Журналы
Разделы книг
Статьи по ключевому слову silicon wafer
Математическая модель распределения давления на кремниевые пластины при двустороннем полировании

И.И. Данилов1, Н.Г. Назаров2, Д.Д. Дмитриев3, С.Н. Синавчиан4, В.С. Синавчиан5

1–5 Московский государственный технический университет им. Н.Э. Баумана (Москва, Россия)

Математическая модель двустороннего полирования группы одновременно обрабатываемых кремниевых пластин

И.И. Данилов1, Н.Г. Назаров2, Д.Д. Дмитриев3, С.Н. Синавчиан4, В.С. Синавчиан5

1–5 Московский государственный технический университет им. Н.Э. Баумана (Москва, Россия)