.А., и др. Патент № 2206913 «Устройство позиционирования и привод вращения для него». Заявка № 2001118067/28 от 03.07.2001. Опубликовано 20.06.2003. Бюлл. № 17.

[4] Александрова А.Т., Ивашов Е.Н., Степанчиков С.В. и др. Авт. свид. № 1366389 «Механизм для перемещения и ориентации деталей». Заявка № 4090039/31 от 28.05.1986. Опубликовано 30.10.1985. Бюлл. № 40.

[5] Александрова А.Т., Ивашов Е.Н., Степанчиков С.В. и др. Авт. свид. № 1187980 «Исполнительный орган манипулятора». Заявка №3780740/25 от 10,05,1984. Опубликовано 15.01.1988. Бюлл. № 2.