Б. Г. Майоров - к.т.н., доцент, вед. науч. сотрудник, ОАО «НПП «Рубин». E-mail: mail@npp-rubin.ru

Мария Сергеевна Ашапкина - аспирант, кафедра микро- и наноэлектроники, Рязанский государственный радиотехнический университет. E-mail: mary62@mail.ru Алексей Викторович Алпатов - к.т.н., доцент, кафедра микро- и наноэлектроники, Рязанский государственный радиотехнический университет. E-mail: alpatov-alexey@yandex.ru Александр Александрович Чекушин - к.м.н., ассистент, кафедра общей хирургии, Рязанский государственный медицинский университет, им. академика И.П. Павлова. E-mail: rmi-62@rambler.ru

М.В. Никитин1, С.Г. Зыбцев2, В.Я. Покровский3, Б.А. Логинов4

1−3 ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН (Москва, Россия)

4 НИУ МИЭТ (г. Зеленоград, Россия)